(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210551772.9 (22)申请日 2022.05.18 (71)申请人 江苏道达智能科技有限公司 地址 211100 江苏省南京市江宁开发区南 佑路7号翠屏科创大厦五层楼5028-1 房间(江宁开发区) (72)发明人 付斌　孙俊杰　 (74)专利代理 机构 苏州德坤知识产权代理事务 所(普通合伙) 32523 专利代理师 查杰 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种AOI图像 检测装置及检测方法 (57)摘要 本发明公开了一种AOI图像检测装置， 包括 皮带传送轨道， 皮带传送轨道内侧一端上设置有 阻挡块， 阻挡块底部与升降阻挡机构连接， 阻挡 块顶部设置有十字坐标刻痕， 阻挡块一侧设置有 升降平台， 升降平台上设置有吸附板， 吸附板与 真空模块连接， 吸附板上方设置有图像捕捉组 件， 图像捕捉组件与AOI图像处理系统连接， 吸附 板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面上 设置有U型导轨， U型导轨上设置有滑动底座， 滑 动底座上设置有水平伸缩组件， 水平伸缩组件上 设置有斜向底座， 斜向底座上设置有斜向伸缩组 件， 斜向伸缩组件上设置有除尘硅胶棒； 还用开 一种检测方法， 通过坐标系建立确定除尘位置。 本发明结构简单， 集成效果好， 能够准确的对污 染物进行去除。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 114965500 A 2022.08.30 CN 114965500 A 1.一种AOI图像检测装置， 其特征在于， 包括皮带传送轨道， 所述皮带传送轨道内侧一 端上设置有阻挡块， 所述阻挡块底部与升降阻挡机构连接， 所述阻挡块顶部设置有十字坐 标刻痕， 所述阻挡块一侧设置有升降平台， 所述升降平台上设置有吸附板， 所述吸附板与真 空模块连接， 所述吸附板上方设置有图像捕捉组件， 所述图像捕捉组件与 AOI图像处理系统 连接， 所述吸附板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面上设置有U型导轨， 所述U型导 轨上设置有滑动底座， 所述滑动底座上设置有水平伸缩组件， 所述水平伸缩组件上设置有 斜向底座， 所述 斜向底座上设置有斜向伸缩组件， 所述 斜向伸缩组件上设置有除尘硅胶棒。 2.如权利要求1所述的AOI图像检测装置， 其特征在于， 所述皮带传送轨道上设置有传 送载具， 所述传送载 具用于固定晶圆。 3.如权利要求1所述的AOI图像检测装置， 其特征在于， 所述升降阻挡机构包括导向板， 所述导向板上安装有升降气缸和导向柱， 所述升降气缸和导向柱均 与阻挡块连接 。 4.如权利要求1所述的AOI图像检测装置， 其特征在于， 所述滑动底座上设置有第一驱 动组件， 所述第一 驱动组件与第一驱动齿轮连接， 所述U 型导轨上还设置有U 型齿条， 所述第 一驱动组件、 第一驱动齿轮与U型齿条配合驱动滑动底座移动。 5.如权利要求1所述的AOI图像检测装置， 其特征在于， 所述水平伸缩组件包括直线导 轨和直线齿条， 所述直线导轨通过滑块与滑动底座连接， 所述直线齿条通过齿条驱动组件 与滑动底座连接， 所述 直线导轨和直线 齿条的端部均 与斜向底座的底部固定连接 。 6.如权利要求1所述的AOI图像检测装置， 其特征在于， 所述斜向伸缩组件为电动 推杆， 所述电动推杆的端部上设置有夹持部， 所述夹持部用于固定除尘硅胶棒。 7.如权利要求1所述的AOI图像检测装置， 其特征在于， 所述图像捕捉组件与三轴移动 模组连接 。 8.