(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210497127.3 (22)申请日 2022.05.09 (71)申请人 深圳有泰光电有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区玉塘街 道田寮社区第六工业区5栋厂房1栋 201 (72)发明人 李涛　刘利　 (74)专利代理 机构 苏州国诚专利代理有限公司 32293 专利代理师 杨淑霞 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/84(2006.01) H01J 37/20(2006.01) (54)发明名称 一种便于放置探针卡的三维探 针台 (57)摘要 本发明公开了一种便于放置探针卡的三维 探针台， 包括装置主体与控制箱， 所述装置主体 的上端位置安装有测试工位， 所述测试工位的上 端设置有滑槽与探针台体， 所述测试工位的后端 安装有探针座， 所述探针座的前端安装有安装支 架， 所述安装支架的前端设置有活动架， 所述活 动架上安装有探针加工箱， 所述探针加工箱的底 部位置安装有探针显微镜测试头。 本发明所述的 一种便于放置探针卡的三维探针台， 设有探针卡 定位机构、 一体化测试机构与控制机构， 能够方 便更好的对探针卡的位置进行定位安装与放置， 增加探针测试的效果， 整个装置一体化操作， 测 试流程更为简单， 还可以方便对装置更好的进行 一体控制与观察， 增 加装置的使用性能。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 114894715 A 2022.08.12 CN 114894715 A 1.一种便于放置探针卡的三维探针台， 包括装置主体(1)与控制箱(15)， 其特征在于： 所述装置主体(1)的上端位置安装有测试工位(25)， 所述测试工位(25)的上端设置有滑槽 (3)与探针台体(2)， 所述测试工位(25)的后端安装有探针座(5)， 所述探针座(5)的前端安 装有安装支架(8)， 所述安装支架(8)的前端设置有活动架(26)， 所述活动架(26)上安装有 探针加工箱(9)， 所述探针加 工箱(9)的底部位置安装有探针显微镜测试头(19)， 所述探针 显微镜测试头(19)的外侧安装有调节机构(6)。 2.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述装置主 体(1)的内部位置定位安装有电控箱(23)， 所述装置主体(1)的底部位置设置有脚轮(21)， 所述探针台体(2)的上端设置有探针测试架(4)， 所述探针台体(2)的前端位置安装有调节 架(20)， 所述调节架(20)的前端活动有驱动电机(22)， 所述探针测试架(4)的上端安装有探 针卡(17)， 所述探针卡(17)与探针测试架(4)之间安装有卡件(24)。 3.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述安装支 架(8)上连接活动架(26)的位置设置有活动 带(7)， 所述安装支架(8)前端设置活动架(26) 的位置开设有卡槽(27)， 所述装置主体(1)的底部位置设置有散热底座(2 9)。 4.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述控制箱 (15)的上端安装有箱板(13)， 所述箱板(13)上设置有显示器(11)与控制面板(12)， 所述显 示器(11)上安装有显示面屏(10)， 所述控制箱(15)的底部安装有支撑架(14)， 所述支撑架 (14)的底部位置设置有滑轮(16)， 所述滑轮(16)上安装有滑轮锁(18)， 所述控制 箱(15)的 底部安装有定位底框(28)。 5.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述探针 台 体(2)通过滑槽(3)在测试工位(25)上进行活动， 所述测试工位(25)与探针座(5)之间定位 安装， 所述探针座(5)与安装支架(8)之间进行定位， 且探针加工箱(9)通过活动架(26)、 活 动带(7)在安装支架(8)的前端进行 活动， 所述探针加工箱(9)与探针显微镜测试头(19)、 调 节机构(6)之间定位。 6.根据权利要求2所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述装置主 体(1)内部与电控箱(23)之间进行定位组装， 所述装置主体(1)的底部通过脚轮(21)进 行移 动， 所述探针卡(17)通过卡件(24)卡合在探针测试架(4)上端位置， 且探针卡(17)位于探针 显微镜测试头(19)的正下 方。 7.根据权利要求3所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述活动架 (26)通过卡槽(27)与活动 带(7)在安装支架(8)的前端位置进行活动， 所述装置主体(1)与 散热底座(2 9)之间一体成型。 8.根据权利要求4所述的一种便于放置探针卡的三维探针 台， 其特征在于： 所述控制箱 (15)、 箱板(13)、 支撑架(14)之间定位组装， 所述控制箱(15)的底部通过滑轮(16)进行移 动， 且通过滑轮锁(18)进行卡 合定位。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114894715 A 2一种便于放置探针卡的三维探针台 技术领域 [0001]本发明涉及三维探针台领域， 特别涉及一种便 于放置探针卡的三维探针台。 背景技术 [0002]三维探针台是一种进行样品安装与测试的支撑设备， 配备有可移动样品台， 可以 实现水平方向移动和样品台360度转动， 便于样品的安装和测试， 探针台具有四个高精度探 针臂， 同时配有高精度电子显微镜， 便于微小样品的观察操作， 随着科技的不断发展， 人们 对于三维探针台的制造 工艺要求 也越来越高。 [0003]现有的三维探针台在使用时存在一定 的弊端， 首先， 不能很方便的对探针卡的位 置进行定位安装与测试， 不利于人们的使用， 还有， 装置一体化操作性能较差， 操作较为麻 烦， 进行测试时流程较为复杂， 不能很好的进行控制， 给人们的使用过程带来了一定的不利 影响， 为此， 我们提出一种便 于放置探针卡的三维探针台。 发明内容 [0004](一)解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足， 本发明提供了一种便于放置探针卡的三维探针台， 能够方 便更好的对探针卡的位置进行定位安装与放置， 增加探针测试的效果， 整个装置一体化操 作， 操作更为方便， 测试流程更为简单， 还可以方便对装置更好的进行一体控制与观察， 增 加装置的使用性能， 可以有效解决背景技 术中的问题。 [0006](二)技术方案 [0007]为实现上述目的， 本 发明采取的技术方案为： 一种便于放置探针卡的三维探针台， 包括装置主体与控制箱， 所述装置主体的上端位置安装有测试工位， 所述测试工位的上端 设置有滑槽与探针台体， 所述测试工位的后端安装有探针座， 所述探针座的前端安装有安 装支架， 所述安装支架的前端设置有活动架， 所述活动架上安装有探针加工箱， 所述探针加 工箱的底部位置安装有探针显微镜测试头， 所述探针显微镜测试头的外侧安装有调节机 构。 [0008]作为本申请一种优选 的技术方案， 所述装置主体 的内部位置定位安装有电控箱， 所述装置主体的底部位置设置有脚轮， 所述探针台体的上端设置有探针测试架， 所述探针 台体的前端位置安装有调节架， 所述调节架的前端活动有驱动电机， 所述探针测试架的上 端安装有探针卡， 所述探针卡与探针测试架之间安装有卡件。 [0009]作为本申请一种优选的技术方案， 所述安装支架上连接 活动架的位置设置有活动 带， 所述安装支架前端设置活动架的位置开设有卡槽， 所述装置主体的底部位置设置有散 热底座。 [0010]作为本申请一种优选 的技术方案， 所述控制箱的上端安装有箱板， 所述箱板上设 置有显示器与控制面板， 所述显示器上安装有显示面屏， 所述控制箱的底部安装有支撑架， 所述支撑架的底部位置设置有滑轮， 所述滑轮上安装有滑轮锁， 所述控制箱的底部安装有说　明　书 1/4 页 3 CN 114894715 A 3