(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210715077.1 (22)申请日 2022.06.22 (71)申请人 浙江陶特容器科技股份有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴 市海宁市周王庙 镇之江路3 0号 (72)发明人 谈益强　杨孝欢　 (74)专利代理 机构 杭州杭诚专利事务所有限公 司 33109 专利代理师 王鑫康 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种超高纯化学品容器的腔体表面处理系 统及方法 (57)摘要 本发明公开了一种超高纯化学品容器的腔 体表面处理系统及方法， 属于化学品清洗干燥领 域， 包括容器翻转系统、 去油脂液系统、 去离子初 洗液系统、 抛光液系统、 钝化液系统、 螯合剂系 统、 纯水系统、 超纯无水乙醇系统、 烘干系统、 回 收系统和PLC控制程序； 本申请通过PLC控制程序 自动化地控制各个系统， 使 得高压喷嘴根据表面 处理和清洗的工序的需要喷出对应的液体， 省去 了人工操作， 而回收系统可以对 各种表面处理液 进行分别 回收， 降低表面处理液的损耗， 解决了 现有技术中， 通过纯人工的方法对超高纯化学品 容器的腔体进行表面处理和清洗的过程， 效率较 低， 处理液浪费严重等问题。 权利要求书3页 说明书8页 附图4页 CN 115254726 A 2022.11.01 CN 115254726 A 1.一种超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 所述腔体表面处理系统 包括： 容器翻转系统、 去油脂液系统、 去离子初洗液系统、 抛光液系统、 钝化液系统、 螯合剂系 统、 纯水系统、 超纯 无水乙醇系统、 烘干系统、 回收系统和PLC控制程序； 容器翻转系统对容器进行夹紧、 升高和翻转， 容器内侧处还安装有高压喷 嘴； 去油脂液系统执 行去油脂清洗作业并结合回收系统完成去油脂液的回收操作； 去离子初洗液系统执行去金属离子清洗作业并结合回收系统完成去离子初洗液的回 收操作； 抛光液系统执 行抛光作业并结合回收系统完成抛光液的回收操作； 钝化液系统执 行钝化作业并结合回收系统完成钝 化液的回收操作； 螯合剂系统执 行螯合作业并结合回收系统完成螯合剂的回收操作； 纯水系统执 行定量定时的冲洗操作并将 废水排放进污水处 理系统管路； 超纯无水乙醇系统执 行除水作业并结合回收系统完成乙醇的回收、 除水、 提纯操作； 烘干系统在设定的温度下加热工作气并定时长 干燥已完成清洗作业的容器； 回收系统包括回收槽、 安装在回收槽中的回收液位计， 回收槽连接有放空电磁阀和回 收管路， 回收管路上设有回收泵， 回收管路上设有去油脂液回收阀、 去离子初洗液回收阀、 抛光液回收阀、 钝 化液回收阀、 螯合剂回收阀、 乙醇回收阀。 2.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 容器翻 转系统包括 容器翻转机、 夹紧装置、 脚叉、 喷洒升高限位 导轨、 容器升高导轨 。 3.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 去油脂 液系统包括去油脂液进、 出口电磁阀、 去油脂液增压泵、 去油脂液压力表、 流量调节阀、 去油 脂液加热棒、 去油脂液温度传感器、 去油脂液储罐 液位计。 4.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 去离子 初洗液系统包括去离子初洗液进、 出口电磁阀、 去离子初洗液增压泵、 去离子初洗液压力 表、 流量调节阀、 去离子初洗液加热棒、 去离子初洗液温度传感器、 去离子初洗液储罐液位 计。 5.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 抛光液 系统包括抛光液进、 出口电磁阀、 抛光液增压泵、 抛光液压力表、 流量调节阀、 抛光液加热 棒、 抛光液温度传感器、 抛光液储罐 液位计。 6.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 钝化液 系统包括钝化液进、 出口电磁阀、 钝化液增压泵、 钝化液压力表、 流量调节阀、 钝化液加热 棒、 钝化液温度传感器、 钝 化液储罐 液位计。 