(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210924979.6 (22)申请日 2022.08.03 (71)申请人 荆楚理工学院 地址 448000 湖北省荆门市象山大道3 3号 (72)发明人 刘玲　 (74)专利代理 机构 北京汇捷知识产权代理事务 所(普通合伙) 11531 专利代理师 王文娇 (51)Int.Cl. G01N 3/02(2006.01) G01N 3/04(2006.01) G01N 3/08(2006.01) (54)发明名称 一种微机 械力学性能测试仪 (57)摘要 本发明公开了一种微机械力学性能测试仪， 其结构包括底座、 测试台、 急停按钮、 放置机构、 下压机构， 底座上表面与测试台下端相固定， 并 且测试台前端表面嵌有急停按钮， 伸缩软管受到 重力进行收缩， 从而使 得伸缩软管将吸盘内部的 气体进行挤出， 提高对微机械卡合固定的牢固 性， 连动板下端顺着滑动块在弹簧杆上往外侧进 行弹性移动， 从而使得受力板进行缓冲下降， 接 触机构在缓冲套管内部往下移动， 通过弹簧对接 触机构与缓冲套管内部起到缓冲下降的效果， 避 免接触机构与微机械接触瞬间产生较大的压力， 磁块对微机械的上端进行磁性吸附， 提高压力板 对微机械 上端的磁性吸附效果， 从而防止在压力 测试过程中， 微机 械从压力板下端飞出。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 115326538 A 2022.11.11 CN 115326538 A 1.一种微机械力学性能测试仪， 其结构包括底座 （1） 、 测试台 （4） 、 急停按钮 （7） 、 放置机 构 （9） 、 下压机构 （6） ， 所述底座 （1） 上表面与测试台 （4） 下端相固定， 并且测试台 （4） 前端表 面嵌有急停按钮 （7） ， 所述放置机构 （9） 安装在底座 （1） 上端面， 并且放置机构 （9） 位于下压 机构 （6） 正下 方， 所述下压 机构 （6） 设在测试台 （4） 前端底部， 其特 征在于： 所述放置机构 （9） 包括卡合机构 （91） 、 底座槽 （94） 、 连动板 （98） 、 滑动块 （96） 、 弹簧杆 （92） ， 所述卡合机构 （91） 安装在底座槽 （94） 顶部， 并且底座槽 （94） 安装在底座 （1） 上端面， 所述底座槽 （94） 内部设有 连动板 （98） ， 所述连动板 （98） 上端与卡合机构 （91） 内部中端相铰 接， 并且连动板 （98） 下端与滑动块 （96） 内部相铰接， 所述弹簧杆 （92） 采用间隙配合贯穿于 滑动块 （96） 内部， 所述弹簧杆 （92） 固定安装在底座槽 （94） 内部， 所述卡合机构 （91） 位于下 压机构 （6） 正下 方。 2.根据权利要求1所述的一种微机械力学性能测试仪， 其特征在于： 所述卡合机构 （91） 包括限位盘 （c） 、 伸缩 杆 （e） 、 卡合片 （g） 、 吸附机构 （h） ， 所述限位盘 （c） 安装在底座槽 （94） 顶 部， 并且限位盘 （c） 内壁与伸缩杆 （e） 外侧端相焊接， 所述伸缩杆 （e） 内侧端设有卡合片 （g） ， 所述限位盘 （c） 内部中端设有吸附机构 （h） ， 并且吸附机构 （h） 底部中端与连动板 （98） 上端 相铰接， 所述吸附机构 （h） 位于下压 机构 （6） 正下 方。 3.根据权利要求2所述的一种微机械力学性能测试仪， 其特征在于： 所述吸附机构 （h） 包括受力板 （h4） 、 吸盘 （h3） 、 伸缩软管 （h6） 、 排气机构 （g9） ， 所述受力板 （h4） 采用间隙配合 安装在限位盘 （c） 内部中端， 并且受力板 （h4） 底部中端与连动板 （98） 上端相铰接， 所述吸盘 （h3） 设在受力板 （h4） 上端面， 所述吸盘 （h3） 下端与伸缩软管 （h6） 上端相贯通， 所述伸缩软 管 （h6） 下端设有排气机构 （g9） ， 所述受力板 （h4） 位于下压 机构 （6） 正下 方。 4.根据权利要求3所述的一种微机械力学性能测试仪， 其特征在于： 所述排气机构 （g9） 包括排气管 （9 z） 、 固定块 （9s） 、 扭力轴 （9e） 、 开闭片 （9w） 、 通孔 （9b） ， 所述排气管 （9z） 设在伸 缩软管 （h6） 下端， 并且排气管 （9z） 内壁设有固定块 （9s） ， 所述固定块 （9s） 通过扭力轴 （9e） 与开闭片 （9w） 外侧端相铰接， 所述开闭片 （9w） 位于排气管 （9z） 内部， 并且开闭片 （9w） 内部 贯穿有通孔 （9b） 。 