(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221678077.0 (22)申请日 2022.07.01 (73)专利权人 无锡洁安洁通用设备有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路 78号5号楼东 (72)发明人 林仲炫　金相辉　申东珍　 (74)专利代理 机构 江苏智天知识产权代理有限 公司 325 50 专利代理师 陈俊凤 (51)Int.Cl. B01D 50/60(2022.01) B01D 53/04(2006.01) B01D 50/00(2022.01) (54)实用新型名称 半导体制程尾气处 理系统 (57)摘要 本实用新型涉及半导体制程技术领域， 尤其 为半导体制程尾气处理系统， 包括处理箱， 处理 箱的背部固定连接有储水箱， 储 水箱的表面连通 有进水盖， 储水箱的顶部连通有通水管， 通水管 远离储水箱的一端设有渗水板， 渗水板位于处理 箱的内部背侧表面， 渗水板的表 面设有呈等间距 均匀分布的若干雾化喷头。 本实用新型中通过处 理箱背部设有的储水箱结构， 使得废气进入处理 箱内部时， 此时雾化喷头率先对废气进行喷淋， 以对废气中含有的浮沉颗粒吸附， 使得废气可初 步吸附后进入处理箱内部过滤组件上依次进行 过滤后通过排气管排出， 使得处理效果更好， 对 废气内部浮 沉进行更好地处理。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217961899 U 2022.12.06 CN 217961899 U 1.半导体制程尾气处理系统， 包括处理箱 （1） ， 其特征在于： 所述处理箱 （1） 的背部固定 连接有储水箱 （2） ， 所述储 水箱 （2） 的表面连通有进水盖 （20） ， 所述储 水箱 （2） 的顶部连通有 通水管 （21） ， 所述通水管 （21） 远离所述储水箱 （2） 的一端设有渗水板 （22） ， 所述渗水板 （22） 位于所述处理箱 （1） 的内部背侧表面， 所述渗水板 （22） 的表面设有呈等间距均匀分布的若 干雾化喷头 （23） ； 所述处理箱 （1） 的内部左右两侧表面设有若干活性炭吸附球 （14） ， 所述处理箱 （1） 的内 部顶侧设有颗粒吸附网 （10） ， 所述处理箱 （1） 的内部中侧固定连接有一层滤板 （11） ， 所述一 层滤板 （1 1） 的底部固定连接有 小颗粒除尘板 （12） 。 2.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述处理箱 （1） 的内 部底侧固定连接有二级尾气滤板 （13） 。 3.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述处理箱 （1） 的背 部中侧固定连接有竖直的支撑板 （3） ， 所述支撑板 （3） 的表面固定套接有进气道 （30） ， 所述 进气道 （3 0） 远离所述支撑 板 （3） 的一端固定连接有集气管 （31） 。 4.根据权利要求3所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述集气管 （31） 的底 部固定连接有呈十字形分布的通气道 （32） ， 所述通气道 （32） 位于所述处理箱 （1） 的内部顶 侧。 5.根据权利要求4所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述通气道 （32） 的底 部表面开设有呈等间距均匀分布的若干排气喷头 （320） 。 6.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述处理箱 （1） 的顶 部固定连接有密封 盖 （4） ， 所述密封 盖 （4） 的底部表面固定连接有防尘滤网 （40） 。 7.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述处理箱 （1） 的底 部右侧连通有排风箱 （5） ， 所述排风箱 （5） 的顶部安装有排气机 （50） ， 所述排风箱 （5） 的底部 右侧连通有排气管 （51） 。 8.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统， 其特征在于： 所述处理箱 （1） 的底 部固定连接有底座 （6） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217961899 U 2半导体制程尾气处理系统 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体制程 技术领域， 具体为半导体制程尾气处 理系统。 背景技术 [0002]半导体技术就是以半导体为材料， 制作成组件及集成电路的技术。 在周期表里的 元素， 依照导电性大致可以分成导体、 半导体与绝缘体三大类。 最常见的半导体是硅 （Si） ， 当然半导体也可以是两种元素形成的化合物， 例如砷化镓 （GaAs） ， 但化合物半导体大多应 用在光电方面； [0003]在对半导体进行制程加工的方面上， 对半导体进行生产制造时会产生大量有害气 体， 需要对生产排出 的有害气体进行收集净化处理后再进行排出， 现有的尾气由于气体内 部含有大量浮沉， 在进入处理箱内部时无法对浮沉进行有效吸 附， 传统的尾气处理系统在 对尾气进入内部时得不到合理的分配， 使得气体进入较为集中， 不能使得过滤板上可均匀 的对尾气进行处 理， 因此需要半导体制程尾气处 理系统对上述问题 做出改善 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供半导体制程尾气处理系统， 以解决上述背景技术中提 出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0006]半导体制程尾气处理系统， 包括处理箱， 处理箱的背部固定连接有储水箱， 所述储 水箱的表面连通有进水盖， 所述储水箱的顶部连通有通水管， 所述通水管远离所述储水箱 的一端设有渗水板， 所述渗水板位于所述处理箱的内部背侧表面， 所述渗水板的表面设有 呈等间距均匀分布的若干 雾化喷头； [0007]所述处理箱的内部左右两侧表面设有若干 活性炭吸附球， 所述处理箱的内部顶侧 设有颗粒吸 附网， 所述处理箱的内部中侧固定连接有一层滤板， 所述一层滤板的底部固定 连接有小颗粒除尘板 。 [0008]作为本实用新型的进一步方案， 所述处理箱的内部底侧固定连接有二级尾气滤 板。 [0009]作为本实用新型的进一步方案， 所述处理箱的背部中侧固定连接有竖直的支撑 板， 所述支撑板的表面固定套接有进气道， 所述进气道远离所述支撑板的一端固定连接有 集气管。 [0010]作为本实用新型的进一步方案， 所述集气管的底部固定连接有呈十字形分布的通 气道， 所述 通气道位于所述处 理箱的内部顶侧。 [0011]作为本实用新型的进一步方案， 所述通气道的底部表面开设有呈等间距均匀分布 的若干排气喷头 。 [0012]作为本实用新型的进一步方案， 所述处理箱的顶部固定连接有密封盖， 所述密封 盖的底部表面固定连接有防尘滤网。说　明　书 1/3 页 3 CN 217961899 U 3