(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210844579.4 (22)申请日 2022.07.19 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114935498 A (43)申请公布日 2022.08.23 (73)专利权人 天津金海通半导体设备股份有限 公司 地址 300384 天津市滨 海新区华苑产业区 物华道8号A10 6 (72)发明人 贺怀珍　仇崴　杨文宝　郝雄　 (74)专利代理 机构 天津企兴智财知识产权代理 有限公司 12 226 专利代理师 刘影 (51)Int.Cl. G01N 3/02(2006.01)G01N 3/12(2006.01) (56)对比文件 CN 113976460 A,2022.01.28 CN 21462 2150 U,2021.1 1.05 CN 102654559 A,2012.09.0 5 CN 21016 6211 U,2020.0 3.20 CN 206339617 U,2017.07.18 US 6220102 B1,20 01.04.24 CA 2358721 A1,20 02.04.16 CN 209745 697 U,2019.12.0 6 CN 216009429 U,2022.03.11 程璟.多芯通用可焊性测试仪. 《电子 工艺技 术》 .1990, 审查员 王鑫 (54)发明名称 测试臂动力矩 锁紧装置 (57)摘要 本发明提供了测试臂动力矩锁紧装置， 包括 底板、 一号Z轴模组、 二号Z轴模组； 底板 上固定安 装一个固定架， 一号Z轴模组和二号Z轴模组安装 至两个固定架， 一号Z轴模组和二号Z轴模组顶部 设有锁紧板， 锁紧板安装一号Z轴电机和二号Z轴 电机， 锁紧板 上表面设有锁紧组件； 一号Y轴安装 板连接至一号Z轴升降板， 二号Y轴安装板连接至 二号Z轴升降板， 二号Y轴模组与二号Z轴模组之 间配合； 底板设有Y轴驱动模组， 一号Z轴模组、 二 号Z轴模组、 一号Y轴模组、 二号Y轴模组、 Y轴驱动 模组和锁紧组件均连接至控制器。 本发明安装空 间紧凑， 运转平稳无冲击振动、 动作确认快、 制动 精确、 制动力矩大、 不需要进行磨耗调整且工作 效率高。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 114935498 B 2022.10.25 CN 114935498 B 1.测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： 包括底板、 一号Z轴模组、 二号Z轴模组、 一号Y 轴模组、 二号Y轴模组、 Y轴驱动模组和锁紧组件； 底板上表面两侧分别固定安装一个固定 架， 一号Z轴模组和二号Z轴模组分别固定安装至两个固定架上， 一号Z轴模组和二号Z轴模 组顶部设有锁紧板， 锁紧板两侧分别安装驱动一号Z轴模组的一号Z轴电机、 和驱动二号Z轴 模组的二号Z轴电机， 锁紧板上表 面设有用于抱死一号Z轴电机和二号Z轴电机的锁紧组件； 一号Y轴模组的一号Y轴安装板， 连接至一号Z轴模组的一号Z轴升降板， 二号Y轴模组的二号 Y轴安装板， 连接至二号Z轴模组的二号Z轴升降板， 实现一号Y轴模组与一号Z轴模组之间配 合， 二号Y轴模组与二号Z轴模组之间配合； 底板设有用于驱动一号Y轴模组和二号Y轴模组 的Y轴驱动模组， 一号Z轴模组、 二号Z轴模组、 一号Y轴模组、 二号Y轴模组、 Y轴驱动模组和锁 紧组件均连接 至控制器； 锁紧组件包括锁紧安装架、 一号电磁制动器和二号电磁制动器， 其中锁紧安装架包括 顶板和三个平行设置的隔板， 顶板下表面通过三个平行设置的隔板安装至锁紧板， 三个隔 板将顶板和锁紧板之间分隔成两个控制区， 在每个控制区内， 一号电磁制动器和二号电磁 制动器分别通过固定板安装至顶板的下表面， 一号电磁制动器的磁 吸端对应一号惰轮， 二 号电磁制动器的磁 吸端对应二号Z轴模组的二号惰轮； 三个平行设置的隔板上设有两套对 射传感器， 分别为与一号电磁制动器对应的一号对射传感器， 与二号电磁制动器对应的二 号对射传感器， 一号对射传感器和二号对射传感器信号连接至控制器； 初始状态， 一号电磁 制动器和 一号惰轮之间存在一号缝隙， 二号电磁制动器和 二号惰轮之间也存在二号缝隙， 一号对射传感器设置在一 号缝隙之间， 二 号对射传感器设置在二 号缝隙之间。 