(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210494564.X (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人 浙江水晶光电科技股份有限公司 地址 318000 浙江省台州市椒江区星 星电 子产业区A5号 （洪 家后高桥村） (72)发明人 李英坤　陈文龙　徐兵燕　陈龙　 姜豪　刘风雷　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 姜波 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 芯片检测设备 (57)摘要 本发明提供了一种芯片检测设备， 涉及芯片 检测的技术领域， 芯片检测设备包括： 固定背板、 第一滑动板、 第二滑动板、 检测相机和光源组件， 固定背板与第一滑动板之间连接有第一升降机 构， 第一升降机构用于带动第一滑动板相对于固 定背板上下运动； 第二滑动板与第一滑动板之间 连接有第二升降机构， 第二升降机构用于带动第 一滑动板沿竖向运动； 检测相机与第一滑动板连 接， 光源组件与第二滑动板连接， 光源组件位于 检测相机的下方， 光源组件上具有自上而下贯穿 光源组件的拍摄通道， 拍摄通道用于避让检测相 机， 以使检测相机能够通过拍摄通道采集光源组 件下方的芯片的图像信息 。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 114755244 A 2022.07.15 CN 114755244 A 1.一种芯片检测设备， 其特征在于， 包括： 固定背板(100)、 第一滑动 板(210)、 第二滑动 板(220)、 检测相机(400)和光源组件， 所述固定背板(100)与所述第一滑动板(210)之间连 接有第一升降机构， 所述第一升降机构用于带动所述第一滑动板(210)相 对于所述固定背 板(100)上下运动； 所述第二滑动板(220)与所述第一滑动板(210)之间连接有第二升降机 构， 所述第二升降机构用于带动所述第一滑动板(210)沿竖向运动； 所述检测相机(400)与所述第一滑动板(210)连接， 所述光源组件与所述第二滑动板 (220)连接， 所述光源组件位于所述检测相机(400)的下方， 所述光源组件上具有自上而下 贯穿所述光源组件的拍摄通道， 所述拍摄通道用于避 让所述检测相机(400)， 以使 所述检测 相机(400)能够通过 所述拍摄通道采集所述 光源组件下 方的芯片的图像信息 。 2.根据权利要求1所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述第 一升降机构包括第 一滑轨 (610)和第一滑 块(620)， 所述第一滑 块(620)与所述第一滑轨滑动连接， 所述第一滑轨沿竖 向延伸， 所述第一滑轨与所述固定背板(100)连接， 所述第一滑块(620)与所述第一滑动板 (210)连接 。 3.根据权利要求2所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述第 一升降机构包括第 一丝杠 滑台模组(710)， 所述第一丝杠滑台模组(710)包括第一丝杠、 第一滑台和电机， 所述第一滑 台与所述第一丝杠连接， 所述第一丝杠与所述电机连接， 所述电机用于驱动所述第一丝杠 转动， 以使所述第一滑台沿竖向运动； 所述第一丝杠滑台模组(710)的固定部与固定背板(100)连接， 所述第一滑台与所述第 一滑动板(210)连接 。 4.根据权利要求1所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述光源组件包括沿上下方向依 次设置的同轴光源(510)和环形补光灯(520)， 所述同轴光源(510)上设有位于拍摄通道上 的入口和出口， 所述出口对准环形补光灯(520)的拍摄圆孔。 5.根据权利要求1所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述第 二升降机构包括第 二滑轨 (810)和第二滑 块(820)， 所述第二滑 块(820)与所述第二滑轨滑动连接， 所述第二滑轨沿竖 向延伸， 所述第二滑轨与所述第一滑动板(210)连接， 所述第二滑块(820)与所述第二滑动 板(220)连接。 6.根据权利要求1所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述第 二升降机构包括第 二丝杠 滑台模组， 所述第二丝杠滑台模组包括第二丝杠(910)、 第二滑台(920)和驱动单元， 所述第 二滑台(920)与所述第二丝杠(910)连接， 所述第二丝杠(910)与所述驱动单元连接， 所述 驱 动单元用于驱动所述第二丝杠(910)转动， 以使所述第二滑台(9 20)沿竖向运动。 7.根据权利要求6所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述驱动单元包括 能够旋转的主 轴(320)， 所述主轴(320)与所述第二丝杠(910)垂直， 所述主轴(320)的首端设置有第一锥 齿轮， 所述第二丝杠(910)的底端设置有与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮， 以使 所述主 轴(320)能够带动所述第二丝杠(910)旋转。 8.根据权利要求7所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述驱动单元包括与所述主轴 (320)连接的手 轮(310)； 所述驱动单 元包括锁死 结构， 所述锁死 结构锁死后用于阻止所述手 轮(310)旋转。 9.根据权利要求8所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述主轴(320)上设置有与第一 滑动板(210)固定连接的外套管(380)；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114755244 A 2所述手轮(310)包括朝向主轴(320)方向延伸的连接部， 所述连接部朝向主轴(320)的 端面上具有凹槽， 所述主轴(320)尾部的一部 分伸入到所述凹槽内， 所述凹槽的侧壁上设置 有沿径向设置的限位销(340)， 所述主轴(320)的侧壁上设置有延其长度方向延伸的 限位槽 (330)， 所述限位销(340)插接在所述限位槽(330)内， 所述限位销(340)的长度方向与所述 限位槽(3 30)的长度方向垂直， 以使所述手 轮(310)与所述主轴(320)具有相同的转动状态； 所述连接部朝向主轴(320)的一端设置有第一环形锁齿(3101)， 所述外套管(380)朝向 连接部的端面上设置有第二环形锁齿(3801)； 所述第一环形锁齿(3101)与第二环形锁齿 (3801)啮合用于阻止所述手轮(310)相对于所述外套管(380)旋转； 所述手轮(310)能够朝 远离所述外套管(380)的方向运动， 所述限位销(340)在所述限位槽(330)内滑动， 以使所述 第一环形锁齿(3101)与所述第二环形锁齿(3801)分离， 所述手轮(310)能够带动 所述主轴 (320)转动。 10.根据权利要求9所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述主轴(320)内部具有空腔， 所述限位槽(330)开设在所述空腔的侧壁处； 所述空腔内具有定位杆(350)， 所述定位杆 (350)和限位销(340)之间连接有第一弹簧(360)， 所述第一弹簧(360)用于使所述手轮 (310)具有向所述外套管(380)方向运动的趋势。 11.根据权利要求6所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述第 一滑动板(210)和第二滑 动板(220)之间连接有第二弹簧(370)， 所述第二弹簧(370)沿竖向设置， 所述第二弹簧 (370)用于 抵消所述第二丝杠(910)与第二滑台(9 20)之间的螺纹间隙。 12.根据权利要求1所述的芯片检测设备， 其特征在于， 所述芯片检测设备包括外壳 (110)， 所述固定背板(100)、 第一滑动板(210)、 第二滑动板(220)、 检测相机(400)和光源组 件均为与所述外壳(1 10)内； 所述外壳(110)上连接有打标机构(120)， 所述打标机构(120)用于对被检测的芯片进 行打标处 理。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114755244 A 3