(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221743555.1 (22)申请日 2022.07.07 (73)专利权人 江苏三贵资源再生有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区鸿山 街 道空港路96号 (72)发明人 浦泓　王毅　 (74)专利代理 机构 无锡市汇诚永信专利代理事 务所(普通 合伙) 32260 专利代理师 葛莉华 (51)Int.Cl. B01D 47/14(2006.01) B01D 47/12(2006.01) B01D 53/26(2006.01) B01D 53/04(2006.01) B01D 53/00(2006.01) (54)实用新型名称 废气缓冲装置及废气处 理系统 (57)摘要 本实用新型属于废气处理技术领域， 特别涉 及废气缓冲装置及废气处理系统。 本实用新型提 供的废气缓冲装置， 半导体废液经过处理后的精 馏废气通过废气输入管道经过混合室混合后进 入缓冲室， 经过分子筛单元的作用， 降低废气浓 度瞬间波动峰值， 使缓冲罐出口废气浓度趋于稳 定， 有利于后段废气回收处理装置稳定运行。 本 实用新型提供的具有上述废气缓冲装置的废气 处理系统， 废气处理运行稳定， 最终排气筒排放 废气稳定 达标的效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217773668 U 2022.11.11 CN 217773668 U 1.废气缓冲装置， 其特征在于， 包括缓冲室， 所述缓冲室的入口通过混合室连接有多个 废气输入管道， 所述缓冲室的出 口连接有深度冷凝 吸附器， 所述缓冲室中填充有分子筛单 元， 所述分子 筛单元包括多个呈阵列排布的分子 筛块。 2.根据权利要求1所述的废气 缓冲装置， 其特征在于， 所述分子筛单元的前端设有第 一 挡板， 所述第一挡板与所述缓冲室内壁底部形成第一通气口， 所述分子筛单元 的后端设有 第二挡板， 所述第二挡板与所述缓冲室内壁顶部形成第二 通气口。 3.根据权利要求1所述的废气缓冲装置， 其特征在于， 所述分子筛块为蜂窝状， 所述分 子筛的材料为改性无机二氧化硅 。 4.废气处理系统， 其特征在于， 包括与权利要求1 ‑3任一项所述的废气缓冲装置相连接 的废气处理装置， 所述废气处理装置包括串联洗涤塔组、 除雾调湿器和并联吸附箱组， 所述 串联洗涤塔组与所述深度冷凝 吸附器连接， 所述串联洗涤塔组与所述除雾调湿器连接， 所 述除雾调湿 器还连接所述并联吸附箱组。 5.根据权利要求4所述的废气处理系统， 其特征在于， 所述并联吸附箱通过风机与烟囱 相连。 6.根据权利要求4所述的废气处理系统， 其特征在于， 还包括气气换热器， 所述气气换 热器的换热介质为氮气， 所述气气换热器将蒸汽经过换热处理通入所述并联吸 附箱组， 所 述并联吸附箱组与所述混合室连通。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217773668 U 2废气缓冲装 置及废气处理系统 技术领域 [0001]本实用新型属于废气处 理技术领域， 特别涉及废气缓冲装置及废气处 理系统。 背景技术 [0002]半导体废液经过处理后会产生的精馏废气， 精馏废气一般经过深冷回收设施、 废 气处理设施处置达标后排放。 精馏产生的废气浓度值是波动的， 废气浓度的不稳定会对废 气处理系统稳定运行产生影响， 可能导致排气筒排气瞬间超标。 因而深冷回收设施前需要 加缓冲装置， 混合收集到的不同浓度、 风量的多股废气 。 普通缓冲罐只能起到混合各股废气 作用， 对废气浓度值的波动缓冲效果较小。 实用新型内容 [0003]针对上述现有技术的不足， 本实用新型提供了废气缓冲装置及废气处理系统， 目 的是为了解决现有精馏废气处理系统中， 普通缓冲罐只能起到混合各股废气作用， 对废气 浓度值的波动缓冲效果较小的技 术问题。 [0004]本实用新型提供的废气缓冲装置， 具体技 术方案如下： [0005]废气缓冲装置， 包括缓冲室， 所述缓冲室的入口通过混合室连接有多个废气输入 管道， 所述缓冲室的出口连接有深度冷凝吸附器， 所述缓冲室中填充有分子筛单元， 所述分 子筛单元包括多个呈阵列排布的分子 筛块。 [0006]在某些实施方式中， 所述分子筛单元的前端设有第一挡板， 所述第一挡板与所述 缓冲室内壁底部形成第一通气口， 所述分子筛单元 的后端设有第二挡板， 所述第二挡板与 所述缓冲室内壁顶部形成第二 通气口。 [0007]在某些实施方式中， 所述分子筛块为蜂窝状， 所述分子筛 的材料为改性无机二氧 化硅。 [0008]本实用新型还提供了另一个技术方案， 即废气处理系统， 包括与上述方案中的废 气缓冲装置相连接的废气处理装置， 所述废气处理装置包括串联洗涤塔组、 除雾调湿器和 并联吸附箱组， 所述串联洗涤塔组与所述深度冷凝 吸附器连接， 所述串联洗涤塔组与所述 除雾调湿 器连接， 所述除雾调湿 器还连接所述并联吸附箱组。 [0009]在某些实施方式 中， 所述并联吸附箱通过风机与烟囱相连。 [0010]在某些实施方式中， 还包括气气换热器， 所述气气换热器的换热介质为氮气， 所述 气气换热器将蒸汽经过换热处理通入所述并联吸附箱组， 所述并联吸附箱组与所述混合室 连通。 [0011]本实用新型具有以下有益效果： 本实用新型提供的废气缓冲装置， 半导体废液经 过处理后的精馏废气通过废气 输入管道经过混合室混合后进入缓冲室， 经过分子筛单元的 作用， 降低 废气浓度瞬间波动峰值， 使缓冲罐出口废气浓度趋于稳定， 有利于后段废气回收 处理装置稳定运行。 本实用新型提供 的具有上述废气缓冲装置的废气处理系统， 废气处理 运行稳定， 最终排气筒排 放废气稳定 达标的效果。说　明　书 1/3 页 3 CN 217773668 U 3