(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211010543.2 (22)申请日 2022.08.23 (71)申请人 上海提牛机电设备有限公司 地址 201405 上海市奉贤区堂富路8 8号 (72)发明人 李杰　张子阳　申朋举　马国权　 李守印　 (74)专利代理 机构 上海十蕙一兰知识产权代理 有限公司 313 31 专利代理师 刘秋兰 (51)Int.Cl. F26B 3/30(2006.01) F26B 9/06(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 23/06(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 硅片干燥箱 (57)摘要 本发明公开了一种硅片干燥箱， 具有： 一可 容纳硅片的干燥箱体， 所述干燥箱 体的两侧壁分 布有若干平行间隔设置的IR加热管； 一进风口， 设置在所述干燥箱体的上部； 一抽风仓， 设置在 所述干燥箱 体的下部。 本发明通过石英管作为IR 加热管， 来避免干燥箱体内颗粒粉尘的形成， 而 避免硅片被污染； 另外设置四棱台结构形式的抽 风仓， 来提高箱 体进风口与抽风仓之间的箱体内 的风流均匀度， 使得所有硅片在同一时刻干燥完 全， 以提高干燥速率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 115388619 A 2022.11.25 CN 115388619 A 1.一种硅片干燥箱， 其特 征在于具有： 一可容纳硅片的干燥箱体， 所述干燥箱体的两侧壁分布有若干平行间隔设置的IR加热 管； 一进风口， 设置在所述干燥箱体的上部； 一抽风仓， 设置在所述干燥箱体的下部 。 2.根据权利要求1所述的硅片干燥箱， 其特 征在于所述硅片干燥箱还 包括： 一漫散分流板， 设置在所述干燥箱体的底部 。 3.根据权利要求1所述的硅片干燥箱， 其特征在于所述干燥箱体的两侧壁分别设置有 IR管容纳腔， 所述 IR加热管垂直放置在所述 IR管容纳腔内。 4.根据权利要求3所述的硅片干燥箱， 其特征在于所述IR管容纳腔于所述干燥箱体的 内侧设置有 若干间隔水平设置的防护栏。 5.根据权利 要求3所述的硅片干燥箱， 其特征在于相邻两个IR管的间距为38～42mm， 所 述IR管的长度为3 00～400mm之间。 6.根据权利要求3所述的硅片干燥箱， 其特征在于所述抽风仓为四条棱边相等的四棱 台结构， 具有一与所述干燥箱体底部连通的仓底和一出风的仓口， 所述仓口与所述仓底相 对设置。 7.根据权利要求6所述的硅片干燥箱， 其特 征在于 所述抽风仓 的两相对第一侧壁与仓口的夹角为125～135 °优选130°； 所述抽风仓的两 相对第二侧壁与仓口 的夹角为140～145 °优选142°。 8.根据权利要求6所述的硅片干燥箱， 其特征在于所述仓口与所述仓底尺寸比为0.33 ～0.38： 1优选 0.35～0.36： 1。 9.根据权利要求2所述的硅片干燥箱， 其特征在于所述漫散分流板上平均分布有若干 通风孔。 10.根据权利 要求9所述的硅片干燥箱， 其特征在于所述通风孔的孔径为4.8～5.2mm优 选5mm， 孔间距为7.8～8.2m m优选8mm。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115388619 A 2硅片干燥箱 技术领域 [0001]本发明属于半导体装备技 术领域， 进一 步涉及硅片干燥箱。 背景技术 [0002]在硅片的生产加工过程中， 通常需要对硅片进行干燥。 现有技术中的硅片干燥机 大多使用IP干燥即化学干燥方式进行干燥。 然而干燥箱体内温度较高， 化学干燥机容易形 成颗粒、 粉尘而污染硅片 。 而且化学干燥中使用的化学制品燃点低、 又易燃、 易爆 。 而且化学 干燥方式不均匀， 完全干燥透彻需要7～8分钟， 干燥效率低下。 发明内容 [0003]针对现有技术中化学干燥方式的箱体内有颗粒粉尘而污染硅片的技术问题， 目的 在于提供一种新的硅片干燥箱。 [0004]本发明的硅片干燥箱具有： [0005]一可容纳硅片的干燥箱体， 所述干燥箱体的两侧壁分布有若干平行间隔设置的IR 加热管； [0006]一进风口， 设置在所述干燥箱体的上部； [0007]一抽风仓， 设置在所述干燥箱体的下部 。 [0008]本发明通过设置IR加热管， 而IR加热管为碳纤维石英管， 通过红外线加热方式来 干燥硅片， 不会产生颗粒粉尘， 从而不会 对硅片造成污染。 [0009]较佳地是， 所述硅片干燥箱还 包括： [0010]一漫散分流板， 设置在所述干燥箱体的底部 。 [0011]较佳地是， 所述干燥箱体的两侧壁分别设置有IR管容纳腔， 所述IR加热管垂直放 置在所述 IR管容纳腔内。 [0012]较佳地是， 所述IR管容纳腔于所述干燥箱体的内侧设置有若干间隔水平设置的防 护栏。 [0013]较佳地是， 相邻两个IR管的间距为38～42m m， 所述IR管的长度为3 00～400mm之间。 [0014]较佳地是， 所述抽风仓为四条棱边相等的四棱台结构， 具有一与所述干燥箱体底 部连通的仓底和一出风的仓口， 所述仓口与所述仓底相对设置 。 [0015]较佳地是， 所述抽风仓的两相对第一侧壁与仓口的夹角为125～135 °优选130°； 所 述抽风仓的两相对第二侧壁与仓口 的夹角为140～145 °优选142°。 [0016]较佳地是， 所述仓口与所述仓底 尺寸比为0.3 3～0.38： 1优选 0.35～0.36： 1。 [0017]较佳地是， 所述漫散分流板上平均分布有 若干通风孔。 [0018]较佳地是， 所述通风孔的孔径为4.8～5.2mm优选5mm， 孔间距为7.8～8.2mm优选 8mm。 [0019]本发明的积极进步效果在于： [0020]1)本发明通过石英管作为IR加热管， 来避免干燥箱体内颗粒粉尘的形成， 而避免说　明　书 1/3 页 3 CN 115388619 A 3