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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210558016.9 (22)申请日 2022.05.21 (71)申请人 合肥工业大 学 地址 230009 安徽省合肥市屯溪路193号 (72)发明人 夏豪杰 赵雨露 常松涛 李维诗 张进 (74)专利代理 机构 北京科名专利代理有限公司 11468 专利代理师 陈朝阳 (51)Int.Cl. G02B 13/00(2006.01) G02B 1/00(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种长物 距线性色散物镜 (57)摘要 本发明公开了一种长物距线性色散物镜, 所 述色散物镜包括同轴放置的一个单透镜和若干 个双胶合透镜, 连续光谱的点光源 经过所述色散 物镜后不同波长的光汇聚到光轴上不同位置, 经 过优化平衡了轴向色散范围、 成像质量以及色散 与波长的线性关系, 通过牺牲部分色散线性度, 使用二次函数拟合色散曲线, 从而获得较好的成 像质量及大色散范围。 考虑公差及加工装配难 度, 减少了特殊弯月形透镜数量。 所述色散物镜 具有长物距, 便于对透镜前端光路进行调整, 应 用于不同测量系统。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 114895434 A 2022.08.12 CN 114895434 A 1.一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 包括由物方至像方依次包括同轴设置的第 一透镜、 第二透镜、 第三透镜、 第四透镜、 第五透镜、 第六透镜以及第七透镜组成的色散透镜 组; 其中, 所述的色散 透镜组满足以下约束条件: 其中 为单透镜的光焦度, υdi为第i种玻璃材 料的阿贝数, N 为玻璃材 料种类数; 为玻璃材 料的色散线性度; 其中, Pi为第i种玻璃材料的相对部分色散, λF、 λd、 λC分别为F、 d、 C特征光的波长, nFi、 ndi、 nCi分别为第i种玻璃材 料在F、 d、 C特 征光下的折 射率。 2.根据权利要求1所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所述第 一透镜为单透 镜, 所述第二透镜和 第三透镜构成双胶合透镜I, 所述第四透镜和 第五透镜构成双胶合透镜 II, 所述第六透 镜和第七透 镜构成双 胶合透镜II。 3.根据权利要求1所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所述第 一透镜为平 凹 透镜, 靠近物方的一面为平面, 折射率n满足1.90≤n≤2.00, 中心厚度为5mm, 第一透镜中心 与第二透 镜中心的空气间隔为7m m。 4.根据权利要求2所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所述第 二透镜折射率 n满足1.49≤n≤1.51, 中心厚度为4.5mm; 所述第三透镜折射率n满足1.73≤n≤1.78, 中心 厚度为5m m; 双胶合透镜I的中心 距离第四透 镜中心的空气间隔为7.25m m。 5.根据权利要求2所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所述第四透镜折射率 n满足1.90≤n≤2.00, 中心厚度为3mm; 所述第五透镜折射率n满足1.73≤n≤1.78, 中心厚 度为5.5m m; 双胶合透镜II的中心距离第六透 镜中心的空气间隔为7.5m m。 6.根据权利要求2所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所述第六透镜折射率 n满足1.73≤n≤1.78, 中心厚度为5.5mm; 所述第七透镜折射率n满足1.49≤n≤1.51, 中心 厚度为4mm。 7.根据权利要求1 ‑6中任一权利要求所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所 述的色散物镜组的工作波段为 430‑710nm。 8.根据权利要求1 ‑6中任一权利要求所述的一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 所 述色散透镜组物距大于80mm, 色散透镜组的镜头最后一面到像面的距离大于29mm, 像方数 值孔径大于 0.28。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 114895434 A 2一种长物距线性色散物镜 技术领域 [0001]本发明属于光学物镜领域, 特别涉及一种具有长物 距的轴向线性色散物镜 。 背景技术 [0002]彩色光谱共焦技术是一种非接触式光学测量手段, 利用轴向色散实现对轴上位置 的编码, 取代了共焦显微镜的轴向扫描, 大幅度提高了测量速度, 分辨率可达微、 纳米级。 而 且相较于传统的的激光三角反射式测量系统、 白光干涉仪、 电感 式传感器等测量方式, 彩色 光谱共焦传感器质量轻、 体积小, 对表面状况的要求更低, 容许更大 的倾斜角度, 因此被广 泛应用于表面形貌检测、 精密测量、 生物医学成像、 超精密制造等 不同领域。 [0003]光谱共焦的轴向色散是通过色散物镜实现的, 因此色散物镜的性能在 一定程度上 决定了测 量系统的精度、 分辨率及测量范围等参数指标。 国内外学者围绕色散物镜设计开 展了一系列研究工作, 按照产生色散的原理大致可分为折射式与衍射式。 由于玻璃材料 的 折射率在可见光范围内与波长呈非线性, 使用单一的玻璃材料无法产生线性色散, 需要选 择合适的玻璃材料组合以减小非线性度, 但不能达到完全线性。 衍射光学元件的色散与波 长之间为线性关系, 但存在较大像差, 需要配合透镜组来减小像差, 然而透镜组的引入会破 坏色散与波长的线性关系, 且衍射光学元件加工难度大, 难以做到大数值孔径。 因此综合考 虑, 折射透镜组仍是线性色散元件的主 要研究方向。 [0004]色散物镜的色散范围影响了测量系统的量程, 色散与波长的线性度决定了测量精 度, 色散物镜的像方数值孔径决定了测量系统分辨率, 而这些指标往往又相互制约。 目前与 色散物镜相关的专利中, 为了获得较好的成像质量以及色散与波长之间的线性度, 光学结 构中通常涉及到弯月形透镜, 一些特殊的弯月透镜也会增加加工难度与成本。 因此, 如何达 到各项指标之间的平衡是需要解决的问题。 发明内容 [0005]针对上述存在的问题, 本发明的目的在于提供一种长物距线性色散物镜, 牺牲部 分色散线性度, 使用二次函数拟合色散与波长的关系, 使物镜具有 大色散范围, 且各波长在 其各自焦平面处成像质量较好, 同时尽可能减少特殊弯月形透镜数量, 放宽公差。 增大色散 物镜的物 距, 便于对透镜前端光路进行调整, 应用于不同测量系统。 [0006]为实现本发明的发明目的, 本发明提供的技 术方案是 [0007]一种长物距线性色散物镜, 其特征在于, 包括由物方至像方依次包括 同轴设置的 第一透镜、 第二透镜、 第三透镜、 第四透镜、 第五透镜、 第六透镜以及第七透镜组成的色散透 镜组; [0008]其中, [0009]所述的色散 透镜组满足以下约束条件:说 明 书 1/4 页 3 CN 114895434 A 3
专利 一种长物距线性色散物镜
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