一种检测方法， 其特征在于， 采用权利要求1 ‑7任意一项所述的检测装置， 包括以下 步骤： 步骤1)阻挡块伸出， 皮带传送轨道将晶圆输送并抵 靠在阻挡块侧边上； 步骤2)通过图像捕捉组件获取晶圆以及阻挡块表面的图像信息； 步骤3)根据获取的图像信息进行污染物辨别， 当不存在污染物， 阻挡块下降， 皮带传送 轨道将晶圆送出， 并跳转至步骤1)， 当存在污染物， 继续下一个步骤； 步骤4)在图像信息的图像 中， 根据阻挡块表面的十字坐标刻痕建立X轴和Y轴的第一坐 标系， 将Y轴位置朝向晶圆方向偏移得到Y ’轴， 建立X轴和Y ’轴的第二坐标系， 根据污染物在 第二坐标系上的位置确定移动坐标， 根据移动坐标确定除尘硅胶棒的移动位置和伸出距 离； 偏移位置为十字坐标刻痕中心点至U型导轨中心点的距离， 十字坐标刻痕中心点和U型 导轨中心点均位于X轴上； 步骤5)根据移动坐标， 通过 水平伸缩组件和斜向伸缩组件驱动除尘硅胶棒移动除尘。 9.如权利要求8所述的检测方法， 其特征在于， 根据第 二坐标系 对除尘硅胶棒的除尘方 式进行分类， 当污染物位于第二坐标系的第一象限和第二象限内时， 除尘硅胶棒移动至污 染物和第二坐标系原 点连线的延伸方向上， 且位于U 型导轨的弧形区域上， 当污染物位于第 二坐标系的第三象限和第四象限内时， 除尘硅胶棒移动至污染物沿X轴方向对应的U 型导轨 的直线段 上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114965500 A 2一种AOI图像检测装 置及检测方 法 技术领域 [0001]本发明涉及晶圆加工技 术领域， 具体涉及一种AOI图像 检测装置及检测方法。 背景技术 [0002]芯片检测最早采用人工目检 的方式， 但随着产业技术的逐步提升， 封装器件的小 型化趋势对芯片 检测提出了更严 苛的要求。 人工目检难度增大、 误判率升高、 并且无法检测 某些类型的缺陷， 已经不能满足市场的检测要求。 自动光学AOI检测技术可以自动定位和检 测芯片， 能有效降低工人劳动强度、 降低检测误判率， 并大大提高工作效率， 节省了大量的 人力物力成本， 因此在晶圆制备 领域中得到大量广泛的运用。 [0003]特别是在晶圆清洗后， 晶圆表面存在因清洁液体洁净度降低 而导致污染物附着在 晶圆表面， 通过AOI检测技术可以快速的找到污染物所在位置， 但是在后续清理过程中， 一 般是对清洁液体进行更换， 然后再次清洁， 这样的操作方式极大的降低了清洁效率， 并且 AOI检测设备功能单一， 不利于使用 发明内容 [0004]本发明要解决上述技术问题并提供一种AOI图像检测装置及 检测方法， 结构简单， 集成效果 好， 能够准确高效的将污染物进行去除。 [0005]为了解决上述技术问题， 本发明提供了一种AOI图像检测装置， 包括皮带传送轨 道， 所述皮带传送轨道内侧一端 上设置有阻挡块， 所述阻挡块底部与升降阻挡机构连接， 所 述阻挡块顶部设置有十字坐标刻痕， 所述阻挡块一侧设置有升降平台， 所述升降平台上设 置有吸附板， 所述吸附板与真空模块连接， 所述吸附板上方设置有图像捕捉组件， 所述图像 捕捉组件与AOI图像处理系统连接， 所述吸 附板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面 上设置有U 型导轨， 所述U 型导轨上设置有滑动底座， 所述滑动底 座上设置有 水平伸缩组件， 所述水平伸缩组件上设置有斜向底座， 所述斜向底座上设置有斜向伸缩组件， 所述斜向伸 缩组件上设置有除尘硅胶棒。 [0006]进一步的， 所述皮带传送轨道上设置有传送载 具， 所述传送载 具用于固定晶圆。 [0007]进一步的， 所述升降阻挡机构包括导向板， 所述导向板上安装有升降气缸和导向 柱， 所述升降气缸和导向柱均 与阻挡块连接 。 [0008]进一步的， 所述滑动底座上设置有第一驱动组件， 所述第一驱动组件与第一驱动 齿轮连接， 所述U型导轨上还设置有U型齿条， 所述第一驱动组件、 第一驱动齿轮与U型齿条 配合驱动滑动底座移动。 [0009]进一步的， 所述水平伸缩组件包括直线导轨和直线齿条， 所述直线导轨通过滑块 与滑动底座连接， 所述直线齿条通过齿条驱动组件与滑动底座连接， 所述直线导轨和直线 齿条的端部均 与斜向底座的底部固定连接 。 [0010]进一步的， 所述斜向伸缩组件为电动推杆， 所述电动推杆的端部上设置有夹持部， 所述夹持部用于固定除尘硅胶棒。说　明　书 1/4 页 3 CN 114965500 A 3