(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210638651.8 (22)申请日 2022.06.08 (71)申请人 深圳市兆纪光电有限公司 地址 518101 广东省深圳市宝安区福海街 道塘尾社区塘尾华丰科技园第2、 第3 幢402第2、 第3幢3幢201、 401、 501、 601;福园一路润恒鼎丰高新产业园第 4栋1楼 (72)发明人 李思升　吴王坤　张利刚　 (74)专利代理 机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 种龙军 (51)Int.Cl. B07C 5/342(2006.01) B08B 1/00(2006.01)B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种背光基 板的检测装置 (57)摘要 本申请涉及检测技术的领域， 尤其是涉及一 种背光基板的检测装置。 包括； 检测平台机构、 检 测罩体机构、 X轴传动机构、 Y轴传动机构、 Z轴传 动机构； 检测平台机构设置下真空连接管； 检测 罩体机构与检测平台机构闭合形成真 空状态时， 光源发生组件和第一拍照组件遍历待检测基板 的上表面以形成检测待检测基板的图像。 本申请 通过将检测罩体机构运动至检测平台机构上方、 且与检测平台机构闭合， 检测组件遍历基板的上 表面， 形成检测图像。 分析单元对拍摄的照片分 析处理， 即可获得检测分析结果信息； 本申请通 过设置反射镜实现对基板下表 面的检测； 设置等 离子清洁机构 对基板进行清洁处理， 进一步提高 检测效果。 权利要求书2页 说明书6页 附图8页 CN 115007496 A 2022.09.06 CN 115007496 A 1.一种背光基板的检测装置， 其特 征在于,包括； 检测平台机构 （6） ， 设置有具有一容置空间下腔体 （601） 、  一端与所述下腔体 （601） 贯 通的下真空连接管 （406） ， 所述下真空连接管 （406） 的另一端与真空泵 连接； 待检测基板 （5） 放置在所述下腔体 （6 01） 内； 检测罩体机构 （4） ， 设置有具有一容置空间上腔体 （401） 、 设置在 所述上腔体 （401） 侧壁 上的破真空组件 （405） 、 设置在所述上腔体 （401） 内部的光源发生组件 （403） ， 与所述光源发 生组件 （403） 并排设置的第一拍照组件 （404） 、 用以控制所述光源发生组件 （403） 和所述第 一拍照组件 （404） 经位移的移动控制组件 （402） ； 所述移动控制组件 （402） 设置在所述上腔 体 （401） 内部， 以可带动 所述光源发生组件 （403） 和所述第一拍照组件 （404） 遍历待检测基 板 （5） 的上表面； 所述检测罩体机构 （4） 具有以可运动至所述检测平台机构 （6） 上方、 且与所述检测平台 机构 （6） 闭合的真空状态， 及， 以远离所述检测平台机构 （6） 的常压状态； 所述检测罩体机构 （4） 与所述检测平台机构 （6） 闭合形成真空状态时， 所述光源发生组 件 （403） 和所述第一拍照组件 （404） 遍历待检测基板 （5） 的上表面以形成检测待检测基板 （5） 的图像。 2.根据权利要求1所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述检测罩体机构 （4） 上设置上真空连接管 （6 03） 。 3.根据权利要求2所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述上真空连接管 （603） 、 所述下真空连接管 （406） 上设置有电磁阀 （604） ， 以控制所述 下腔体 （601） 与 真空泵的连通与否； 所述下真空连接管 （406） 上设置的电磁阀 （604） 上设置 有时间继电器。 4.根据权利要求3所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述上真空连接管 （603） 、 所述下真空连接管 （406） 的电磁阀 （604） 前设置压力开关， 用 以控制抽真空的压力。 5.根据权利要求1所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述检测平台机构 （6） 还包括吸板 （602） ， 所述吸板 （602） 设置在所述下腔体 （601） 内 部， 具有吸附孔 （6 021） ； 待检测基板 （5） 放置在所述吸板 （6 02） 上方。 6.根据权利要求5所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述光源发生组件 （403） 包含激光发生器， 所述激光发生器形成光路并照射在背光基 板上； 所述第一拍照组件 （404） 包括具有自动聚焦的拍照单元， 对光路在基板处进行拍摄， 形成图像。 7.根据权利要求6所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述下腔体 （601） 内设置有反射镜 （605） 、 载物架 （606） ， 所述反射镜 （605） 设置在所述 下腔体 （601） 内的所述吸板 （602） 上， 所述载物架 （606） 设置在所述反射镜 （605） 上； 待检测 基板 （5） 放置在所述反射镜 （605） 上， 待检测基板 （5） 和反射镜 （605） 之间形成一个间隙； 在 所述反射镜 （605） 处设置有反射拍照组件 （607） ， 所述反射拍摄组件以可拍摄待检测基板 （5） 下表面形成图像。 8.根据权利要求1 ‑7任一项所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述背光基板的检测装置还 包括X轴传动机构 （1） 、 Y轴传动机构 （2） 、 Z轴传动机构 （3） ；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115007496 A 2所述检测平台机构 （6） 设置在所述X轴传动机构 （1） 上， 所述X轴传动机构 （1） 以可带动 所述检测平台机构 （6） 沿X轴方向往复运动； 所述Z轴传动 机构 （3） 设置在 所述Y轴传动 机构 （2） 上， 所述Y轴传动 机构 （2） 以可带动所 述Z轴传动机构 （3） 沿Y轴方向往复运动； 所述检测罩体机构 （4） 设置在所述Z轴传动机构 （3） 上， 所述Z轴传动机构 （3） 以可带动 所述检测罩体机构 （4） 升降运动。 9.根据权利要求8所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述背光基板的检测装置还 包括等离子清洁机构 （7） ； 所述等离子清洁机构 （7） 包括清洁头组件 （702） 、 清洁头移动组件 （704） 、 清洁头调节组 件 （703） 、 排气组件 （705） 、 清 洁头支撑架 （701） ； 所述清 洁头支撑架 （701） 跨设在所述X轴传 动机构 （1） 上， 所述检测平台机构 （6） 能够自所述清洁头支撑架 （701） 下部空间穿过； 所述清洁头组件 （702） 设置在清洁头调节组件 （703） 上， 所述清洁头调节组件 （703） 设 置在所述清洁头移动组件 （704） 上， 所述清洁头移动组件 （704） 设置在所述清洁头支撑架 （701） 上， 所述排气 组件 （705） 与所述清洁头组件 （702） 连接； 所述清 洁头移动组件 （704） 用 以控制所述清洁头调节组件 （703） 移动； 所述清洁头调节组件 （703） 用以调节所述清洁头组 件 （702） 与待检测基板 （5） 之间的距离 。 10.根据权利要求8所述的一种背光基板的检测装置， 其特 征在于, 所述X轴传动机构 （1） 侧设置有机械手， 所述机械手设置有旋转组件、 抓取组件， 所述旋 转组件用以控制所述抓取组件将经过检测的基板样品分别自所述检测平台机构 （6） 上抓取 并放置在转用运输皮带或检修 运输皮带 上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115007496 A 3