(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123007411.8 (22)申请日 2021.12.02 (73)专利权人 深圳技术大学 地址 518000 广东省深圳市坪 山区石井街 道兰田路3 002号 (72)发明人 朱能伟　方晓东　游利兵　马跃　 刘弘禹　 (74)专利代理 机构 中山驰鼎专利商标代理事务 所(普通合伙) 44706 专利代理师 胡犇 (51)Int.Cl. H05B 6/36(2006.01) B23K 26/12(2014.01) B23K 26/064(2014.01) B23K 26/70(2014.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种真空加热装置及准分子 激光加工系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种真空加热装置， 包括 腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体(2)， 所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时 用于对其内进行抽真空的接头(3)， 所述的腔体 (1)内设置有铁柱(4)， 所述的铁柱(4)外套设有 螺旋状的铜制线圈(5)， 所述的铜制线圈(5)的两 端分别与外部的直流高频电源 连接， 所述的铁柱 (4)上设有用于放置工件(100)的放置位(6)， 所 述的盖体(2)上设有能供准分子激光穿透的镜片 (7)。 本实用新型还公开一种采用前述真空加热 装置的准分子激光加工系统。 本实用新型真空加 热装置及准 分子激光加工系统结构简单， 不会损 坏元器件 且安全性 好。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216531838 U 2022.05.13 CN 216531838 U 1.一种真空加热装置， 其特征在于： 包括腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体 (2)， 所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时用于对其内进行抽真空的接头(3)， 所 述的腔体(1)内设置有铁柱(4)， 所述的铁柱(4)外套设有螺旋状的铜制 线圈(5)， 所述的铜 制线圈(5)的两端分别与外部的直流高频电源连接， 所述的铁柱(4)上设有用于放置工件 (100)的放置位(6)， 所述的盖体(2)上设有能供准分子 激光穿透的镜片(7)。 2.根据权利要求1所述的真空加热装置， 其特征在于： 所述的腔体(1)包括底座(11)和 与底座(11)连接的环状体(12)， 所述的盖体(2)与环状体(12)连接， 所述的底座(11)内穿设 有温度感应探 头(8)， 所述的温度感应探 头(8)的感应端伸入至 铁柱(4)的正下 方。 3.根据权利要求2所述的真空加热装置， 其特征在于： 所述的铁柱(4)包括穿设在铜制 线圈(5)内的柱体(41)和连接在柱体(41)与底座(11)之间的连接体(42)， 所述的连接体 (42)的横截面积小于柱体(41)的横截面积， 所述的放置位(6)设置在柱体(41)的上端。 4.根据权利要求1所述的真空加热装置， 其特征在于： 所述的腔体(1)上还设有真空压 力传感器(9)。 5.根据权利要求1所述的真空加热装置， 其特征在于： 所述的腔体(1)一侧设有连接耳 (10)， 所述的盖体(2)一侧设有与连接耳(10)转动连接的连接杆(21)， 所述的盖体(2)与腔 体(1)之间设有在盖体(2)盖合时用于锁定 盖体(2)与腔体(1)的锁定 部件(13)。 6.根据权利要求5所述的真空加热装置， 其特征在于： 所述的锁定部件(13)包括设在腔 体(1)上的凸出部(131)， 所述的凸出部(131)上转动连接有锁定杆(132)， 所述的盖体(2)上 设有凸出耳(133)， 所述的凸出耳(133)上设有当盖体(2)盖合在腔体(1)上时能供锁定杆 (132)进入的卡槽(134)， 所述的锁定杆(132)上还设有当其进入卡槽(134)时能够相对其转 动而锁紧盖体(2)和腔体(1)的蝶型螺母(13 5)。 7.根据权利 要求5所述的真空加热装置， 其特征在于： 所述的直流高频电源为12～24V、 100～150kHz。 8.一种准分子激光加工系 统， 其特征在于： 包括准分子激光发生器(200)、 直流高频电 源、 抽真空装置以及权利要求1至7任一项所述的真空加热装置， 直流高频电源与所述的铜 制线圈(5)连接， 抽真空装置与所述的接头(3)连接， 所述的准分子激光 发生器(200)与真空 加热装置之间设有至少一组 能使准分子激光 发生器(200)发射的准分子激光射入真空加热 装置内的反射镜(3 00)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216531838 U 2一种真空加热装 置及准分子激光加工系统 【技术领域】 [0001]本实用新型涉及一种真空加热装置。 本实用新型还涉及一种准分子激光加工系 统。 【背景技术】 [0002]准分子激光微细加工技术是利用准分子激光器进行加工工艺， 准分子激光器能够 发射各种不同的特别是紫外谱波段激光， 同时在发射短波长时能保持最佳的转换效率,并 具有较高的单次激射脉冲能量， 这些特点使其得以飞速发展,并在微细加工等领域表现出 巨大的应用潜力。 [0003]在准分子激光微细加工技术领域， 存在在真空中对加热工件进行激光加工处理的 情形， 目前一般都采用PTC陶瓷加热片、 加热电阻进行加热， 但是这类元器件在真空中加热 容易出现炸裂的情况。 为了避免此类缺陷， 也有厂家 通过钨丝进 行加热， 但是工件在批量加 工过程中需要反复关闭或打开真空腔， 因此， 钨丝不可避免地接触外部空气容易出现氧化 的情况。 [0004]因此， 亟需寻找一种在真空中加热不会损坏元器件 且安全性 好的真空加热装置 。 【实用新型内容】 [0005]本实用新型目的是克服了现有技术的不足， 提供一种结构简单， 不会损坏元器件 且安全性 好的真空加热装置 。 [0006]本实用新型还提供一种采用前述真空加热装置的准分子 激光加工系统。 [0007]本实用新型 是通过以下技 术方案实现的： [0008]一种真空加热装置， 包括腔体1和能够 封闭或打开腔体1的盖体  2， 所述的腔体 1上 设有在盖体2封闭腔体1时用于对其内进行抽真空的接头3， 所述的腔 体1内设置有铁柱 4， 所 述的铁柱4外套设有螺旋状的铜制线圈5， 所述的铜制线圈5的两端分别与外部的直流高频 电源连接， 所述的铁柱4上设有用于放置工件100的放置位6， 所述的盖体2上设有 能供准分 子激光穿透的镜片7。 [0009]所述的腔体1包括底座11和 与底座11连接的环状体12， 所述的盖体2与环状体12连 接， 所述的底 座11内穿设有温度感应探头8， 所述的温度感应探头8的感应端伸入至铁柱 4的 正下方。 [0010]所述的铁柱4包括穿设在铜制线圈5内的柱体41和连接在柱体  41与底座11之间的 连接体42， 所述的连接体42的横截面积小于柱体4 1的横截面积， 所述的放置位6 设置在柱体 41的上端。 [0011]所述的腔体1上还设有真空压力传感器9。 [0012]所述的腔体1一侧设有连接耳10， 所述的盖体2一侧设有与连接耳10转动连接的连 接杆21， 所述的盖体2与腔体1之间设有在盖体2盖合时用于锁定盖体2与腔体1的锁定部件 13。说　明　书 1/3 页 3 CN 216531838 U 3