(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211129053.4 (22)申请日 2022.09.16 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201314 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 丁俊　张峰　程杰　张慧婷　 孙惺磊　 (74)专利代理 机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 312 95 专利代理师 郑玮 (51)Int.Cl. G06Q 10/06(2012.01) G06Q 50/04(2012.01) G06K 9/62(2022.01) G06N 3/04(2006.01) G06N 3/08(2006.01) (54)发明名称 生产调度目标模 型的建模 方法、 系统及电子 设备 (57)摘要 本发明提供了一种生产调度目标模型的建 模方法以及关键站点的生产调度方法。 具体的， 本发明提出了将神经网络学习与半导体制造生 产线相结合的理念， 从而实现了利用大数据分析 来开发新的自动化每日生产调度目标智能化系 统模型， 以适应更加复杂的生产计划调控的目 的， 即， 以关键站点智能调度模型为核心， 收集生 产线历史数据， 经过数据处理计算， 得到每日生 产调度计划智能化制定系统， 从而实现应用该系 统能达成订单准时完成、 每日自动出生产调度目 标、 实时监控各机群生产目标、 生产线平 衡、 生产 周期改善以及避免了现有技术中需要人工基于 经验规则指定生产调度目标， 造成人员工作量 大， 且无法直观了解重点站点历史情况的弊端的 目的。 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 CN 115409406 A 2022.11.29 CN 115409406 A 1.一种生产调度目标模型的建模方法， 其特 征在于， 包括： 选择半导体制造生产线上的预置第 一关键站点， 确定所述预置第 一关键站点的生产周 期， 所述生产周期为所述预置第一关键站点所生产的半导体器件在所述生产线的起始站 点 与所述述预置第一关键站点之间的时间差； 获取所述预置第一关键站点在其目标数量个生产周期内累计的历史实际作业量， 并对 作为模型训练样本的所述历史实际作业 量进行训练， 以得到所述 生产调度目标模型。 2.如权利要求1所述的生产调度目标模型的建模方法， 其特征在于， 所述作为模型训练 样本的所述历史实际作业量是1～2个所述预置第一关键站点的生产周期的历史实际作业 量的累加。 3.如权利要求2所述的生产调度目标模型的建模方法， 其特征在于， 在获取所述预置第 一关键站点在其目标数量个生产周期内累计的历史实际作业量之后， 且在 对作为模型训练 样本的所述历史实际作业 量进行训练之前， 所述方法还 包括： 对所述作为模型训练样本的所述历史实 际作业量进行数据的去噪、 填补缺失值、 相关 性分析以及特 征选择处 理。 4.如权利要求1所述的生产调度目标模型的建模方法， 其特征在于， 在对作为模型训练 样本的所述历史实际作业量进行训练， 以得到所述生产调度目标模型之后， 所述方法还包 括： 获取所述预置第一关键站点在其 目标数量个生产周期内累计的新的历史实际作业量， 并对作为模型训练样本的所述新的历史实际作业量进 行训练， 以实现对已建模的所述生产 调度目标模型进行优化更新。 5.一种生产调度目标模型的建模系统， 其特征在于， 所述建模系统用于实现所述权利 要求1～4中任一项所述的生产调度目标模型的建模方法， 所述建模系统包括： 站点生产周期确定模块， 用于选择半导体制造生产线上的预置第一关键站点， 确定所 述预置第一关键站 点的生产周期， 所述生产周期为所述预置第一关键站 点所生产的半导体 器件在所述 生产线的起始 站点与所述 述预置第一关键站点之间的时间差； 生产调度目标模型建立模块， 用于获取所述预置第 一关键站点在其目标数量个生产周 期内累计的历史实际作业量， 并对作为模型训练样本的所述历史实际作业量进行训练， 以 得到所述 生产调度目标模型。 6.如权利要求5所述的生产调度目标模型的建模系统， 其特征在于， 所述建模系统还包 括： 模型更新模块， 用于在对作为模型训练样本的所述历史实 际作业量进行训练， 以得到 所述生产调度目标模型之后， 所述方法还包括： 获取所述预置第一关键站点在其 目标数量 个生产周期内累计的新的历史实际作业量， 并对作为模型训练样本的所述新的历史实际作 业量进行训练， 以实现对已建模的所述 生产调度目标模型进行优化更新。 7.如权利要求5所述的生产调度目标模型的建模系统， 其特征在于， 所述建模系统还包 括： 数据处理模块， 用于对所述作为模型训练样本的所述历史实际作业量进行数据的去 噪、 填补缺失值、 相关性分析以及特 征选择处 理。 8.一种关键站点的生产调度方法， 其特 征在于， 包括： 选择半导体制造生产线上的预置第 二关键站点， 并确定所述预置第 二关键站点的当前权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115409406 A 2实际作业 量； 判断所述预置第二关键站点的当前实际作业量是否达到上家下货需求， 并在未到达的 情况下， 基于所述权利要求 1‑4中任一项 所述的生产调度目标模型的建模方法， 形成所述预 置第二关键站点相对应的生产调度目标模型； 将所述预置第二关键站点的当前实际作业量输入到所述预置第二关键站点相对应的 生产调度目标模型， 并将该生产调 度目标模型的输出作为该预置第二关键站 点的当前生产 调度目标， 以实现根据该当前生产调度目标对所述预置第二关键站 点的实际生产情况进 行 调度。 9.如权利要求8所述的关键站点的生产调度方法， 其特征在于， 判断所述预置第 二关键 站点的当前实际作业 量是否达到上家下货需求的步骤， 包括： 利用所述预置第二关键站点相对应的生产调度目标模型中的起点站点的当前实际作 业量减去所述所述预置第二关键站点的当前实际作业量， 并将该差值作为每日作业量差 异； 判断所述每日作业量差异是否满足预设预置， 若满足， 则确定所述预置第二关键站点 的当前实际作业 量达到上家下货需求。 10.一种电子设备， 其特征在于， 包括处理器、 通信接口、 存储器和通信总 线， 其中， 处理 器， 通信接口， 存 储器通过通信总线完成相互间的通信； 存储器， 用于存放计算机程序； 处理器， 用于执行存储器上所存放的程序时， 实现权利要求1～4任一所述的生产调度 目标模型的建模方法步骤， 或者权利要求8～ 9任一所述的关键站点的生产调度方法步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115409406 A 3