(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210617683.X (22)申请日 2022.06.01 (71)申请人 连城凯克斯科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇 泾虹路15号 (72)发明人 胡动力　许星杰　赵海殿　刘景和　 (74)专利代理 机构 无锡亿联盛知识产权代理有 限公司 32625 专利代理师 李晶晶 (51)Int.Cl. B08B 9/027(2006.01) B08B 9/023(2006.01) B08B 9/045(2006.01) B08B 13/00(2006.01) C30B 23/00(2006.01)C30B 29/36(2006.01) (54)发明名称 一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法 (57)摘要 本发明属于碳化硅技术领域， 具体的说是一 种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 所述清 理座的表 面固定连接有夹持座， 所述夹持座的数 量为多个， 且呈等距离连接在清理座的上表面； 每个夹持座的内部均设置有石英管本体， 所述清 理座的后侧固定连接有气缸架， 所述气缸架的下 方设置有连接板， 所述连接板的下表 面固定连接 有多个与石英管本体呈对应设置的压柱； 在清理 过程中刮板能够起到边向下边转动的状态对石 英管本体内壁刮除清理； 使石英管本体的内壁逐 渐清洁； 且避免了现如今需要工作人员需要手动 清理的现象， 同时能够自上而下对石英管本体进 行清理， 可以适用不同高度的石英管； 且安全性 高； 为之后石英管的使用带来了 便捷性。 权利要求书2页 说明书7页 附图6页 CN 115055452 A 2022.09.16 CN 115055452 A 1.一种碳 化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特 征在于： 包括以下步骤： S1、 先将石英管本体(21)插接到不同的夹持座(2)的内部， 并使不同的石英管本体(2 1) 与不同的清理杆(35)相对应； 之后通过外界电源驱动此气缸架(101)内部的气缸和活塞柱 运转， 使活塞柱带动连接 板(102)移动； S2、 之后连接板102会带动压柱(3)下压转动轮(32)， 由于转动轮(32)转动连接在压柱 (3)的表面， 且转动轮(32)表面开设的导向槽(33)与卡柱(34)相适配； 所述在压柱(3)给予 转动轮(32)向下压力时， 压柱(3)会 带动转动轮(32)在卡柱(34)和导向槽(33)的作用下， 发 生边向下边转动的状态 运转， 且转动轮(32)会同时带动其下方的清理杆(35)向石英管本体 (21)内部移动； S3、 在清理杆(35)移动过程中， 清理杆(35)外表面的偏转杆(37)会首先与石英管本体 (21)接触， 并带动偏转杆(37)发生转动， 从而偏转杆(37)会带动刮板(38)转动， 之后刮板 (38)会抵压在石英管本体(21)的内壁， 并对对石英管本体(21)内壁堆积的积碳进行刮除处 理。 2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 清理座(1)的表 面固定连接有夹持座(2)， 所述夹持座(2)的数量为多个， 且 呈等距离连接在 清理座(1)的上表 面； 每个夹持座(2)的内部均设置有石英管本体(21)， 所述清理座(1)的后 侧固定连接有气缸架(101)， 所述气缸架(101)的下方设置有连接板(102)， 所述连接板 (102)的下表 面固定连接有多个与石英管本体(21)呈对应 设置的压柱(3)， 所述石英管本体 (21)的上方设置有连接座(31)； 所述压柱(3)的一端贯穿在连接座(31)的内部， 所述压柱 (3)的下端面转动连接有转动轮(32)， 所述转动轮(32)的外表 面开设有导向槽(33)， 所述连 接座(31)的内部固定连接有与导向槽(33)相适配的卡柱(34)； 所述转动轮(32)的下端面固 接有清理杆(35)， 所述清理杆(35)的外表面转动连接有偏转杆(37)， 所述偏转杆(37)的外 表面固接有刮板(38)。 3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 连接座(31)的内部设置有限位框架(311)， 所述限位框架(311)的表面开设有限位槽， 且限 位槽的直径和压柱(3)的直径相等。 4.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 夹持座(2)的内部滑动连接有多个拉杆(4)， 且拉杆(4)呈圆周阵列设置在夹持座(2)的内 部； 所述拉杆(4)靠近夹持座(2)的中部连接有环形套(41)， 所述拉杆(4)的外表 面且与夹持 座(2)内壁相连接有拉簧(42)。 5.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 清理杆(35)的内部滑动连接有滑杆(5)， 所述滑杆(5)的上方转动连接有抵压杆(51)； 所述 抵压杆(51)的一端与滑杆(5)的外表 面相连接， 另一端与偏转杆(37)的外表 面相连接； 所述 滑杆(5)的底部且位于清理杆(35)的内壁固定连接有拉伸弹簧(52)； 所述清理杆(35)的内 部开设有与滑杆(5)相适配的滑槽 。 6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 滑杆(5)的外表面固定连接有挤压块(53)， 所述清理杆(35)的内部固定连接有多个储液腔 体(54)， 所述储 液腔体(54)的数量为两个， 且 呈左右对称设置； 所述储 液腔体(54)的内部滑 动连接有活塞板(55)， 所述活塞板(55)靠近滑杆(5)的一侧固定连接有弧形杆(56)， 所述弧权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115055452 A 2形杆(56)的上下两侧且位于储液腔体(54)的内壁均固定连接有限位弹簧(561)， 所述活塞 板(55)的宽度和储液腔体(54)的宽度相等。 7.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 清理杆(35)的内部开设有流通槽孔(351)； 所述流通槽孔(351)的下端贯穿在储液腔体(54) 的内部。 8.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 清理杆(35)的上方固定连接有清理环 座(6)， 所述清理环 座(6)的直径大于石英管本体(21) 的直径。 9.根据权利要求8所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所述 清理环座(6)的内壁固定连接有紧压弹簧(61)， 所述紧压弹簧(61)设置多个， 且 呈圆周阵列 设置在清理环座(6)的内壁， 所述紧压弹簧(61)靠近清理杆(35)的一侧固定连接有清理环 板(62)。 10.根据权利要求9所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法， 其特征在于： 所 述清理环板(62)的外表 面固定连接有吸水环板(621)， 所述吸水环板(621)的直径大于清理 环板(62)的直径。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115055452 A 3