(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211319070.4 (22)申请日 2022.10.26 (71)申请人 浙江矽盛电子有限公司 地址 324300 浙江省衢州市开 化县工业园 区银辉路8号 (72)发明人 徐永忠　金利明　黄小波　汪裕龙　 郑磊　 (74)专利代理 机构 北京和联顺知识产权代理有 限公司 1 1621 专利代理师 王欢 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) (54)发明名称 一种太阳能级 多晶硅硅料的酸洗设备 (57)摘要 本发明涉及多晶硅料技术领域， 具体的是一 种太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 本发明包括 酸洗箱体与酸洗辊， 酸洗箱 体的内腔设置有进料 仓与酸洗槽， 进料仓与酸洗槽 之间设置有用于阻 隔的密封门， 酸洗箱体的内腔顶部两侧均设置有 滑轨， 滑轨之间滑动相连有横梁， 横梁的底部两 侧均设置有电动伸缩 杆， 电动伸缩 杆的底部设置 有夹持机构， 夹持机构用于夹持酸洗辊并送入酸 洗槽内， 酸洗槽内设置有用于固定酸洗辊的安装 架； 本发明通过设置有酸洗辊与安装架， 可以通 过安装架将酸洗辊固定夹持， 通过驱动机构带动 酸洗辊做转动， 并且酸洗辊可以做前后振动， 硅 料就会随着酸洗滚筒的转动而翻转并同时进行 振动， 保证硅料一直处在运动的状态中， 提高了 酸洗的效率。 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 CN 115518936 A 2022.12.27 CN 115518936 A 1.一种太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 包括酸洗箱体(1)与 酸洗辊(9)， 其特征在于， 所述酸洗箱体(1)的内腔设置有进料仓(2)与酸洗槽， 酸洗箱体(1)的顶部 设置有通风口， 进 料仓(2)与酸洗槽之间设置有用于阻隔的密封门(3)， 酸洗箱体(1)的内腔顶部两侧均设置 有滑轨(4)， 滑轨(4)之间滑动相连有横梁(5)， 横梁(5)的底部两侧均设置有电动伸缩杆 (6)， 电动伸缩杆(6)的底部设置有夹持机构(7)， 夹持机构(7)用于夹持酸洗辊(9)并送入酸 洗槽内， 酸洗槽内设置有用于固定酸洗辊(9)的安装架(8)， 酸洗槽的两内侧壁设置有喷头 (10)， 喷头(10)用于喷淋酸洗辊(9)。 2.根据权利要求1所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述进料仓 (2)的后端设置有用于推动酸洗辊(9)的推板(21)， 酸洗箱体(1)的后端固定安装有第一液 压缸(22)， 第一液压缸(2 2)的活动端贯 穿酸洗箱体(1)的后侧壁与推板(21)相连。 3.根据权利要求1所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述横梁(5) 的两端均固定相连有滚轮(51)， 滑轨(4)的侧壁开设有与滚轮(51)相配合的活动槽， 且横梁 (5)通过滚轮(51)与滑轨(4)活动相连， 横梁(5)的内腔转动相连有丝杠(52)， 电动伸缩杆 (6)的顶端固定相连有限位滑块(61)， 且限位滑块(61)与丝杠(52)螺纹相连。 4.根据权利要求1所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述夹持机构 (7)包括固定板(71)， 固定板(71)的底部相对设置有两个夹具(72)， 固定板(71)的内腔转动 相连有双向螺纹杆(73)， 夹具(72)的顶端 固定相连有移动滑块(74)， 移动滑块(74)与双向 螺纹杆(73)螺纹相连， 且两个移动滑块(74)分别位于双向螺纹杆(73)两端相反的螺纹槽 处。 5.