(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211094781.6 (22)申请日 2022.09.08 (71)申请人 上海申和投资有限公司 地址 201900 上海市宝山区宝山城市工业 园区山连路181号 (72)发明人 贺贤汉　赖章田　陈有生　张城　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆加工用兆声清洗 机 (57)摘要 本发明涉及半导体清洗技术领域， 具体是涉 及一种晶圆加工用兆声清洗机包括容纳壳、 晶圆 夹具和角度调节组件， 晶圆夹具包括固定半圆卡 盘和活动半圆卡盘， 固定半圆卡盘内设有若干个 驱动转轮， 活动半圆卡盘内设有若干个弹性转 轮， 角度调节组件包括两个水平夹臂， 每个水平 夹臂上均设有一个滑块， 每个滑 块上均设有兆声 清洗头， 本装置采用两个相互铰接且夹角可控的 水平夹臂来引导兆声清洗头进行位移， 通过二号 电机来驱动移动块带动两个连杆牵引两个水平 夹臂逐渐展开， 那么兆声清洗头越往晶圆的中心 处位移， 兆声清洗头与晶圆侧面之间的距离越 远， 确保了晶圆的中心处不会集中受到兆声清洗 头发出的能量而受损。 权利要求书3页 说明书7页 附图15页 CN 115424957 A 2022.12.02 CN 115424957 A 1.一种晶圆加工用兆声清洗 机， 其特征在于， 包括： 容纳壳 （1） ， 呈 水平设置， 顶部为 开口结构； 晶圆夹具， 包括能够旋转合圆且用于固定晶圆的固定半圆卡盘 （2） 和活动半圆卡盘， 固 定半圆卡盘 （2） 固定设于容纳壳 （1） 内， 活动半圆卡盘位于固定半圆卡盘 （2） 的正上方， 并且 活动半圆卡盘的一端与固定半圆卡盘 （2） 的一端相铰接， 活动半圆卡盘的另一端通过锁定 卡扣 （3） 与固定半圆卡盘 （2） 的另一端相固定， 固定半圆卡盘 （2） 内转动 设有若干个沿固定 半圆卡盘 （2） 的圆周方向均匀分布的驱动转轮 （4） ， 活动半圆卡盘内转动设有若干个沿活动 半圆卡盘的圆周方向均匀分布的弹性 转轮 （5） ； 角度调节组件， 包括两个呈夹状分别分布于晶圆夹具两侧的水平夹臂 （6） ， 两个水平夹 臂 （6） 远离晶圆夹具的一端相铰接， 每个水平夹臂 （6） 上均设有一个能够沿自身的长度方向 进行水平位移的滑 块 （7） ， 每个滑 块 （7） 上均设有正对晶圆夹具一侧的兆 声清洗头 （8） ， 两个 水平夹臂 （6） 的另一端能够相向运动， 使得对应的兆声清洗头 （8） 逐渐靠近晶圆夹具的一 侧。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用兆声清洗机， 其特征在于， 固定半圆卡盘 （2） 的内侧沿其圆周方向开设有半圆容纳槽 （9） ， 驱动转轮 （4） 的数量为三个， 其中两个驱动转 轮 （4） 呈对称 状态， 另外一个驱动转轮 （4） 位于两个呈对称 状态的驱动转轮 （4） 的下方， 每个 驱动转轮 （4） 均设于半圆容纳槽 （9） 内， 容纳壳 （1） 的内壁上转动设有三根水平穿过固定半 圆卡盘 （2） 且将固定半圆卡盘 （2） 固定于容纳壳 （1） 内的驱动转轴 （10） ， 每个驱动转轴 （10） 与固定半圆卡盘 （2） 之间均设有一号耐磨套 （11） ， 每个驱动转轴 （10） 上均 成型有两个分别 分布于固定半圆卡盘 （2） 两侧， 且用于防止固定半圆卡盘 （2） 左右移动的环状凸台 （12） ， 每 个驱动转轮 （4） 均同轴固定设于对应的驱动转轴 （10） 上， 每个驱动转轴 （10） 的一端均水平 穿出容纳壳 （1） ， 容纳壳 （1） 的外壁上设有用于同步 驱动三根 驱动转轴 （10） 同向旋转的一号 驱动机构。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用兆声清洗机， 其特征在于， 一号驱动机构包 括： 主动齿轮 （13） ， 设于容纳壳 （1） 的外壁上且与位于最下方的驱动转轴 （10） 的穿出端同 轴相连； 一号电机 （14） ， 呈水平固定设于容纳壳 （1） 的外壁上， 且一号电机 （14） 的输出轴与主动 齿轮 （13） 同轴相连； 两个传动齿轮 （15） ， 二者呈对称状态设于主动齿轮 （13） 的侧上方， 每个传动齿轮 （15） 均与容纳壳 （1） 对应的外壁相轴接， 并且每 个传动齿轮 （15） 均 与主动齿轮 （13） 相啮合； 两个从动齿轮 （16） ， 二者呈对称状态分别设于两个传动齿轮 （15） 的侧上方， 每个从动 齿轮 （16） 均与对应的驱动转轴 （10） 的穿出端同轴相连， 并且每个从动齿轮 （16） 均与对应的 传动齿轮 （15） 相啮合。