(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210806123.9 (22)申请日 2022.07.08 (71)申请人 浙江大学 地址 310007 浙江省杭州市西湖区浙大路 38号 (72)发明人 张跃飞　王晋　李隆玉　张泽　 (74)专利代理 机构 北京高沃 律师事务所 1 1569 专利代理师 孙玲 (51)Int.Cl. G01N 3/06(2006.01) G01N 3/02(2006.01) G01N 3/08(2006.01) G01N 3/22(2006.01) G01N 3/32(2006.01) G01N 23/2251(2018.01) (54)发明名称 一种与扫描电镜联用的原位 疲劳测试系统 (57)摘要 本发明公开一种与扫描电镜联用的原位疲 劳测试系统， 包括疲劳室、 扫描电子显微镜和试 样转移机构， 疲劳室内设置有疲劳试验台； 扫描 电子显微镜的腔体通过输送管路与疲劳室连接， 且输送管路上设置有能够使扫描电子显微镜的 腔体与疲劳室分隔或连通的阻断器。 扫描电子显 微镜的腔体与疲劳室连通， 通过试样转移机构将 疲劳试验台经输送管路传输到扫描电子显微镜 的腔体内对试验进行观测； 观测完成后， 试样转 移机构将疲 劳试验台传回到疲劳室中， 并通过阻 断器使扫描电子显微镜的腔体与疲劳室分隔(隔 断)。 由于试样测试空间和观测空间能够完全分 隔， 疲劳测试系统能不受扫描电子显微镜的使用 限制长时间连续运行， 而且能够对 试样施加多种 极端的耦合条件。 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 CN 115078082 A 2022.09.20 CN 115078082 A 1.一种与扫描电镜联用的原位 疲劳测试系统， 其特 征在于， 包括： 疲劳室， 所述疲劳室内设置有疲劳试验台， 用于对试样进行疲劳测试； 扫描电子显微镜， 所述扫描电子显微镜的腔体通过输送管路与所述疲劳室连接， 且所 述输送管路上设置有阻断器， 所述阻断器能够使 所述扫描电子显微镜的腔体与所述疲劳室 分隔或连通； 试样转移机构， 所述试样转移机构设置于所述疲劳室、 所述输送管路或所述扫描电子 显微镜的腔 体内， 所述试样转移机构能够将所述疲劳试验台经所述输送管路转移至所述扫 描电子显微镜的腔体内， 以对所述 疲劳试验台上的所述试样进行观测。 2.根据权利要求1所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 还包括疲 劳室减震台， 所述 疲劳室减震台包括： 架体； 隔振器， 多个所述隔振器设置 于所述架体的上表面； 台面， 所述台面设置 于所述隔振器的上 方； 所述疲劳室设置于所述台面上。 3.根据权利要求1或2所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述 疲劳室上设置有抽真空装置和/或试样加热装置 。 4.根据权利要求3所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 当所述疲 劳室上设置有所述抽真空装置时， 所述抽真空装置通过第一减震管路与所述疲劳室连接； 所述第一减震管路包括： 第一抽真空管路， 所述第一抽真空管路的一端与所述 疲劳室连接； 第一管路减震器， 所述第 一管路减震器包括第 一减震法兰、 第二减震法兰和减震垫， 所 述第一减震法兰和所述第二减震法兰通过波纹管连接， 且所述第一减震法兰和所述第二减 震法兰均通过螺钉与所述波纹管刚性连接， 所述第一减震法兰和所述第二减震法兰之 间设 置有所述减震垫； 所述第一减震法兰与所述第一抽真空管路的另一端连接； 第二抽真空管路， 所述第二抽真空管路的一端与所述第二减震法兰连接， 所述第二抽 真空管路的另一端与所述抽真空装置连接 。 5.根据权利要求4所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述抽真 空装置包括依次连接的分子泵和机 械泵； 所述分子泵与所述第二抽真空管路连接 。 6.根据权利要求1或2所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述 输送管路包括： 第一输送管路， 所述第一输送管路的一端与所述疲劳室连接， 所述阻断器设置于所述 第一输送管路上； 第二减震管路， 所述第二减震管路的一端与所述第一输送管路的另一端连接， 所述第 二减震管路的另一端与所述扫描电子 显微镜的腔体连接 。 7.根据权利要求6所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述第 二 减震管路包括： 第二输送管路， 所述第二输送管路的一端与所述扫描电子 显微镜的腔体连接； 第二管路减震器， 所述第 二管路减震器包括第 三减震法兰、 第四减震法兰和减震垫， 所 述第三减震法兰和所述第四减震法兰通过波纹管连接， 且所述第三减震法兰和所述第四减 震法兰之间设置有所述减震垫； 所述第三减震法兰与所述第二输送管路的另一端连接， 所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115078082 A 2述第四减震法兰与所述第一输送管路连接 。 8.根据权利要求6所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述阻断 器为插板阀。 9.根据权利要求1或2所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述 试样转移机构设置 于所述疲劳室内， 其包括： 机械手臂， 所述机械手臂包括固定臂、 滑移臂和滑移驱动， 所述固定臂固定于所述疲劳 室内， 所述滑移臂与所述固定臂滑动连接， 所述滑移驱动与所述滑移臂连接， 以驱动所述滑 移臂在所述 疲劳室和所述扫描电子 显微镜的腔体之间传输； 机械手， 所述机 械手设置 于所述滑 移臂， 所述机 械手用于 夹持所述 疲劳试验台。 10.根据权利要求1或2所述的与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统， 其特征在于， 所述 扫描电子 显微镜的腔体上设置有抽真空装置 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115078082 A 3