(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211554673.2 (22)申请日 2022.12.06 (71)申请人 沈阳和研科技有限公司 地址 110000 辽宁省沈阳市皇姑区步云山 路53号 (72)发明人 张明明　石文　刘苏阳　刘佳梦　 徐双双　刘祥鑫　王晓禹　 (74)专利代理 机构 安徽曌云知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 34183 专利代理师 陈鹏玮 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 5/02(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)发明名称 一种适用 于无膜划切设备的集成式清洗装 置 (57)摘要 本发明涉及清洗技术领域， 尤其是一种适用 于无膜划切设备的集成式清洗装置， 包括： 壳体、 气缸以及二流体喷头组件， 壳体底部固接一气缸 架， 顶部可拆卸的连接一带有开口的上盖板； 气 缸安装在气缸架上， 气缸输出端上安装有连接 件； 二流体喷头组件位于壳体内部， 其底部与连 接件相连， 以在壳体内部做直线往复运动， 本装 置的流体容器由气体容器和液体容器构成， 两者 独立存在， 令水路和气路的独立输送。 气体容器 和液体容器直连至气体喷头及二流体喷头， 气体 和液体经过各自的进口接头进入气体容器和液 体容器中， 在容器内部流体压力均匀分布， 保证 最终到达每个二流体喷头或每个气体喷头的压 力接近相等， 达 到均匀清洗的目的。 权利要求书1页 说明书5页 附图11页 CN 115532707 A 2022.12.30 CN 115532707 A 1.一种适用于无膜划 切设备的集成式清洗装置， 其特 征在于， 包括： 壳体 （1） ， 壳体 （1） 底部固接一气缸架 （8） ， 顶部可拆卸的连接一带有开口 的上盖板 （2） ； 气缸 （6） ， 气缸 （6） 安装在气缸架 （8） 上， 气缸 （6） 输出端上安装有连接件 （7） ； 以及二流体喷头组件， 二流体喷头组件位于壳体 （1） 内部， 其底部与连接件 （7） 相连， 以 在壳体 （1） 内部做直线往复运动。 2.根据权利要求1所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 其特征在于， 所述二 流体喷头组件包括与连接件 （7） 相连的流体容器 （5） ， 流体容器 （5） 上设有气体喷头 （501） 及 二流体喷头 （5 02） ， 以容纳流体容器 （5） 内的流体输出至上盖 板 （2） 上方。 3.根据权利要求2所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 其特征在于， 所述流 体容器 （5） 上固接一滤网架 （3） ， 在滤网架 （3） 内安装过滤网 （4） ， 过滤网 （4） 在上盖板 （2） 上 的投影面积大于开口 的面积， 在滤网架 （3） 两侧设置有清理机构以对过 滤网 （4） 进行清理。 4.根据权利要求3所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 其特征在于， 所述清 理机构包括U形管 （12） ， U形管 （12） 一端 固接在滤网架 （3） 底部， 另一端安装有缸体 （13） ， 缸 体 （13） 内可滑动的配合有活塞 （14） ， 活塞 （14） 安装有活塞杆 （15） ， 活塞杆 （15） 固在连板 （16） 上， 在连板 （16） 与缸体 （13） 之间设有压缩弹簧 （21） 。 5.根据权利要求4所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 其特征在于， 在所述 U形管 （12） 最底端设有一阀体结构以容纳U形管 （12） 内的流体排出， 阀体结构包括球座 （18） 及板件 （19） ， 板件 （19） 与球座 （18） 相配合， 板件 （19） 可转动的配合在球座 （18） 内， 球座 （18） 及板件 （19） 均具有磁性， 在磁力作用下板件 （19） 令球座 （18） 处于常闭状态。 6.根据权利要求5所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 其特征在于， 所述连 板 （16） 上设有一 驱动结构以驱动板件 （19） 在球座 （18） 内转动， 所述 驱动结构包括转轴 （22） 及齿条 （17） ， 转轴 （22） 可转动的安装在球座 （18） 上， 板件 （19） 固接在转轴 （22） 上， 转轴 （22） 端部固接有 齿轮 （20） ， 所述齿条 （17） 固接在连板 （16） 上， 齿轮 （20） 与齿条 （17） 相配合。 7.根据权利要求2 ‑6中任意一条所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 其特 征在于， 在所述 流体容器 （5） 及壳体 （1） 内壁之间设置有防水帘 （1 1） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115532707 A 2一种适用于无膜划切设 备的集成式清洗装 置 技术领域 [0001]本发明涉及清洗技术领域， 尤其涉及一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装 置。 背景技术 [0002]在对玻璃组件、 晶圆、 芯片等硅晶体电子器件进行精密加工前后， 需要对硅晶体电 子器件进行清理， 以提高加工的精准度， 常见的方式即采用二 流体喷头进行清理。 [0003]传统的清洗装置在使用二流体喷头组件时， 采用多个二流体喷头冲洗工件表面， 多个喷气头向工件表面吹气烘干， 但是每个喷头都是由单独的水管或气管独立供水或供 气， 导致各喷头水压或气 压均匀性不 足， 且由于各喷头管路单独存在， 而二流体喷头组件多 安装在机壳内， 多个管路占用机壳内部较多的工作空间， 为尽可能的降低管路占用的空间， 需要管线进行弯折进行排列， 而管线过度弯折又会造成内部介质流动受阻， 进一步影响清 洗效果。 发明内容 [0004]本发明的目的是为了解决现有技术中存在传统的二流体喷头组件喷头均匀性不 足的缺点， 而提出的一种适用于无膜划 切设备的集成式清洗装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本发明采用了如下技 术方案： 设计一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置， 包括： 壳体、 气缸以及二流体喷 头组件， 壳体底部固接一气缸架， 顶部可拆卸的连接一带有开口的上盖板； 气缸安装在气缸 架上， 气缸输出端上安装有连接件； 二流体喷头组件位于壳体内部， 其底部与连接件相连， 以在壳体内部做直线往复运动。 [0006]进一步地， 所述二流体喷头组件包括与连接件相 连的流体容器， 流体容器上设有 气体喷头及二 流体喷头， 以容纳流体容器内的流体输出至上盖 板上方。 [0007]进一步地， 所述流体容器上固接一滤网架， 在滤网架内安装过滤网， 过滤网在上盖 板上的投影面积大于开口 的面积， 在滤网架两侧设置有清理机构以对过 滤网进行清理。 [0008]进一步地， 所述清理机构包括U形管， U形管一端固接在滤网架底部， 另一端安装有 缸体， 缸体内可滑动的配合有活塞， 活塞安装有活塞杆， 活塞杆固在连板上， 在连板与缸体 之间设有压缩弹簧。 [0009]进一步地， 在所述U形管最底端设有一阀体结构以容纳U形管内的流体排出， 阀体 结构包括球座及板件， 板件与球座相配合， 板件可转动的配合在球座内， 球座及板件均具有 磁性， 在磁力作用下板件令球座处于常闭状态。 [0010]进一步地， 所述连板上设有一驱动结构以驱动板件在球座内转动， 所述驱动结构 包括转轴及齿条， 转轴 可转动的安装在球座上， 板件固接在转轴上， 转轴端部固接有齿轮， 所述齿条固接在连板上， 齿轮与齿条相配合。 [0011]进一步地， 在所述 流体容器及壳体内壁之间设置有防水帘。说　明　书 1/5 页 3 CN 115532707 A 3