(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210724297.0 (22)申请日 2022.06.23 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区康桥 东路298 号1幢1060室 (72)发明人 施政铭　 (74)专利代理 机构 上海浦一知识产权代理有限 公司 3121 1 专利代理师 郭四华 (51)Int.Cl. H01L 21/677(2006.01) B01D 46/62(2022.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 具有吹扫功能的 晶圆盒及吹扫方法 (57)摘要 本发明公开了一种具有吹扫功能的晶圆盒 包括： 盒体， 具有前侧开口和背侧板； 盒门， 用于 打开和闭合前侧开口； 盒门采用从盒体的底部向 上移动方式打开， 打开时外部气体会从前侧开口 吹入到盒体内部， 从底部到顶部外部气体的气流 量会逐渐降低。 在盒体的背侧板的内侧设置有吹 气装置， 吹气 装置沿从背侧板到前侧开口的方向 上吹内部气体， 从底部到顶部的方向上内部气体 的气流量逐渐降低大于等于相同纵向位置处的 外部气体的气流量。 本发明能防止外部气体在盒 体内形成非均匀气流并从防止非均匀气流对晶 圆表面产生损伤； 能防止内部气体的微小颗粒杂 质进入到盒体的内部环境中并从而防止对晶圆 表面产生颗粒污染。 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 CN 115172236 A 2022.10.11 CN 115172236 A 1.一种具有吹扫功能的 晶圆盒， 其特 征在于， 包括： 盒体， 具有前侧开口和背侧板； 所述前侧开口为晶圆传输通道； 盒门， 用于打开和闭合所述前侧开口； 当所述盒门处于闭合状态时， 所述盒门将所述前 侧开口闭合从而实现将所述盒体密封； 当所述盒门处于打开状态 时， 所述盒门将所述前侧 开口打开从而形成所述晶圆传输通道； 所述盒门采用从所述盒体的底部向上移动方式打开， 所述盒 门打开时所述盒体外部的 外部气体会从所述前侧开口吹入到所述盒体内部， 在从所述盒体的底部到顶部的方向上所 述外部气体的气流 量会逐渐降低； 在所述盒体的背侧板的内侧设置有吹气装置， 所述吹气装置沿从所述背侧板到所述前 侧开口的方向上吹内部气体， 在从所述盒体的底部到顶部的方向上所述内部气 体的气流量 逐渐降低， 且在所述盒体的各纵向位置处所述内部气体的气流量大于等于所述外部气 体的 气流量， 使在所述盒体的各纵向位置处的气流都为由所述内部气体形成的均匀气流， 防止 所述外部气体的非均匀气流在晶圆表面产生损伤。 2.如权利要求1所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述吹气装置包括一个以 上的吹气管， 在沿所述盒体的底部到顶部的方向上， 所述吹气管上设置有多个吹气孔， 所述 内部气体从所述吹气孔吹出； 通过调节所述吹气孔的大小调节所述内部气体的气流量， 所 述吹气孔越大所吹出的所述内部气 体的气流量越大， 所述吹气孔越小 所吹出的所述内部气 体的气流量越小， 在从所述 盒体的底部到顶部的方向上， 所述吹气孔的大小逐渐减少， 使 所 述内部气体的气流 量逐渐降低。 3.如权利要求2所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述吹气装置包括两个所 述吹气管， 两个所述吹气管 竖直放置在所述盒体的背侧板的内侧的左右两侧。 4.如权利要求3所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 各所述吹气管内部设置有 和所述吹气孔数量相同的通气支管， 各所述通气支管都和对应的一个所述吹气孔连接并为 所连接的所述吹气孔 提供所述内部气体。 5.如权利要求4所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所有的所述通气支管都连 接到同一根所述通气主管， 所述内部气体通过 所述通气主管流入到各 所述通气支管。 6.如权利要求5所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 在所述通气主管上设置有 气体微粒控制器， 用于对所述内部气体进行第一次过 滤， 以去除所述内部气体中的微粒。 7.如权利要求6所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 在各所述吹气孔处设置有 纳米微粒过滤结构， 用于对所述内部气体进行第二次过滤， 以保证进入到所述盒体内部的 所述内部气体为 微粒。 8.如权利要求5所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述内部气体包括XCDA、 CDA或惰性气体。 9.如权利要求3所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 在从所述盒体的底部到顶 部的方向上， 在所述盒体内设置有 多个晶圆放置 槽， 用于放置晶圆。 10.如权利要求9所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 在所述盒体的左侧板上 设置有多个左侧狭槽， 在所述盒体的右侧板上设置有 多个右侧狭槽； 各所述晶圆放置 槽由相同的纵向位置的所述左侧狭槽和所述右侧狭槽组成。 11.如权利要求10所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述晶圆放置槽的数量权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115172236 A 2为25个。 12.如权利要求11所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 各所述吹气管上设置的 所述吹气孔的数量大于等于25个。 13.如权利要求6所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述通气主管穿过所述 盒体的底部 板从所述盒体外 部进入到所述盒体内部 。 14.如权利要求13所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述气体微粒控制器设 置埃所述盒体的底部 板上。 15.如权利要求13所述的具有吹扫功能的晶圆盒， 其特征在于： 所述吹气孔的大小为固 定设置； 或者， 所述吹气孔的大小通过阀门控制， 通过调节所述阀门调节所述吹气孔的大 小。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115172236 A 3