(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122879392.1 (22)申请日 2021.11.23 (73)专利权人 无锡诺莱德智能科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区硕放 街 道经发九路1号 (72)发明人 程宪良　 (74)专利代理 机构 无锡市朗高知识产权代理有 限公司 32 262 专利代理师 张秀芳 (51)Int.Cl. H01L 21/673(2006.01) F16M 11/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体扩散炉用花篮支 架 (57)摘要 本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮 支架， 用于适配可以同时进行6寸及8寸晶圆生产 的情况； 包括下固定支架1， 中心支架2和传感器 支架3； 所述下固定支架1设置有T型槽11用于配 合固定第一花篮4或第二花篮5； 所述第一花篮4 为6寸； 所述第二花 篮为8寸； 所述T型凹槽11两侧 边缘设置有传感器支架3， 检测上方是否设有花 篮； 所述T型凹槽11两侧折角处设置有中心支架 4， 用于对6寸的花篮进行圆点定位； 本实用新型 的有益效果： 本花篮支架本体采用PTFE制 成， 洁 净度高， 传感器感应灵敏， 安装位置与原厂匹配， 中心支架内部采用铝制作， 强度高， 外部喷涂 ptfe,以防止花篮与金属支 架直接接触。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 216698310 U 2022.06.07 CN 216698310 U 1.一种半导体扩散炉用花篮支架， 包括下固定支架(1)， 中心支架(2)和传感器支架 (3)； 其特征在于， 所述下固定支架(1)设置有T型凹槽(11)用于配合固定第一花篮(4)或第二花篮(5)； 所 述第一花篮(4)为6寸； 所述第二 花篮为(8)寸； 所述T型凹槽(11)两侧边缘设置有传感器支架(3)， 检测上方是否设有花篮； 所述T型凹 槽(11)两侧折角处设置有中心 支架(2)， 用于对6寸的花篮进行圆点定位。 2.根据权利要求1所述的半导体扩散炉用花篮支架， 其特征在于： 所述传感器支架(3) 设置有三组， 分别设置在三个T 型槽的两侧； 所述传感器支架(3)呈条状， 两端用于与下固定 支架(1)固定 。 3.根据权利要求2所述的半导体扩散炉用花篮支架， 其特征在于： 位于下固定支架(1) 两端的两个传感器支 架(3)呈块状。 4.根据权利要求3所述的半导体扩散炉用花篮支架， 其特征在于： 所述中心支架(2)对 称设置。 5.根据权利要求4所述的半导体扩散炉用花篮支架， 其特征在于： 所述中心支架(2)的 材质为铝。 6.根据权利要求5所述的半导体扩散炉用花篮支架， 其特征在于： 所述下固定支架(1) 外表面喷涂设置有PTFE材 料。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216698310 U 2一种半导体扩散炉用花篮支架 技术领域 [0001]本实用新型主要涉及半导体扩散炉技术领域， 尤其涉及 一种半导体扩散炉用花篮 支架。 背景技术 [0002]随着科学技术的飞速 发展， 客户对产品有多元化需求， 在扩散炉中， 也需要一台机 器可以生产多种尺寸晶圆。 [0003]花篮支架在设备中起到作为花篮工作平台以及监控的作用。 现有扩散炉 TEL 853V 只能生产8寸的wafer(晶圆),当需要生产6寸晶圆时， 原配花篮支 架无法使用。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的上述缺陷， 本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架， 用于 适配可以同时进行6寸及8寸晶圆生产的情况。 [0005]本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架， 包括下固定支架  1， 中心支架2和 传感器支 架3； [0006]所述下固定支架1设置有T型凹槽11用于配合固定第一花篮4  或第二花篮5； 所述 第一花篮4为6寸； 所述第二 花篮为8寸； [0007]所述T型凹槽 11两侧边缘设置有传感器支架3， 检测上方是否设有花篮； 所述T型凹 槽11两侧折角处设置有中心 支架2， 用于对6  寸的花篮进行圆点定位。 [0008]优选的， 所述传感器支架3设置有三组， 分别设置在三个T型槽的两侧； 所述传感器 支架3呈条状； 两端用于与下固定架1固定 。 [0009]优选的， 位于下固定架1两端的两个传感器支 架3呈块状。 [0010]优选的， 所述中心 支架2对称设置 。 [0011]优选的， 所述中心 支架2的材质为铝。 [0012]优选的， 所述下固定支 架1外表面喷涂设置有PTFE材 料。 [0013]本实用新型的有益效果： 本花篮支架本体采用PTFE制成， 洁净度高， 传感器感应灵 敏， 安装位置与 原厂匹配， 中心支架内部采用铝制作， 强度高， 外部喷涂ptfe,以防止花篮与 金属支架直接接触， 专为TEL  853V机台6寸 花篮设计。 附图说明 [0014]图1为本实用新型 结构示意图； [0015]图2为下固定架结构示 意图； [0016]图3为下固定架俯视图； [0017]图中， [0018]1、 下固定支架， 11、 T型凹槽； 2、 中心支架； 3、 传感器支架； 4  、 第一花篮； 5、 第二花 篮。说　明　书 1/2 页 3 CN 216698310 U 3