(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221049049 2.1 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人 深圳市斟友道实业有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街 道坂田社区贝尔路2号高新技术工业 园微谷二期三层-B3 32 (72)发明人 代云　杨权山　王星月　张家伟　 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 基于机器视觉的晶圆表面检测系统 (57)摘要 本申请公开了基于机器视觉的晶圆表面检 测系统， 包括上下两个的高度调节单元， 还包括： 角度调节单元： 其固定于中空大理石基座上， 安 装在所述上下两个的高度调节单元的中间， 且中 空大理石基座上开孔便于安装晶圆蓝膜， 所述的 角度调节单元基于检测单元的检测结果来改变 调节角度； 上下两个的检测单元， 上下两个的检 测单元分别安装在所述角度调节单元的上端与 下端， 上检测单元与上高度调节单元的前端固定 连接,下检测单元与下高度调节单元的前端固定 连接,且检测单元的检测结果指导上下两个的高 度调节单元改变调节的高度,指导角度调节单元 改变调节的角度， 角度调节单元与移动单元协调 配合工作。 权利要求书2页 说明书3页 附图3页 CN 114813779 A 2022.07.29 CN 114813779 A 1.基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 包括上下两个的高度调节单元， 其特征在于， 还 包括： 角度调节单元： 其固定于中空大理石基座上， 安装在所述上下两个的高度调节单元的 中间， 且中空大理石基座上开孔便于安装晶圆蓝膜， 所述的角度调节单元基于检测单元 的 检测结果 来改变调节角度； 上下两个的检测单元， 上下两个的检测单元分别安装在所述角度调节单元的上端与 下 端， 上检测单元与上高度调节单元 的前端固定连接,下检测单元与下高度调节单元 的前端 固定连接,且检测单元的检测结果指导上下两个的高度调节单元改变调节的高度,  指导角 度调节单 元改变调节的角度， 角度调节单 元与移动单 元协调配合工作； 两个移动单元： 两个移动单元分别安装在所述上下两个的高度调节单元的后端， 且与 所述高度调节单 元的底端固定连接 。 2.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述的中空 大理石基座下端安装高透明玻璃用于挡风。 3.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述高度调 节单元包括电机、 连接螺栓、 螺纹杆、 固定块， 所述角度调节单元包括电机、 齿轮、 齿 条、 平衡 支架， 所述检测单 元包括检测总成、 固定 螺钉、 固定块。 4.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述高度调 节单元的前端固定连接检测总成， 所述检测总成的左侧和后侧固定连接有固定块， 两个所 述固定块的中部活动连接有固定 螺钉。 5.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述移动单 元包括电机、 螺纹杆， 所述角度调节单元的中部开设有晶圆槽， 所述晶圆槽的大小 大于晶圆 蓝膜。 6.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述晶圆槽 的底部固定连接有透明玻璃， 顶部四周设置活动螺 栓。 7.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 还包括上位 机、 工控机、 手持 式扫码枪， 手持 式扫码枪与工控机USB插接， 用于人工扫描每张晶圆蓝膜上 晶圆的信息， 与检测单 元进行晶圆数据的交 互。 8.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述的检测 单元的检测总成的面板顶部固定设置工业相 机， 所述的工业相 机下部设置工业镜头总成， 所述工业镜头总成前侧设置光源， 所述工业镜头总成下部设置侧 光源固定总成， 所述的侧 光源固定总成包 含固定块。 9.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述的工业 相机与工控机电连接， 所述的光源与光源驱动电路连接， 所述的光源驱动电路与工控机电 连接， 所述的工控机用于控制相 机驱动电路进而控制 工业相机采集晶圆表面图像信号， 图 像处理电路用于晶圆表面图像信号的初步处理， 图像处理电路还用于将初步处理后的晶圆 表面图像信号传输给工控机； 光源驱动电路控制光源的亮灭与亮度。 10.根据权利要求1所述的基于机器视觉的晶圆表面检测系统， 其特征在于： 所述的工 控机上还配置上位机接口电路， 所述的上位机接口电路与上位机电连接， 所述的上位机配 置相连接的扫码枪单元和电机单元， 所述的扫码枪单元用于从扫码枪MCU获取接收的图像权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114813779 A 2信号并且将其处理为字符串数据， 该字符串 数据具体是晶圆蓝膜上晶圆型号的字符串初始 数据； 所述的电机单 元用于控制高度调节、 角度调节、 移动 动作。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114813779 A 3