5.根据权利要求3所述的一种微机械力学性能测试仪， 其特征在于： 所述下压机构 （6） 包括下降杆 （6c） 、 压力杆 （6e） 、 缓冲套管 （6h） 、 弹簧 （6k） 、 接触机构 （6a） ， 所述下降杆 （6c） 内 部设有压力杆 （6e） ， 并且压力杆 （6e） 下端与接触机构 （6a） 内部相固定， 所述、 缓冲套管 （6h） 上端固定安装在下降杆 （6c） 底部， 并且缓冲套管 （6h） 下端内部通过弹簧 （6k） 与接触机构 （6a） 上端外侧相固定， 所述接触机构 （6a） 位于受力板 （h4） 正上 方。 6.根据权利要求5所述的一种微机械力学性能测试仪， 其特征在于： 所述接触机构 （6a） 包括压力板 （a4） 、 磁块 （a7） 、 排气孔 （a1） 、 连接板 （a3） 、 导向杆 （a9） ， 所述压力板 （a4） 下端内 部嵌有排气孔 （a1） ， 并且磁块 （a7） 位于排气孔 （a1） 内部， 所述磁块 （a7） 外侧设有连接板 （a3） ， 所述导向杆 （a9） 采用间隙配合贯穿于连接板 （a3） 外侧端 内部， 并且导向杆 （a9） 固定 安装在压力板 （a4） 内部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115326538 A 2一种微机械力学性能测试 仪 技术领域 [0001]本发明涉及微机械力学领域， 更具体地说， 尤其是涉及到一种微机械力学性能测 试仪。 背景技术 [0002]微机械是指利用半导体技术设计和制造微米领域的三维力学系统， 以及微米尺度 的力学元件的技术， 微机械设备生产后需要对其压力进行测试， 使用到微机械力学性能测 试仪， 对尺寸非常小的微机械进行压力测试， 但是 由于测试仪在对尺寸非常小的微机械进 行压力测试的过程中， 微机械的表面较小， 测试仪难以对微机械进 行有效的卡合固定， 导致 压板在对微机械进行下压的过程中， 微机械容易在压板施加压力条件下发生翘起， 压板持 续的往下施加压力， 导致微机械从压板的下方飞出， 从而降低对微机械有效的进行压力测 试的效果。 发明内容 [0003]本发明实现技术目的所采用的技术方案是： 该一种微机械力学性能测试仪， 其结 构包括底座、 测试台、 急停按钮、 放置机构、 下压机构， 所述底座上表面与测试台下端相固 定， 并且测试台前端表面嵌有急停按钮， 所述放置机构安装在底座上端面， 并且放置机构位 于下压机构正下方， 所述下压机构设在测试台前端底部， 所述放置机构包括卡合机构、 底 座 槽、 连动板、 滑动块、 弹簧杆， 所述卡合机构安装在底 座槽顶部， 并且底座槽安装在底座上端 面， 所述底座槽内部 设有连动板， 所述连动板上端与卡合机构内部中端相铰接， 并且连动板 下端与滑动块内部相铰接， 所述弹簧杆采用间隙配合贯穿于滑动块内部， 所述弹簧杆固定 安装在底座槽内部， 所述 卡合机构位于下压 机构正下 方。 [0004]作为本发明的进一步改进， 所述卡合机构包括限位盘、 伸缩杆、 卡合片、 吸附机构， 所述限位盘安装在底座槽顶部， 并且限位盘内壁与伸缩杆外侧端相 焊接， 所述伸缩杆内侧 端设有卡合片， 所述限位盘内部中端设有吸 附机构， 并且吸 附机构底部中端与连动板上端 相铰接， 所述吸附机构位于下压机构正下方， 所述伸缩杆和卡合片均设有四个， 并且呈环型 分布在限位盘内壁四个方位上。 [0005]作为本发明的进一步改进， 所述吸附机构包括 受力板、 吸盘、 伸缩软管、 排气机构， 所述受力板采用间隙配合安装在限位盘内部中端， 并且受力板底部中端与连动板上端相铰 接， 所述吸盘设在受力板上端面， 所述吸盘下端与伸缩软管上端相贯通， 所述伸缩软管下端 设有排气 机构， 所述受力板位于下压机构正下方， 所述伸缩软管呈褶皱型结构， 并且采用橡 胶材质， 具有一定的回弹性。 [0006]作为本发明的进一步改进， 所述排气机构包括排气管、 固定块、 扭力轴、 开闭片、 通 孔， 所述排气管设在伸缩软管下端， 并且排气管内壁设有固定块， 所述固定块通过扭力轴与 开闭片外侧端相铰接， 所述开闭片位于排气管内部， 并且开闭片内部贯穿有通孔， 所述固定 块、 扭力轴和开闭片均设有两个， 并且呈左右对称安装。说　明　书 1/4 页 3 CN 115326538 A 3