ICS 13.020.40 Z 60 江 苏 省 地 方 标 准 DB32/3747-2020 半导体行业污染物排放标准 Emission standard of pollutants for semiconductor industry 2020-02-06 发布 2020-03-01 实施 DB32/3747-2020 目 次 前 言 ............................................................................... II 1 范围 ................................................................................ 1 2 规范性引用文件 ...................................................................... 1 3 术语和定义 .......................................................................... 3 4 水污染物排放控制要求 ................................................................ 4 5 大气污染物排放控制要求 .............................................................. 6 6 污染物监测要求 ...................................................................... 8 7 达标判定 ........................................................................... 10 8 标准的实施与监督 ................................................................... 11 I DB32/3747-2020 前 言 本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与 监督等相关规定。 本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。 本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排 污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本标准根据GB/T 1.1起草。 本标准为首次发布。 本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。 本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准。 II DB32/3747-2020 半导体行业污染物排放标准 1 范围 本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与 监督。 本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业排污许可 管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。 半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时，污水集中处理 设施的水污染物排放管理也适用于本标准。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 3095 环境空气质量标准 GB 3838 地表水环境质量标准 GB/T 6920 水质 pH 值的测定 玻璃电极法 GB/T 7466 水质 总铬的测定 GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法 GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法 GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法 GB/T 7475 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法 GB/T 7484 水质 氟化物的测定 离子选择电极法 GB/T 7485 水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法 GB/T 7494 水质 阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法 GB 8978 污水综合排放标准 GB/T 11893 水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法 GB/T 11901 水质 悬浮物的测定 重量法 GB/T 11907 水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法 GB/T 11910 水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法 GB/T 11912 水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法 GB 13271 锅炉大气污染物排放标准 GB/T 15432 环境空气 总悬浮颗粒物的测定 重量法 GB/T 15516 空气质量 甲醛的测定 乙酰丙酮分光光度法 GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 16489 水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法 HJ/T 27 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法 HJ/T 28 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法 HJ/T 30 固定污染源排气中氯气的测定 甲基橙分光光度法 HJ 38 固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色谱法 1 DB32/3747-2020 HJ/T 42 固定污染源排气中氮氧化物的测定紫外分光光度法 HJ/T 43 固定污染源排气中氮氧化物的测定盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ/T 55 大气污染物无组织排放监测技术导则 HJ/T 60 水质 硫化物的测定 碘量法 HJ/T 65 大气固定污染源 锡的测定 石墨炉原子吸收分光光度法 HJ/T 67 大气固定污染源 氟化物的测定 离子选择电极法 HJ 75 固定污染源烟气（SO2、NOx、颗粒物）排放连续监测技术规范 HJ 76 固定污染源烟气（SO2、NOx、颗粒物）排放连续监测系统技术要求及检测方法 HJ 84 水质 无机阴离子的测定 离子色谱法 HJ/T 91 地表水和污水监测技术规范 HJ/T 195 水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法 HJ/T 199 水质 总氮的测定 气相分子吸收光谱法 HJ/T 200 水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法 HJ/T 397 固定源废气监测技术规范 HJ/T 399 水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法 HJ 484 水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法 HJ 485 水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法 HJ 486 水质 铜的测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法 HJ 487 水质 氟化物的测定 茜素磺酸锆目视比色法 HJ 488 水质 氟化物的测定 氟试剂分光光度法 HJ 489 水质 银的测定 3,5-Br2-PADAP 分光光度 HJ 490 水质 银的测定 镉试剂 2B 分光光度法 HJ 493 水质 采样样品的保存和管理技术规定 HJ 494 水质 采样技术指导 HJ 495 水质 采样方案设计技术指导 HJ 501 水质 总有机碳的测定 燃烧氧化-非分散红外吸收法 HJ 533 环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法 HJ 534 环境空气 氨的测定 次氯酸钠-水杨酸分光光度法 HJ 535 水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法 HJ 536 水质 氨氮的测定 水杨酸分光光度法 HJ 537 水质 氨氮的测定 蒸馏-中和滴定法 HJ 544 固定污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法 HJ 548 固定污染源废气 氯化氢的测定 硝酸银容量法 HJ 549 环境空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法 HJ 604 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法 HJ 636 水质 总氮的测定 碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法 HJ 637 水质 石油类和动植物油的测定 红外分光光度法 HJ 644 环境空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法 HJ 657 空气和废气颗粒物中铅等金属元素的测定电感耦合等离子体质谱 HJ 659 水质 氰化物等的测定 真空检测管-电子比色法 HJ 665 水质 氨氮的测定 连续流动-水杨酸分光光度法 HJ 666 水质 氨氮的测定 流动注射-水杨酸分光光度法 HJ 667 水质 总氮的测定 连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ 668 水质 总氮的测定 流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法 2 DB32/3747-2020 HJ 670 水质 磷酸盐和总磷的测定 连续流动-钼酸铵分光光度法 HJ 671 水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法 HJ 683 环境空气 醛、酮类化合物的测定高效液相色谱法 HJ 692 固定污染源废气 氮氧化物的测定 非分散红外吸收法 HJ 693 固定污染源废气 氮氧化物的测定 定电位电解法 HJ 694 水质 汞、砷、硒、铋和锑的测定 原子荧光法 HJ 700 水质 65 种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 HJ 732 固定污染源废弃挥发性有机物的采样 气袋法 HJ 734 固定污染物源废气 挥发性有机物的测定 固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法 HJ 759 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法 HJ 776 水质 32 种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 HJ 777 空气和废气 颗粒物中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 HJ 828 水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法 HJ 836 固定污染源废气 低浓度颗粒物的测定 重量法 HJ 908 水质 六价铬的测定 流动注射-二苯碳酰二肼光度法 HJ 955 环境空气 氟化物的测定 滤膜采样/氟离子选择电极法 HJ 970 水质 石油类的测定 紫外分光光度法 《污染源自动监控管理办法》 （国家环境保护总局令 第 28 号） 《环境监测管理办法》 （国家环境保护总局令 第 39 号） 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 半导体企业 semiconductor industry 从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。 3.2 现有企业 existing facility 指本标准实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。 3.3 新建企业 new facility 指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。 3.4 直接排放 direct discharge 指排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。 3.5 间接排放 indirect disc