7.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 螯合剂 系统包括螯合剂进、 出口电磁阀、 螯合剂增压泵、 螯合剂压力表、 流量调节阀、 螯合剂加热 棒、 螯合剂温度传感器、 螯合剂储罐 液位计。 8.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 纯水系 统包括纯 水电磁阀、 纯 水增压泵、 纯 水压力表和流 量调节阀。 9.根据权利要求1所述的超高纯化学品容器的腔体表面处理系统， 其特征在于， 超纯无 水乙醇系统包括超纯无水乙醇进、 出口电磁阀、 超 纯无水乙醇流量调节阀、 超纯无水乙醇储权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115254726 A 2罐液位计、 乙醇加入电磁阀、 氮气加压电磁阀、 乙醇储罐排气阀、 乙醇纯化器、 乙醇接收罐。 10.一种超高纯电子化学品容器的腔体表面处理方法， 使用权利要求1所述的腔体表面 处理系统来完成， 其特 征在于， 包括以下流 程： ① PLC程序根据设定温度分别开启去油脂液加热棒、 去离子初洗液加热棒、 抛光液加 热棒、 钝化液加热棒、 螯合剂加热棒的加热功能， 并根据去油脂液温度传感器、 去离子初洗 液温度传感器、 抛光液温度传感器、 钝化液温度传感器、 螯合剂温度传感器的信号反馈进 行 自动控温； ②PLC通过容器翻转系统辑实现容器夹紧、 升高、 翻转的自动化操作； ③当容器翻转完成， PLC开启去油脂液增压泵、 去油脂液进、 出口电磁阀， 并开始计时； 当回收系统液位计显示超液位时， PLC开启回收泵和回收电磁 阀将去油脂液回收至低 液位后， 关闭回收泵和回收电磁阀； ④当去油脂液喷淋完成时， PLC关闭去油脂液增压泵和进出口电磁阀、 去油脂液加热 棒、 去油脂液温度传感器， 并开启回收泵和回收电磁阀回收去油脂液， 当液位计显示为 “0” 时， PLC关闭回收泵、 回收电磁阀， 开启去离 子初洗液增压泵和进出口电磁阀， 并开始计时； ⑤当回收系统液位计显示超液位时， PLC开启回收泵和回收电磁 阀完成去离子初洗液 的回收到低液位后， 关闭回收泵、 回收电磁阀； ⑥当去离子初洗液喷淋完成， PLC关闭去离子初洗液增压泵和进出口电磁阀、 去离子初 洗液加热棒、 去离子初洗液温度传感器， 当液位计显示为 “0”时， PLC关闭回收泵、 回收电磁 阀， 开启抛光液增压泵、 抛光液进出口电磁阀， 并开始计时； ⑦当回收系统液位计显示到超液位时， PLC开启回收泵、 回收电磁阀完成抛光液的回收 至低液位后关闭回收泵、 回收电磁阀； ⑧当抛光液喷淋时长结束， PLC关闭钝化液增压泵、 钝化液进出口电磁 阀、 钝化液加热 棒、 钝化液温度传感器， 当液位计显示为 “0”时， PLC关闭回收泵、 回收电磁阀， 开启钝化液增 压泵、 钝化液进出口电磁阀， 并开始计时； ⑨当回收系统液位计显示超液位 时， PLC开启回收泵、 钝化液回收电磁阀完成钝化液的 回收至低液位后， 关闭回收泵、 回收电磁阀； ⑩当钝化液喷淋时长结束， PLC关闭钝化液增压泵、 钝化液进出口电磁 阀、 钝化液加热 棒、 钝化液温度传感器， 当液位计显示为 “0”时， PLC关闭收泵、 回收电磁阀， 开启螯合剂增压 泵、 螯合剂进出口电磁阀， 并开始计时； ⑪当回收系统液位计显示超液位 时， PLC开启回收泵、 回收电磁阀完成螯合剂的回收至 低液位后， 关闭回收泵、 回收电磁阀； ⑫当螯合剂喷淋完成， PLC关闭螯合剂增压泵、 螯合剂进出口电磁阀、 螯合剂加热棒、 螯 合剂温度传感器， 当液位计显示为 “0”时， PLC关闭回收泵、 回收电磁阀， 开启纯水增压泵、 纯 水进、 出口电磁阀、 放空电磁阀， 并开始计时； ⑬当纯水喷洗时长结束且液位计显示为 “0”时， PLC关闭放空阀、 纯水增压泵、 纯水进、 出口电磁阀， 开启超纯 无水乙醇进、 出口电磁阀和氮气增压阀， PLC开始计时； ⑭当回收系统液位计显示到超液位时， PLC开启回收泵、 回收电磁阀、 纯化器排气电磁 阀回收至低液位后， 关闭回收泵、 回收电磁阀、 纯化器排气电磁阀； ⑮当超纯无水乙醇喷洗完成， PLC关闭超纯无水乙醇进、 出口电磁阀和氮气增压阀， 并权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115254726 A 3