根据权利要求1所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述安装架 (8)包括第一支撑轴(81)与第二支撑轴(82)， 且第一支撑轴(81)与第二支撑轴(82)分别位 于酸洗槽的两端， 第一支撑轴(81)固定于酸洗槽的内侧壁， 第二支撑轴(82)的后端设置有 第二液压缸(821)， 第二液压缸(821)的活动端与第二支撑轴(82)固定相连， 第二支撑轴 (82)的表面套设有托架(822)， 托架(822)固定于酸洗槽的底部， 且第二支撑轴(82)与托架 (822)滑动相连， 第一支撑轴(81)与第二支撑轴(82)用于对酸洗辊(9)进行支撑， 第一支撑 轴(81)的一侧设置有驱动机构(83)， 驱动机构(83)用于带动酸洗辊(9)进行转动。 6.根据权利要求5所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述驱动机构 (83)包括从动齿轮(831)， 从动齿轮(831)套于第一支撑轴(81)的表面， 且从动齿轮(831)与 第一支撑轴(81)转动相连， 从动齿轮(831)的内侧壁相对设置有两个插 杆(832)， 酸洗 辊(9) 的一端开设有与插杆(832)相配合的插孔， 从动齿轮(831)的顶部啮合有主动齿轮(833)， 主 动齿轮(833)的外侧设置有驱动电机(834)， 驱动电机(834)固定于酸洗箱体(1)的外侧壁， 且驱动电机(834)的输出端与主动齿轮(83 3)相连。 7.根据权利要求6所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述酸洗辊 (9)的中心处设置有 固定轴(90)， 且酸洗辊(9)与固定轴(90)转动相连， 固定轴(90)的两端 分别设置有第一连杆(901)与第二连杆(902)， 第一支撑轴(81)远离从动齿轮(831)的一端 开设有与第一连杆(901)相配合的第一通孔， 第二支撑轴(82)远离第二液压缸(821)的一端 开设有与第二连杆(902)相配合的第二通孔， 且第一支撑轴(81)与第二支撑轴(82)用于对 固定轴(90)固定 夹持； 所述酸洗辊(9)远离驱动机构(83)的一端设置有密封盖(91)， 密封盖(91)与酸洗辊(9)权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115518936 A 2卡扣相连， 酸洗辊(9)的内腔设置有酸洗滚筒(92)与圆柱体(93)， 酸洗滚筒(92)与酸洗辊 (9)固定相连， 圆柱体(93)与固定轴(90)相连， 酸洗辊(9)与酸洗滚筒(92)的表面均开设有 进液孔(94)。 8.根据权利要求7所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述圆柱体 (93)的表面开设有呈螺旋一圈的滑槽(931)， 酸洗辊(9)的内侧壁固定相连有第一凸块 (95)， 且酸洗辊(9)通过第一凸块(95)与圆柱体(93)活动相连， 酸洗滚筒(92)相对于圆柱体 (93)做相对转动与前后移动； 所述酸洗滚筒(92)的内腔由内向外分布有多个呈空心圆柱状的分筛板(921)， 分筛板 (921)的表面均开设有筛孔(9 22)， 且筛孔(9 22)的内径由内向外逐级减小。 9.根据权利要求1所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述酸洗槽的 两内侧壁均设置有升降架(11)， 喷头(10)阵列分布于升降架(11)的表面， 酸洗槽的侧壁内 固定相连有滑杆(12)， 升降架(11)通过滑杆(12)在酸洗槽内做上下滑动， 升降架(11)的底 部固定相连有输液 管(13)， 输液 管(13)远离 升降架(1 1)的一端与耐酸泵相连。 10.根据权利要求9所述的太阳能级多晶硅硅料的酸洗设备， 其特征在于， 所述升降架 (11)的顶部设置有转盘(14)， 转盘(14)与酸洗槽的内侧壁转动相连， 转盘(14)靠近侧壁的 表面固定相连有第一限位杆(15)， 第一限位杆(15)的表面套设有驱动杆(16)， 且驱动杆 (16)与第一限位杆(15)活动相连， 升降架(11)的顶部固定相连有第二凸块(17)， 第二凸块 (17)的表 面固定相连有第二限位杆(18)， 驱动杆(16)远离第一限位杆(15)的一端与第二限 位杆(18)活动相连。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115518936 A 3