2.根据权利要求1所述的测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： 一号Z轴模组和二号Z轴 模组结构相同， 且二者相对底板中线对称设置， 一号Z轴模组包括一号安装槽体、 一号Z轴丝 杠、 一号Z轴升降板、 一号Z轴电机、 一号主动轮和一号惰轮， 一号安装槽体外侧面安装至固 定架， 一号安装槽体和二号Z轴模组的二号安装槽体顶部安装锁紧板， 一号Z轴丝杠设置在 一号安装槽内， 且一号Z轴丝杠顶端穿过一号安装槽和锁紧板并安装一号惰轮， 一号Z轴电 机的输出端安装一号主动轮， 一号主动轮通过同步带与一号惰轮连接， 实现一号Z轴电机对 一号Z轴丝杠的驱动， 一号Z轴升降板背部通过螺母座连接至一号Z轴丝杠， 进而实现对一号 Z轴升降板的驱动。 3.根据权利要求2所述的测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： 一号Y轴模组和二号Y轴 模组结构相同， 一号Y轴模组包括固定安装至一号Z轴升降板的一号Y轴安装板和一号测试 臂， 一号Y轴安装板 设有水平安装的一号Y轴滑轨， 一号测试臂的顶端背侧通过滑块与一号Y 轴滑轨滑动配合， 实现一号测试臂在Y轴方向的移动， 一号测试臂底端安装用于对芯片进 行 测试的测试压头； 二号Y轴模组包括固定安装至二号Z轴升降板的二号Y轴安装板和二号测 试臂， 二号Y轴安装板设有水平安装的二号Y轴滑轨， 二号测试臂的顶端背侧 通过滑块与二 号Y轴滑轨滑动配合， 实现二号测试臂在Y轴 方向的移动， 二号测试臂底端也安装用于对芯 片进行测试的测试压 头。 4.根据权利要求3所述的测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： 底板中部设有通槽， 所 述通槽用于一 号测试臂和二 号测试臂的通过。 5.根据权利要求4所述的测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： Y轴驱动模组包括Y轴驱 动电机、 Y轴驱动丝杠、 一号Y轴驱动滑轨、 二号Y轴驱动滑轨、 Y轴驱动螺母座和Y轴驱动连接权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114935498 B 2块， Y轴驱动电机安装至底板， Y轴驱动连接块的两侧分别安装一个Y轴驱动滑轨， Y轴驱动丝 杠通过Y轴驱动螺母座安装至一号Y轴驱动滑轨上， Y轴驱动螺母座与Y轴驱动丝杠螺纹连 接， 且Y轴驱动螺母座底部通过滑 块连接至一号Y轴驱动滑轨， Y轴驱动丝杠的端部 设有从动 轮， Y轴驱动电机的输出端设有主动轮， 主动轮通过皮带与从动轮连接， 实现Y轴驱动电机对 Y轴驱动丝杠的驱动； 二号Y轴驱动滑轨上设有从动滑 块， Y轴驱动螺母座通过连接块与从动 滑块连接， 进 而实现连接座沿Y轴方向的直线移动。 6.根据权利要求5所述的测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： Y轴驱动连接块的两侧 设有Z轴方向的导向滑块， 一号测试臂和二号测试臂的侧 边均设有一个与导向滑块相 配合 的导向滑轨， 进 而实现Y轴驱动电机驱动一 号测试臂和二 号测试臂同时在Y轴方向移动。 7.根据权利要求1所述的测试臂动力矩锁紧装置， 其特征在于： 一号惰轮的顶部和二号 惰轮的顶部均设有刹车片， 所述刹车片用于增大电磁制动器的磁吸端与惰轮之间的摩擦 力。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114935498 B 3