(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212312 2013.0 (22)申请日 2021.12.14 (73)专利权人 昆山兴宇宏机 械科技有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 北门路3888号昆山国际模 具城模具材 料区13号楼 2室 (72)发明人 刘建蔚　 (51)Int.Cl. B08B 9/20(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆储 存盒加工专用清洗设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆储存盒加工专 用清洗设备， 包括主体， 所述主体的表面设置有 显示屏， 所述主体的表面相对于显示屏的顶部固 定有固定板， 所述固定板的表 面开设有第一滑动 槽， 所述固定板的顶部开设有第二滑动槽， 所述 固定板的一侧设置有截面呈 “L”型结构的第一滑 动块， 所述第一滑动块的底部固定有刮板； 通过 设计的刮板和海绵擦， 可以对显示屏表面的灰尘 和异物进行清理， 避免影 响工作人员的观察与 操 作， 通过设计的固定板、 第一滑动槽、 第一滑动 块、 限位杆、 第二滑动块、 第二滑动槽、 第一连接 板、 卡杆， 方便刮板进行滑动， 同时也方便将刮板 拆卸下来进行清洗， 可以反复使用。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 216369389 U 2022.04.26 CN 216369389 U 1.一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 包括主体 （1） ， 其特征在于： 所述主体 （1） 的表面 设置有显示屏， 所述主体 （1） 的表 面相对于显示屏的顶部固定有固定板 （2） ， 所述固定板 （2） 的表面开设有第一滑动槽 （3） ， 所述固定板 （2） 的顶部开设有第二滑动槽 （9） ， 所述固定板 （2） 的一侧设置有截面呈 “L”型结构的第一滑动块 （4） ， 所述第一滑动块 （4） 的底部固定有刮 板 （5） ， 所述刮板 （5） 的内侧固定有海绵擦， 所述海绵擦与主体 （1） 的表面紧贴， 所述第一滑 动块 （4） 的内侧固定有第二滑动块 （8） ， 所述第二滑动块 （8） 嵌入至第一滑动槽 （3） 的内部， 所述第一滑动块 （4） 的内侧相对于第二滑动块 （8） 的顶部固定有第一连接板 （10） ， 所述第一 连接板 （10） 的一侧表面贯穿开设有第一通孔， 所述第一通孔的内部贯穿有截面呈 “L”型结 构的卡杆 （11） ， 所述卡杆 （11） 的底端嵌入至第二滑动槽 （9） 的内部， 所述卡杆 （11） 的顶部固 定有拉环。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 其特征在于： 所述卡杆 （11） 的一侧表面贯穿开设有第二通孔， 所述第二通孔的内部贯穿有截面呈 “T”型结构的限 位杆 （7） ， 所述限位杆 （7） 的底端与固定板 （2） 固定连接， 所述卡杆 （11） 与固定板 （2） 之间连 接有第一弹簧， 所述第一弹簧套设在限位杆 （7） 的表面。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 其特征在于： 所述第 二滑 动块 （8） 的表面设置有 多个滚珠， 所述滚珠与第一滑动槽 （3） 的内壁表面滚动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 其特征在于： 所述主体 （1） 的一侧设置有出水口 （6） ， 所述出水口 （6） 的一端设置有管道， 所述出水口 （6） 的一端固 定有连接管 （19） ， 所述连接管 （19） 嵌入至管道的内侧， 所述管道的表面对称固定有两个弧 形板 （12） ， 所述弧形板 （12） 的表 面开设有弧形槽 （13） ， 所述出水口 （6） 的表 面对称固定有两 个固定块 （16） ， 所述固定块 （16） 的顶端开设有第三滑动槽 （17） ， 所述第三滑动槽 （17） 的内 部嵌入有塑料块 （18） ， 所述塑料块 （18） 的顶端固定有第二连接板 （15） ， 所述第二连接板 （15） 的顶部固定有拉块， 所述第二连接板 （15） 的底部固定有金属块， 所述金属块的底端固 定有弧形卡 块 （14） ， 所述弧形卡 块 （14） 嵌入至对应弧形槽 （13） 的内部 。