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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210512210.3 (22)申请日 2022.05.12 (71)申请人 太原科技大 学 地址 030024 山西省太原市万柏林区窊流 路66号 (72)发明人 李传亮 邱选兵 郭古青 杨天悦  (74)专利代理 机构 山西科汇联创知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 14126 专利代理师 张雪芳 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/03(2006.01) G01N 21/39(2006.01) G01M 3/38(2006.01) (54)发明名称 一种小型化多光程池的西林瓶泄露检测装 置及方法 (57)摘要 本发明公开了无损西林瓶泄露检测技术领 域的一种小型化多光程池的西林瓶泄露检测装 置及方法, 箱 体外壳的内腔中嵌入安装有激光驱 动电路和调制与解调电路, 所述激光探测组件包 括弧形设备定位板、 定位板固定架、 多光程池、 探 测器、 激光器和准直器, 利用可调谐半导体激光 光谱技术, 通过设计好的小型化多光程池, 对西 林瓶内气体进行检测, 实现高精度、 快速、 在线检 测等优点基于可调谐半导体激光光谱技术的方 法, 解决了传统西林瓶检测技术破坏样品, 无法 定量测量, 无法在线测量等问题; 基于矢量计算 的方法, 可根据西林瓶的尺寸信息定制适合的小 型化多光程池, 解决了激光单程检测光程过短, 灵敏度低的问题。 权利要求书4页 说明书10页 附图5页 CN 115266579 A 2022.11.01 CN 115266579 A 1.一种小型化多光 程池的西林瓶泄 露检测装置, 其特 征在于: 包括, 西林瓶检测机构, 其包括箱体外壳、 主控制面板、 电源、 翻转箱 门、 维护箱门、 西林瓶传 动组件和激光探测组件, 所述箱体外壳的前端安装有主控制面板, 主控制面板下方装有维 护箱门, 且箱体外壳的侧面有翻转箱门, 所述翻转箱门的表 面设置有操作握把, 西林瓶传动 组件的出入端穿过箱体外壳置 于内腔中, 箱体外壳的内腔中嵌入安装有激光驱动电路和调制与解调电路, 所述激光探测组件包 括弧形设备定位板、 定位板固定架、 多光程池、 探测器、 激光器和准直器, 所述多光程池安装 在弧形设备定位板上通过定位板固定架与待测样品托盘相固定 。 2.根据权利要求1所述的一种 小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征在于: 所 述西林瓶传动组件包括待测样品托盘、 合格品托盘、 不合格品托盘和传动齿轮, 传动齿轮带 有调节握把。 3.根据权利要求1所述的一种 小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征在于: 所 述多光程池包括前腔盖、 后 腔盖、 入射端反射镜和出射端反射镜, 其中入射端反射镜和出射 端反射镜的镜面上打有位置不同的入射/出射孔, 且为沉头孔, 所述前腔盖后端 带有用于调 节角度的螺 丝与对丝 。 4.根据权利要求1所述的一种 小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征在于: 所 述箱体外壳的底部设有移动滚轮, 所述准直器与前腔盖相连, 准直器后端带有用于调节角 度的螺丝与对丝 。 5.根据权利要求1所述的一种 小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征在于: 所 述激光器采用可调谐半导体激光器, 所述箱体外壳 内壁做涂黑处 理。 6.根据权利要求1所述的一种小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置及方法, 其特征 在于: 所述激光 驱动电路包括 温度控制模块和电流控制模块, 其中温度控制模块采用TEC温 控芯片, 电流控制模块采用反馈放大电路, 所述调制与解调电路包括信号产生模块、 探测器 接收模块和解调模块, 其中信号产生模块包含正弦信号产生; 探测器接 收模块包含信号多 级放大; 解调模块对输入信号进行解调。 7.根据权利要求1 ‑6任一所述的一种小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征 在于: 还包括一种小型化多光 程池的西林瓶泄 露检测装置的方法, 具体包括以下步骤: 步骤S1: 打开电源, 将装有标准气的西林瓶 通过西林瓶传动组件放入多光 程池内; 步骤S2: 使用触控显示屏打开激光器进行 校准与标定; 步骤S3: 关闭激光器, 将装有标准气的西林瓶通过西林瓶传动组件中取出并将待测西 林瓶样品放入多光 程池内; 步骤S4: 使用触控显示屏打开激光器, 通过触控显示屏观察待测西林瓶内气体浓度信 息。 8.根据权利要求7所述的一种 小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征在于: 采 集西林瓶内气体浓度的具体过程为: 使用可调谐半导体激光器作为光源, 利用激光驱动电 路调节驱动温度与电流来扫描不同的光谱范围, 使调制解调电路产生三角波信号叠加正弦 波信号形成调制 信号提供给激光驱动器, 激光通过多光程池与西林瓶后由探测器接收并传 输给锁相放大器调制与解调电路进行解调, 解调后的2f信号通过与浓度间的关系得到待测 西林瓶内的气体浓度信息并传输给触控显示屏。权 利 要 求 书 1/4 页 2 CN 115266579 A 29.根据权利要求8所述的一种小型化多光 程池的西林瓶泄 露检测装置, 其特 征在于: 信号数据处 理的具体步骤为: 步骤一: 平均: 将对同一个待测西林瓶进行多次扫描探测后进行平均处理, 以平均 得到 的2f信号作为探测信号; 步骤二: 去背景: 测定箱体 内部的无待测西林瓶条件下的扫描信号, 将步骤一得到的扫 描信号减去 背景信号; 步骤三: 卡尔曼 滤波: 利用卡尔曼 滤波的方法将步骤二得到的2f探测信号进行 滤波。 10.根据权利要求7所述的一种小型化多光程池的西林瓶泄露检测装置, 其特征在于: 根据西林瓶尺寸信息设计多光 程池的矢量计算方法: 步骤1: 首先, 要使多光程池内光束被完全束缚在腔体内稳定传播, 需要满足光腔的稳 定条件: 0<g1·g2<1 其中 式中, g1、 g2为共轴球面腔的几何参数; L为两反射镜间的距离; R1、 R2为两反射镜的曲率 半径, 默认使用两相同反射镜, 曲率半径为R, 步骤2: 由于西林瓶壁为柱面, 横向传播会产生几何偏折损耗, 因此要使光路分布与西 林瓶纵向平行, 通过将y轴方向上的入射角度α 设为0度来实现; 步骤3: 光束经过n次反射后, 相邻两点Mn‑1(xn‑1,yn‑1,zn‑1)与Mn(xn,yn,zn)间的单程距离 为dn, 可用下式表示: 其中, an, bn, cn为光束在第n次反射时, 分别在x, y, z轴上的方向 向量; 步骤4: 根据反射镜的曲率半径R以及反射镜与对称轴的相对位置r可 得到曲面方程: 步骤5: 通过选取x, y, z其中一个方向, 将直线方程与曲面方程联立求解, 便可得到其位 于轴上的坐标位置, 下式以y轴方向为例: 其中 步骤6: 由于光束通过西林瓶时会受到瓶壁厚度t的影响, 光束发生折射并在z方向上会权 利 要 求 书 2/4 页 3 CN 115266579 A 3

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