(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210618639.0 (22)申请日 2022.06.01 (71)申请人 北京半导体专用设备研究所 （中国 电子科技 集团公司第四十五研究 所） 地址 100176 北京市北京经济技 术开发区 泰河三街1号 (72)发明人 焦宇辉　张文斌　赵祥　孙莉莉　 徐品烈　种宝春　张彩山　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 严小艳 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01)B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)发明名称 一种自动清洁装置 (57)摘要 本发明涉及半导体晶片技术领域， 具体而 言， 涉及一种自动清洁装置， 用于对半导体晶片 的抛光夹具进行清洁， 包括支撑架、 夹紧机构和 清洁机构； 所述支撑架的顶部设置有清洁腔体， 所述清洁腔体上设置有夹紧机构， 所述夹紧机构 用于夹紧所述抛光夹具并使所述抛光夹具位于 所述清洁腔体内， 所述清洁机构与所述支撑架连 接， 且所述清洁机构与所述抛光夹具对应设置。 本申请能够代替人力， 对抛光夹具进行自动清 洁， 提高清洁效率， 减少人力、 物力和时间， 并提 高了抛光夹具清洁后的干净程度。 权利要求书2页 说明书7页 附图10页 CN 114904812 A 2022.08.16 CN 114904812 A 1.一种自动清洁装置， 用于对半导体晶片的抛光夹具(1)进行清洁， 其特征在于， 包括 支撑架(6)、 夹紧机构和清洁机构； 所述支撑架(6)的顶部设置有清洁腔体(15)， 所述清洁腔体(15)上设置所述夹紧机构， 所述夹紧机构用于夹紧所述抛光夹具(1)并使 所述抛光夹具(1)位于所述清洁腔 体(15)内， 所述清洁机构与所述支撑架(6)连接， 且 所述清洁机构的位置与所述抛光夹具(1)的位置对 应设置。 2.根据权利要求1所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述清洁机构包括清刷机构， 所 述清刷机构设置 于所述抛光夹具(1)的正下 方； 所述清刷机构包括驱动电机(11)、 空心转轴(7)、 清洁毛刷组件(5)和喷液机构， 所述空 心转轴(7)竖直穿设于所述清洁腔体(15)的底部， 所述空心 转轴(7)的顶端设置有清洁毛刷 组件(5)， 所述空心转轴(7)的底端开口与喷液机构连通， 所述空心 转轴(7)的顶端开口处设 置有多个喷液口(502)， 所述驱动电机(11)的输出轴与所述空心转轴(7)连接， 用于驱动所 述空心转轴(7)旋转。 3.根据权利要求2所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述清刷机构还包括交叉防水结 构(26)和轴承座(8)， 所述空心转轴(7)的上部通过所述交叉防水结构(26)与所述清洁腔体 (15)内底部连接， 所述空心转轴(7)的下部通过 所述轴承座(8)与所述支撑架(6)连接 。 4.根据权利要求2所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述清刷机构还包括传动轮组件 (22)， 所述驱动电机(1 1)的输出轴通过 所述传动轮组件(2 2)与所述空心转轴(7)连接 。 5.根据权利要求4所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述传动轮组件(22)包括主动皮 带轮、 从动皮带轮和传动皮带， 所述主动皮带轮与所述 驱动电机(11)的输出轴连接， 所述从 动皮带轮与所述空心转轴(7)连接， 所述主动皮带轮和所述从动皮带轮通过所述传动皮带 连接传动； 或者， 所述传动轮组件(22)包括主动齿轮和 从动齿轮， 所述主动齿轮与所述驱动电机 (11)的输出轴连接， 所述 从动齿轮与所述空心转轴(7)连接， 所述主动齿轮和所述 从动齿轮 啮合连接， 或者， 所述主动齿轮和所述从动齿轮通过传动链条 连接传动。 6.根据权利要求3所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述清洁机构还包括吹干机构， 所述吹干机构包括摆动气缸(18)、 空心喷气摆臂(4)和喷气 机构， 所述摆动 气缸(18)设置于 所述清洁腔 体(15)上， 所述摆动 气缸(18)与所述空心喷气摆臂(4)连接， 用于驱动所述空心 喷气摆臂(4)摆动， 所述空心喷气摆臂(4)的进气口与喷气机构连通， 所述空心喷气摆臂(4) 上设置有 多个喷头， 所述喷头与所述抛光夹具(1)对应设置 。 7.根据权利要求1所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述夹 紧机构设置于所述清洁腔 体(15)的顶部， 所述夹紧机构包括两个相对设置的夹紧组件， 所述抛光夹具(1)位于两个所 述夹紧组件之间； 所述夹紧组件包括伸缩气缸(21)和伸缩抓手(2)， 所述伸缩气缸(21)与所述伸缩抓手 (2)连接， 所述伸缩气缸(21)用于驱动所述伸缩抓手(2)行进并对所述抛光夹具(1)进行夹 紧。 8.根据权利要求7所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述夹 紧组件还包括抓手导槽体 (20)， 所述抓手导槽体(20)设置于所述清洁腔体(15)的顶部， 所述伸缩抓手(2)位于所述抓 手导槽体(20)内， 所述伸缩抓手(2)能够沿所述 抓手导槽体(20)的导槽方向行进。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114904812 A 29.根据权利要求3所述的自动清洁装置， 其特征在于， 还包括升降机构， 所述清刷机构 通过所述升降机构与所述支撑架(6)连接， 所述升降机构用于驱动所述清刷机构进行升降。 10.根据权利要求9所述的自动清洁装置， 其特征在于， 所述升降机构包括滑轨(13)、 滑 块(14)、 安装架(10)和升降驱动单元(24)， 所述滑轨(13)竖直安装于所述支撑架(6)上， 所 述滑块(14)与所述滑轨(13)滑动连接， 所述滑轨(13)上设置所述安装架(10)， 所述安装架 (10)的一端与所述清刷机构固定连接， 所述安装架(10)的另一端与所述升降驱动单元(2 4) 连接， 所述升降驱动单 元(24)用于驱动所述清刷机构进行升降。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114904812 A 3