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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221335507.9 (22)申请日 2022.05.31 (73)专利权人 大理立新硅材料有限公司 地址 672199 云南省大理白族自治州祥云 县祥城镇工业园区公共服 务中心 (72)发明人 赵松 欧阳川 刘新深 张付然 耿国抗 (74)专利代理 机构 昆明盈正知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 53208 专利代理师 徐洪刚 (51)Int.Cl. B02C 4/08(2006.01) B02C 4/28(2006.01) B01D 53/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯 装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种具有气体导入过滤 结构的多晶硅提纯装置, 包括: 高温反应容器、 粉 碎装置和过滤箱, 所述高温反应容器的外端固定 安装有保温层, 所述高温反应容器的内端设置有 电加热硅池硅棒, 所述高温反应容器的顶端固定 安装有控温器, 所述粉碎装置位于高温反应容器 的右侧, 所述粉碎装置的右端固定安装有伺服电 机, 所述伺服电机的输出端固定齿轮, 所述齿轮 的外端啮合连接有传动链条, 所述伺服电机的输 出端固定安装有第一粉碎辊。 该具有气体导入 过 滤结构的多晶硅提纯装置, 粉碎更加充分, 便于 反应, 方便对气体导入过滤, 避免污染环境, 避免 热量散失过快, 可有效恒温, 保证多晶硅的正常 生长。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217725684 U 2022.11.04 CN 217725684 U 1.一种具有气体导入过 滤结构的多晶硅提纯装置, 其特 征在于: 包括: 高温反应容器(1), 所述 高温反应容器(1)的外端固定安装有保温层(4), 所述 高温反应 容器(1)的内端设置有电加热硅池硅棒(5), 所述高温反应容器(1)的顶端固定安装有控温 器(6); 粉碎装置(2), 所述粉碎装置(2)位于高温反应容器(1)的右侧, 所述粉碎装置(2)的右 端固定安装有伺服电机(11), 所述伺服电机(11)的输出端 固定齿轮(17), 所述齿轮(17)的 外端啮合连接有传动链条(12), 所述伺服电机(11)的输出端固定安装有第一粉碎辊(13), 所述粉碎装置(2)的内端转动安装有第二粉碎辊(14); 过滤箱(3), 所述过滤箱(3)位于高温反应容器(1)的上侧, 所述过滤箱(3)的内端卡合 安装有活性炭过 滤板(15), 所述活性炭过 滤板(15)的上端螺纹连接有固定 栓(16)。 2.根据权利要求1所述的一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置, 其特征在于: 所述第二粉碎辊(14)的右端固定安装有齿轮(17), 所述第二粉碎辊(14)位于第一粉碎辊 (13)的下侧。 3.根据权利要求1所述的一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置, 其特征在于: 所述过滤箱(3)的左端设置有反应过滤池(10), 所述反应过滤池(10)的下侧设置有提纯反 应容器(9)。 4.根据权利要求3所述的一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置, 其特征在于: 所述提纯反应容器(9)的下侧设置有流化床反应器(7), 所述流化床反应器(7)位于粉碎装 置(2)的下侧。 5.根据权利要求1所述的一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置, 其特征在于: 所述粉碎装置(2)的上侧设置有电弧炉(8), 所述电弧炉(8)位于提纯反应容器(9)的右侧。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217725684 U 2一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及多晶硅相关技术领域, 具体为一种具有气体导入过滤结构的多晶 硅提纯装置 。 背景技术 [0002]提纯是指将混合物中的杂质分离出来以此提高其纯度, 多晶硅是生产单晶硅的直 接原料, 是当代人工智能、 自动控制、 信息处理和光电转换等半导体器件的电子信息基础材 料。 [0003]但现有的多晶硅提纯装置, 不方便对反应材料进行粉碎, 气体排放到大气中容易 污染环境, 热量容易散失, 因此我们提出一种具有气 体导入过滤结构的多晶硅提纯装置, 以 便于解决上述中提出的问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置, 以解 决上述背景技术中提出 的现有的多晶硅提纯装置, 不方便对反应材料进行粉碎, 气体排放 到大气中容 易污染环境, 热量 容易散失的问题。 [0005]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种具有气体导入过滤结构的 多晶硅提纯装置, 包括: [0006]高温反应容器, 所述高温反应容器 的外端固定安装有保温层, 所述高温反应容器 的内端设置有电加热硅池硅棒, 所述高温反应容器的顶端固定安装有控温器; [0007]粉碎装置, 所述粉碎装置位于高温反应容器的右侧, 所述粉碎装置 的右端固定安 装有伺服电机, 所述伺服电机的输出端固定齿轮, 所述齿轮的外端啮合连接有传动链条, 所 述伺服电机的输出端固定安装有第一粉碎辊, 所述粉碎装置的内端转动安装有第二粉碎 辊; [0008]过滤箱, 所述过滤箱位于高温反应容器的上侧, 所述过滤箱的内端卡合安装有活 性炭过滤板, 所述活性炭过 滤板的上端螺纹连接有固定 栓。 [0009]优选的, 所述第二粉碎辊的右端固定安装有齿轮, 所述第二粉碎辊位于第一粉碎 辊的下侧。 [0010]优选的, 所述过滤箱的左端设置有反应过滤池, 所述反应过滤池的下侧设置有提 纯反应容器。 [0011]优选的, 所述提纯反应容器 的下侧设置有流化床反应器, 所述流化床反应器位于 粉碎装置的下侧。 [0012]优选的, 所述粉碎装置 的上侧设置有电弧炉, 所述电弧炉位于提纯反应容器 的右 侧。 [0013]与现有技 术相比, 本实用新型的有益效果是: [0014]1.设置有伺服电机、 传动 链条、 第一粉碎 辊和第二粉碎辊, 伺服电机的输出端带动说 明 书 1/3 页 3 CN 217725684 U 3
专利 一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置
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