(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222391143.2 (22)申请日 2022.09.09 (73)专利权人 山东惠久精密磨料有限公司 地址 276700 山东省临沂市临沭县曹庄镇 工业园 (72)发明人 卢丙法　卢钦佩　 (74)专利代理 机构 北京智行 阳光知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11738 专利代理师 王丹薇 (51)Int.Cl. B08B 15/04(2006.01) B08B 9/087(2006.01) (54)实用新型名称 一种碳化硅外延粉尘收集装置 (57)摘要 本实用新型涉及碳化硅外延粉尘收集技术 领域， 具体涉及一种碳化硅外延粉尘收集装置， 包括外延炉、 粉尘收集罐和工作台， 粉尘收集罐 的一端安装有驱动电机， 且驱动电机的输出端 连 接有驱动轴， 驱动轴的一端安装有连接杆， 连接 杆的一端安装有清洁辊， 清洁辊以连接杆为中心 呈对称分布设置， 清洁辊的一端均安装有清洁 刷， 清洁刷呈等距发布设置有若干组。 本实用新 型克服了现有技术的不足， 通过设置驱动电机、 驱动轴以及 清洁刷， 通过驱动电机产生的动力带 动输出端的驱动轴进行转动， 从而驱动轴带动一 端的连接杆进行转动， 配合连接杆两端的清洁刷 对粉尘收集罐的内壁进行清理， 清理完毕后的粉 尘通过一端的出料口排出， 提高了清理的便捷 性。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218079555 U 2022.12.20 CN 218079555 U 1.一种碳化硅外延粉尘收集装置， 包括外延炉(1)、 粉尘收集罐(4)和工作台(9)， 其特 征在于， 所述粉尘收集罐(4)的一端安装有驱动电机(5)， 且驱动电机(5)的输出端 连接有驱 动轴(11)， 所述驱动轴(11)的一端安装有连接杆(16)， 所述连接杆(16)的一端安装有清洁 辊(14)； 所述清洁辊(14)以连接杆(16)为中心呈对称分布设置， 所述清洁辊(14)的一端均安装 有清洁刷(15)， 所述清洁刷(15)呈等距发布设置有 若干组。 2.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置， 其特征在于， 所述粉尘收集罐(4) 的一端连接有L形连通管(3)， 且 连通管(3)的一端安装有风机(2)， 所述连通管(3)的一端 连 接有外延炉(1)。 3.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置， 其特征在于， 所述粉尘收集罐(4) 的一端安装有工作台(9)， 且工作台(9)的四角均为圆角设置， 所述工作台(9)的底部四周均 安装有支撑杆(17)， 且支撑杆(17)的底部均安装有支撑脚(18)。 4.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置， 其特征在于， 所述驱动轴(11)的一 端安装有搅拌杆(6)， 且搅拌杆(6)以驱动轴(11)为圆心设有多组， 所述驱动轴(11)的一端 安装有旋转叶片(12)。 5.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置， 其特征在于， 所述粉尘收集罐(4) 的一端安装有控制箱(8)， 所述粉尘收集罐(4)的一端设有观察窗(7)。 6.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置， 其特征在于， 所述粉尘收集罐(4) 的底部安装有出 料口(10)， 且出 料口(10)的一端安装有控制阀门(13)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218079555 U 2一种碳化硅外延粉尘收集装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及碳化硅外延粉尘收集技术领域， 具体为一种碳化硅外延粉尘收集 装置。 背景技术 [0002]在商业碳化硅外延炉 中， 淀积生长过程会产生大量高温的附属物粉尘和颗粒， 这 些附属物粉尘和颗粒随着气流沿着真空抽气管道进入工艺真空泵， 工艺设备每天在进 行24 小时连续的运转， 大量的附属物粉尘和颗粒堆积在工艺真空泵里面， 当工艺真空泵里面的 附属物粉尘和颗粒到一定量时， 工艺真空泵卡住出现故障， 影响碳化硅外延产品的质量， 因 此需要对外延粉尘与颗粒进行收集处 理。 [0003]但是， 现有的碳化硅外延粉尘收集装置， 在对外延炉内部的粉尘收集完毕后， 需要 将其排出， 然而内部的粉尘由于长时间在 粉尘收集罐内， 内壁易粘附粉尘， 导致不便于对其 进行清理， 并且当遇到潮湿的环境时， 内部的粉尘易产生结块的现象， 导致不易排出而造成 内部堵塞的情况， 不利于实际使用。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种碳化硅外延粉尘收集装置， 旨在解 决现有技术中， 不便于清理粉尘收集罐内壁粉尘， 潮湿环境内部粉尘易结块而导致内部堵 塞的问题 [0005]为了解决上述 技术问题， 本实用新型提供了如下的技 术方案： [0006]一种碳化硅外延粉尘收集装置， 包括外延炉、 粉尘收集罐和工作台， 所述粉尘收集 罐的一端安装有驱动电机， 且驱动电机的输出端连接有驱动轴， 所述驱动轴的一端安装有 连接杆， 所述连接杆的一端安装有清洁辊； [0007]所述清洁辊以连接杆为中心呈对称分布设置， 所述清洁辊的一端均安装有清洁 刷， 所述清洁刷呈等距发布设置有 若干组。 [0008]优选的， 所述粉尘收集罐的一端连接有L形连通管， 且连通管的一端安装有风机， 所述连通管的一端连接有外延炉。 [0009]优选的， 所述粉尘收集罐的一端安装有工作台， 且工作台的四角均为圆角设置， 所 述工作台的底部四周均安装有支撑杆， 且支撑杆的底部均安装有支撑脚。 [0010]优选的， 所述驱动轴的一端安装有搅拌杆， 且搅拌杆以驱动轴为圆心设有多组， 所 述驱动轴的一端安装有旋转叶片。 [0011]优选的， 所述粉尘收集罐的一端安装有控制箱， 所述粉尘收集罐的一端设有观察 窗。 [0012]优选的， 所述粉尘收集罐的底部安装有出 料口， 且出 料口的一端安装有控制阀门。 [0013]本实用新型实施例提供了一种碳化硅外延粉尘收集装置， 具备以下有益效果： 改 进后的碳化硅外延粉尘收集装置， 通过驱动电机产生的动力带动输出端的驱动轴进行转说　明　书 1/3 页 3 CN 218079555 U 3