(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211058139.2 (22)申请日 2022.08.31 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201314 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 侯晓佳　敖海林　唐升　 (74)专利代理 机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 312 95 专利代理师 王思琦 (51)Int.Cl. F26B 25/18(2006.01) F26B 9/06(2006.01) F26B 25/08(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)发明名称 石英烘干架及烘干装置 (57)摘要 本发明公开了石英烘干架及烘干装置， 属于 半导体器件加工技术领域， 该石英烘干架， 包括 通过一连接支架固定连接的两个固定支架， 所述 连接支架与两个所述固定支架之间配合形成一 具有开口的容置空间， 所述连接支架上设置有至 少一个限位机构， 所述限位机构与所述连接支架 配合用于使一石英件沿其表面延伸方向站立设 置于所述容置空间中。 通过将石英件站立放置在 石英烘干架上， 以便于直接转移装有石英件的石 英烘干架进行清洗和烘干， 加快石英件的周转效 率， 提高石英件的烘干效率。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 115420093 A 2022.12.02 CN 115420093 A 1.一种石英烘干架， 其特征在于， 包括： 通过一连接支架固定连接的两个固定支架， 所 述连接支架与两个所述固定支架之 间配合形成一具有开口的容置空间， 所述连接支架上设 置有至少一个限位机构， 所述限位机构与所述连接支架配合用于使一石英件沿其表面延伸 方向站立设置 于所述容置空间中。 2.如权利要求1所述的石英烘干架， 其特征在于， 所述连接支架包括至少一根托架和两 根侧边架， 所述托架的两端分别与一个所述固定支架的底部固定连接， 所述侧 边架的两端 分别与一个所述固定支架固定连接， 所述托架、 两根所述侧 边架以及两根所述固定支架围 合形成所述具有开口的容置空间， 其中， 所述托架 为所述容置空间的底部， 两根所述侧边架 和两个所述固定支 架围合组成所述 容置空间的开口。 3.如权利要求2所述的石英烘干架， 其特征在于， 所述限位机构包括开设在所述托架上 的第一限位卡槽， 以及分别开设在所述侧边架上的第二限位卡槽、 第三限位卡槽， 所述第一 限位卡槽、 第二限位卡槽和所述第三限位卡槽配合限定一圆形空间， 所述石英件用于卡设 在所述圆形空间中。 4.如权利要求3所述的石英烘干架， 其特征在于， 所述限位机构包括至少两个直径不同 的第一类限位机构、 第二类限位机构， 所述限位机构的直径定义为对应的所述第一限位卡 槽、 第二限位 卡槽和所述第三限位 卡槽配合限定的圆形空间的直径。 5.如权利要求4所述的石英烘干架， 其特征在于， 所述托架包括第一倾斜段、 第一子托 架件和第二子托架件， 所述第一倾斜段的两端分别与所述第一子托架件和 第二子托架件的 一端连接， 所述第一子托架件、 第二子托架件的另一端分别与一个所述固定支 架连接； 所述侧边架包括第二倾斜段、 第一子边架件和第二子边架件， 所述第二倾斜段的两端 分别与所述第一子边架件和第二子边架件的一端连接， 所述第一子边架件、 第二子边架件 的另一端分别与一个所述固定支 架连接； 所述第一子托架件上的第一限位卡槽和两个所述第一子边架件上对应的第二 限位卡 槽和第三限位 卡槽配合组成所述第一类限位机构； 所述第二子托架件上的第一限位卡槽和两个所述第二子边架件上对应的第二 限位卡 槽和第三限位 卡槽配合组成所述第二类限位机构。 6.如权利要求5所述的石英烘干架， 其特征在于， 所述第 二限位卡槽和对应的所述第 三 限位卡槽的内壁中还设置有连接轴， 所述连接轴上转动连接有卡齿。 7.一种烘干装置， 其特 征在于， 包括： 如权利要求1～6中任一项所述的石英烘干架； 立式架体， 所述立式架体的四周和顶部、 底部均安装有护板， 所述石英烘干架可拆卸安 装在所述 立式架体中； 设置于所述立式架体顶部空间的热风系统， 用以产生吹向所述石英件的热风。 8.如权利要求7所述的烘干装置， 其特征在于， 所述立式架体中固定安装有沥水板， 所 述石英烘干架可拆卸安装在所述沥水板上， 所述沥水板的底部配设有接水板 。 9.如权利要求7所述的烘干装置， 其特征在于， 所述热风系统包括设置在所述立式架体 顶部的电机、 至少一个风扇， 所述电机的动力输出端 连接有传动机构， 所述电机通过所述传 动机构驱动所述 风扇转动。 10.如权利要求9所述的烘干装置， 其特征在于， 所述风扇的底部设置有加热导丝， 所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115420093 A 2加热导丝的端部与所述 立式架体的内壁固定连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115420093 A 3