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 其特征在于： 所述塑料块 （18） 的底端表 面开设有弹簧槽， 所述 弹簧槽的内壁与第三滑动槽 （17） 的内壁之间连接有第 二弹簧。 6.根据权利要求4所述的一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 其特征在于： 所述第 三滑 动槽 （17） 的两侧内壁对称开设有两个限位槽， 所述塑料块 （18） 的两侧对称固定有两个挡 桩， 所述挡桩嵌入至对应限位槽的内部 。 7.根据权利要求4所述的一种晶圆储存盒加工专用清洗设备， 其特征在于： 所述连接管 （19） 的表面固定有密封 垫 （20） ， 所述密封 垫 （20） 与管道的内侧表面紧贴。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216369389 U 2一种晶圆储 存盒加工专用清洗设 备 技术领域 [0001]本实用新型属于清洗设备技术领域， 具体涉及一种晶圆储存盒加工专用清洗设 备。 背景技术 [0002]晶圆储存盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用， 为了简化运输和尽 可能降低被污染的风险， 芯片制 造商利用晶圆储存盒来搬运和储存晶圆， 而在晶圆储存盒 加工过程中， 需要 使用到一种清洗设备对其表面进行清洗 。 [0003]现有的晶圆储存盒加工专用清洗设备在使用时， 其上的显示屏表面容易附着上较 多的灰尘， 不方便清理， 影响工作人员的观察与操作， 而且管道与出水口的连接比较麻烦， 连接步骤不够简单， 连接效率较低， 所以需要设计一种结构解决该问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种晶圆储存 盒加工专用清洗设备， 以解决上述背景 技术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种晶圆储存盒加工专用清洗 设备， 包括主体， 所述主体的表面设置有显示屏， 所述主体的表面相对于显示屏的顶部固定 有固定板， 所述固定板的表面开设有第一滑动槽， 所述固定板的顶部开设有第二滑动槽， 所 述固定板的一侧设置有截面呈 “L”型结构的第一滑动块， 所述第一滑动块的底部固定有刮 板， 所述刮板的内侧固定有海绵擦， 所述海绵擦与主体的表 面紧贴， 所述第一滑动块的内侧 固定有第二滑动块， 所述第二滑动块嵌入至第一滑动槽的内部， 所述第一滑动块的内侧相 对于第二滑动块的顶部固定有第一连接板， 所述第一连接板的一侧表面贯穿开设有第一通 孔， 所述第一通孔的内部贯穿有截面呈 “L”型结构的卡杆， 所述卡杆的底端嵌入至第二滑动 槽的内部， 所述 卡杆的顶部固定有拉环。 [0006]优选的， 所述卡杆的一侧表面贯穿开设有第二通孔， 所述第二通孔的内部贯穿有 截面呈“T”型结构的 限位杆， 所述限位杆的底端与固定板固定连接， 所述卡杆与固定板之间 连接有第一弹簧， 所述第一弹簧套设在限位杆的表面。 [0007]优选的， 所述第二滑动块的表面设置有多个滚珠， 所述滚珠与第一滑动槽 的内壁 表面滚动连接 。 [0008]优选的， 所述主体的一侧设置有出水口， 所述出水口的一端设置有管道， 所述出水 口的一端固定有连接管， 所述连接管嵌入至管道的内侧， 所述管道的表面对称固定有两个 弧形板， 所述弧形板的表面开设有弧形槽， 所述出水口的表 面对称固定有两个固定块， 所述 固定块的顶端开设有第三滑动槽， 所述第三滑动槽的内部嵌入有塑料块， 所述塑料块的顶 端固定有第二连接板， 所述第二连接板的顶部固定有拉块， 所述第二连接板的底部固定有 金属块， 所述金属块的底端固定有弧形卡 块， 所述弧形卡 块嵌入至对应弧形槽的内部 。 [0009]优选的， 所述塑料块的底端表面开设有弹簧槽， 所述弹簧槽 的内壁与第三滑动槽说　明　书 1/4 页 3 CN 216369389 U 3