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用兆声清洗机， 其特征在于， 活动半圆卡盘包 括： 两个呈对称状态且沿固定半圆卡盘 （2） 的轴向间隔分布的独立半圆卡盘 （17） ， 两个独 立半圆卡盘 （17） 同侧的一端均与固定半圆卡盘 （2） 的一端相铰接， 锁定卡扣 （3） 的数量为两 对， 两对锁定卡扣 （3） 呈对称 状态分别设于两个独立半圆卡盘 （17） 自由端的两侧， 每对锁定权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115424957 A 2卡扣 （3） 均用于将对应的独立半圆卡盘 （17） 的自由端固定于固定半圆卡盘 （2） 另一端的端 部上； 两个呈对称状态的半圆容纳壳 （18） ， 二者分别固定设于两个独立半圆卡盘 （17） 的相向 侧， 每个半圆容纳壳 （18） 上均匀开设有数量相同且一一对应的条形通槽 （19） ， 每个条形通 槽 （19） 的长度方向均 与对应的半圆容纳壳 （18） 的径向一 致； 其中， 每个半圆容纳壳 （18） 中相对称的两个条形通槽 （19） 内均横向插入一个二号耐磨 套 （20） ， 每个二号 耐磨套 （20） 上均固定设有两个呈对称状态且将二号 耐磨套 （20） 弹性支撑 于对应的条形通槽 （19） 内的弹簧 （21） ， 每个弹簧 （21） 的长度方向均与对应的条形通槽 （19） 的长度方向一致， 两个 半圆容纳壳 （18） 之间设有若干个与条形通槽 （19） 一一对应的水平 转 轴 （22） ， 每个水平转轴 （22） 的两端均分别插入对应的两个二号耐磨套 （20） 内， 若干个弹性 转轮 （5） 的数量与水平 转轴 （22） 的数量一致， 每个弹性转轮 （5） 均同轴固定设于对应的水平 转轴 （22） 的中端， 每个水平 转轴 （22） 上均同轴成型有两个 分别与两个 半圆容纳壳 （18） 相抵 触的限位圆环 （23） 。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用兆声清洗机， 其特征在于， 每个水平夹臂 （6） 靠近晶圆夹具中心处的一端为头部， 另一端为尾部， 容纳壳 （1） 一侧的外壁上固定 设有位于 两个水平夹臂 （6） 之间且靠近两个水平夹臂 （6） 尾部的空心固定座 （2 4） ， 空心固定座 （2 4） 的 一侧固定设有一个横向的固定条 （25） ， 固定条 （25） 的长度方向与固定半圆卡盘 （2） 的轴向 一致， 每个水平夹臂 （6） 靠近其尾部的部位均与对应的固定条 （25） 的一端相铰接， 空心固定 座 （24） 内转动设有一个呈水平且长度方向与固定半圆卡盘 （2） 径向一致的螺纹转轴 （26） ， 螺纹转轴 （26） 的一端朝向其中一个水平夹臂 （6） 的尾部水平延伸且穿出至空心固定座 （2 4） 外， 螺纹转轴 （26） 的延伸端上设有与螺纹转轴 （26） 螺纹配合的移动块 （27） ， 移动块 （27） 的 每端均铰接有一个连杆 （28） ， 每个连杆 （28） 的另一端均与对应的水平夹臂 （6） 的尾部相铰 接， 空心固定座 （24） 的下 方设有用于驱动螺纹转轴 （26） 旋转的二 号驱动机构。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用兆声清洗机， 其特征在于， 二号驱动机构包 括： 二号电机 （29） ， 呈竖直状态固定设于容纳壳 （1） 的外壁上且位于空心固定座 （24） 的正 下方， 二号电机 （2 9） 的输出轴竖直向上穿入空心固定座 （24） 内； 主动伞齿 （3 0） ， 同轴固定 于二号电机 （2 9） 的输出轴上； 从动伞齿 （31） ， 位于空心固定座 （24） 内且同轴固定 于螺纹转轴 （26） 上。 7.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用兆声清洗机， 其特征在于， 每个水平夹臂 （6） 外侧的侧壁上均转动设有一个根呈水平且长度方向与对应的水平夹臂 （6） 的长度方向一致 的长轴螺纹杆 （32） ， 每个水平夹臂 （6） 上均开设有一个与长轴螺纹杆 （32） 相对应的条形滑 槽 （33） ， 每个滑块 （7） 均 设于长轴 螺纹杆 （32） 上， 且每个滑块 （7） 均与长轴螺纹杆 （32） 螺纹 配合， 每个滑块 （7） 朝向晶圆夹具的一侧均成型有一个位于对应的条形滑槽 （33） 内的限位 块 （34） ， 每个兆声清洗头 （8） 均固定设于限位块 （34） 朝向晶圆夹具的一侧， 两个水平夹臂 （6） 的尾部设有一个与容纳壳 （1） 固连的双头电机 （35） ， 双头电机 （35） 的两个输出轴分别水 平朝向两个长轴螺纹杆 （32） ， 双头电机 （35） 的每个输出轴 均通过一个万向节 （36） 与对应的 长轴螺纹杆 （32） 的