(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210506886.1 (22)申请日 2022.05.11 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114609148 A (43)申请公布日 2022.06.10 (73)专利权人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区沙河镇昌平路 97号7幢5层5 03-1室 (72)发明人 马铁中　李瑞青　李心怡　路膨　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/95(2006.01)G01N 21/01(2006.01) (56)对比文件 JP 2001154102 A,20 01.06.08 JP 2003149169 A,20 03.05.21 审查员 翟千里 (54)发明名称 一种晶圆检测设备 (57)摘要 本发明提供了一种晶圆检测设备， 包括相 机， 用于拍摄晶圆的光学图像； 镜筒， 连接于相 机； 镜组， 设于镜筒内且用于在相机与晶圆之间 形成图像传输光路； 明场照明组件， 连接于镜筒 并用于在镜筒内部形成照射到晶圆上的明场照 明光路； 暗场照明组件， 用于在镜筒外部形成照 射到晶圆上的暗场照明光路； 切换组件， 设于镜 筒内且切换组件能够移动至图像传输光路上以 使相机能够拍摄明场照明组件照明时晶圆的光 学图像， 以及切换组件能够远离图像传输光路以 使相机能够拍摄暗场照明组件照明时晶圆的光 学图像。 本申请提供的晶圆检测设备在只需使用 一个镜筒就能够同时满足对晶圆的明场环境检 测以及暗场环境检测， 且结构 简单、 工作效率高。 权利要求书2页 说明书7页 附图6页 CN 114609148 B 2022.07.19 CN 114609148 B 1.一种晶圆检测设备， 用于对晶圆进行缺陷检测， 其特征在于， 所述晶圆检测设备包 括： 相机， 用于拍摄所述晶圆的光学图像； 镜筒， 连接 于所述相机； 镜组， 设于所述镜筒内且用于在所述相机与所述晶圆之间形成图像传输光路； 明场照明组件， 连接于所述镜筒 并用于在所述镜筒内部形成照射到所述晶圆上的明场 照明光路； 暗场照明组件， 用于在所述镜筒外 部形成照射到所述晶圆上的暗场照明光路； 切换组件， 设于所述镜筒内且所述切换组件能够移动至所述图像传输光路上以使所述 相机能够拍摄所述明场照明组件照明时所述晶圆的光学图像， 以及， 所述切换组件能够远 离所述图像传输光路以使所述相机能够拍摄所述暗场照明组件照明时所述晶圆的光学图 像； 所述镜筒内沿远离所述相机的方向依次设有第 一容置空间、 第 二容置空间以及第 三容 置空间， 所述镜组包括设于所述第一容置空间的筒镜以及设于所述第三容置空间的物镜， 所述晶圆检测设备还包括连接于所述镜筒的切换室， 所述切换室具有连通于所述第二容置 空间的切换空间， 所述切换组件安装于所述切换室中且能够移动至所述切换空间和所述第 二容置空间； 所述明场照明组件具有用于供明场照明光路通过的明场照明空间， 所述第 二容置空间 连通于所述明场照明空间且位于所述明场照明光路的出射方向， 所述切换组件包括用于引 导光路方向的分光元件， 当所述切换组件置于所述第二容置空间时所述分光元件能够将所 述明场照明光路引导至所述第三 容置空间 并出射至晶圆上； 所述晶圆检测设备还包括安装于所述切换室上的驱动组件， 所述驱动组件连接于所述 切换组件并用于驱动所述切换组件移动， 所述切换组件包括第一安装座， 所述第一安装座 的中部开设有第一通孔， 所述第一通孔的两侧 壁上分别对称开设有第二通孔， 所述第二通 孔与所述明场照明光路的出射方向相对设置， 所述分光元件设于所述第一 通孔内。 2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备， 其特征在于： 所述切换组件还包括设于所述第 一安装座下方 的第二安装座、 活动设于所述第二安装座上 的第一透镜、 设于所述第一透镜 底部的第三安装座、 设于所述第三安装座内的第二透镜、 以及设于所述第三安装座底部的 底座， 所述第三安装座的两侧分别设有一交叉滚子导轨， 所述交叉滚子导轨用于所述第三 安装座在所述底座上进行 水平移动。 3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备， 其特征在于： 所述切换组件还包括设于所述第 一安装座上方 的第四安装座、 设于所述第四安装内的滤光片、 以及设于所述第四安装座顶 部的压板， 所述分光元件、 所述第一透 镜、 所述第二透 镜以及所述滤光片同轴设置 。 4.根据权利要求3所述的晶圆检测设备， 其特征在于： 所述切换组件还包括壳体以及调 节面板， 所述壳体罩设于所述第一安装座、 所述第二安装座、 所述第三安装座以及所述第四 安装座的外 围， 所述壳体的两侧分别设有一转轴， 每一所述转轴均与所述第一安装座的侧 壁连接， 所述调节 面板上活动设有若干调节杆， 所述调节杆与所述第一安装座的侧壁接触， 所述调节杆和所述 转轴用于调节所述分光元件的角度。 5.根据权利要求4所述的晶圆检测设备， 其特征在于： 所述驱动组件包括第一驱动电权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114609148 B 2机、 连接杆以及滑轨， 所述第一驱动电机固设于所述切换室的外侧， 所述连接杆的一端与所 述第一驱动电机连接， 另一端与所述调节面板连接， 所述滑轨 设于所述切换室的底部， 所述 壳体的两侧分别与所述滑轨连接， 所述第一驱动电机用于通过所述连接杆驱动所述壳体在 所述滑轨上进行 水平移动。 6.根据权利要求5所述的晶圆检测设备， 其特征在于： 所述切换室的一侧壁上依次间隔 设置有第一限位传感器、 零点传感器以及第二限位传感器， 所述壳体的一侧设有触发片， 所 述触发片用于在所述第一限位传感器与所述第二限位传感器之 间进行移动， 所述第一限位 传感器、 所述 零点传感器以及所述第二限位传感器均 与所述第一驱动电机电性连接 。 7.根据权利要求1所述的晶圆检测设备， 其特征在于： 所述驱动组件包括第 二驱动电机 以及第三驱动电机， 所述切换组件包括第一切换单元以及第二切换单元， 所述第一切换单 元与所述第二切换单元活动连接， 所述第一切换单元包括所述分光元件， 所述第二驱动电 机与所述第一切换单元连接， 所述第三驱动电机与所述第二切换单元连接， 所述第二驱动 电机用于驱动所述第一切换单元进行水平移动， 所述第三驱动电机用于驱动所述第二切换 单元进行水平移动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114609148 B 3