(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210475538.2 (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人 江苏丽多智能科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区东 富 路32号A栋1 14、 115室 (72)发明人 唐丽莎　杨普庆　谭红明　姚亮亮　 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种用于 基板探伤的设备及其应用 (57)摘要 本发明涉及G01B11， 具体涉及一种用于基板 探伤的设备及其应用， 用于基板探伤的设备包括 固定板， 检测装置， 侧挡板， 限位圈， 连接靠板， 固 定孔， 支架和滑轨； 限位圈的下面固定连接在固 定板的上面， 限位圈固定连接在连接靠板的上部 边缘， 和连接靠板的边缘处于同一水平线； 连接 靠板固定连接在侧挡板的上部； 支架分别与固定 板和连接靠板固定连接； 检测装置通过滑轨滑动 连接在侧挡板中部， 固定孔位于侧挡板上。 本发 明提供的用于基板探伤的设备结构简单， 设备体 积小， 检测方便， 结构紧凑， 造 型美观， 节约空间。 不仅可以用于不同大小的产品整体检查和局部 放大检查， 而 且不易使芯片表面发生 二次损伤。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 115468964 A 2022.12.13 CN 115468964 A 1.一种用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述用于基板探伤的设备包括固定板， 检测 装置， 侧挡板， 限位圈， 连接靠板， 固定孔， 支架和滑轨； 限位圈的下面固定连接在固定板的 上面， 限位圈固定连接在连接靠板的上部边缘， 和连接靠板的边缘处于同一水平线； 连接靠 板固定连接在侧挡板的上部； 支架分别与固定板和连接靠板固定连接； 检测装置通过滑轨 滑动连接在侧挡板中部， 固定孔 位于侧挡板上。 2.如权利要求1所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述连接靠板和侧挡板的长 度相等。 3.如权利要求1所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述检测装置包括视觉相 机， 连接块， 变倍镜 头， 转换筒， 固定块， 镜筒， 物镜， 第一固定块和滑槽 。 4.如权利要求3所述的用于基板 探伤的设备， 其特 征在于， 所述固定块上有圆形通 孔。 5.如权利要求3所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述视觉相机和变倍镜头通 过连接块连接， 变倍镜头上部与转换筒下部可拆卸连接， 转换筒上部与镜筒下部可拆卸连 接， 镜筒上部与物镜可拆卸连接 。 6.如权利要求5所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述可拆卸连接选自螺纹连 接、 卡扣连接、 铰链连接的一种。 7.如权利要求3 ‑6任一项所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述连接块和变倍 镜头的纵向高度相同。 8.如权利要求3所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述第 一固定块为长方体或 正方体。 9.如权利要求3所述的用于基板探伤的设备， 其特征在于， 所述限位圈的直径是物镜直 径的4.7‑5.5倍。 10.如权利要求1 ‑9任一项所述的用于基板探伤的设备的应用， 其特征在于， 所述用于 基板探伤的设备用于BGA封装领域。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115468964 A 2一种用于基板探伤的设 备及其应用 技术领域 [0001]本发明涉及G01B1 1， 具体涉及一种用于基板 探伤的设备及其应用。 背景技术 [0002]随着BGA(球栅阵列)封装技术越来越多地应用在电子产品中， BGA封装已经成为一 种普遍的封装 形式， 被广泛应用在工业控制产品、 计算机主板、 玩具、 可穿戴设备的IC(集成 电路)芯片中。 虽然应用BGA封装的电子产品具有体积小、 重量轻、 性能高的优点， 但是仍然 存在一些问题， 一旦在BGA封装过程中的表面贴装(SMT贴片组装)环节出现划伤产品的现 象， 就会严重影响电子产品的品质， 严重时甚至会导致产品报废， 因此对BGA封装后的产品 进行检查尤为必要。 [0003]专利号CN107102013A的发明专利提供了一种半导体器件特性的测试分析方法， 通 过外部物理分析和一系列化学手段分析， 实现了对BGA封装后的半导体器件的品质的探测 和评价； 专利号为CN112747670A的发明专利提供了一种BGA封装锡球检测系统及方法， 通过 光场相机的配合使用， 不仅实现了芯片的探伤， 还得到 了芯片的坐标信息 。 [0004]传统技术中大多采用电子显微镜来检查， 然而这就需要在检查时将基板倒置放在 测台上， 通过显微镜检查背面伤痕， 这种方式极易造成芯片表面 发生二次损伤。 虽然目前关 于这方面的技术也在不断改进， 采用光场相机或X射线配合检测， 但是仍然无法同时保证检 查的方便性和稳定性， 且成本较高。 发明内容 [0005]为了解决上述问题， 本发明第一个方面提供了一种用于基板探伤的设备， 所述用 于基板探伤的设备包括固定板， 检测装置， 侧挡板， 限位圈， 连接靠板， 固定孔， 支架和滑轨； 限位圈的下面固定连接在固定板的上面， 限位圈固定连接在连接靠板的上部边缘， 和连接 靠板的边缘处于同一水平线； 连接靠板固定连接在侧挡板的上部； 支架分别与固定板和连 接靠板固定连接； 检测装置通过滑轨滑动连接在侧挡板中部， 固定孔 位于侧挡板上。 [0006]作为本发明一种优选的技 术方案， 所述连接 靠板和侧挡板的长度相等。 [0007]作为本发明一种优选的技术方案， 所述检测装置包括视觉相机， 连接块， 变倍镜 头， 转换筒， 固定块， 镜筒， 物镜， 第一固定块和滑槽 。 [0008]优选的， 固定块包括第二固定块和第三固定块。 第二固定块和第三固定块固定连 接。 [0009]进一步优选的， 所述第二固定块和第三固定块的高度相同。 [0010]更进一步优选的， 第二固定块的长度是第三固定块的长度的2.5 ‑3.5倍。 [0011]作为本发明一种优选的技 术方案， 所述固定块上有圆形通 孔。 [0012]优选的， 圆形通 孔的圆心位于第二固定块和第三固定块连接处的中点。 [0013]进一步优选的， 圆形通 孔的直径大于 镜筒的直径。 [0014]作为本发明一种优选 的技术方案， 所述视觉相机和变倍镜头通过连接块连接， 变说　明　书 1/3 页 3 CN 115468964 A 3