(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123167848.8 (22)申请日 2021.12.16 (73)专利权人 芯越微电子材 料 （嘉兴） 有限公司 地址 314000 浙江省嘉兴 市平湖市钟埭街 道新明路901号3号楼 (72)发明人 於婷　张磊　孙炳良　刘素华　 贾亚军　张悦　 (51)Int.Cl. B65B 3/04(2006.01) B65B 3/28(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 35/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体用湿电子化学品罐装平台 (57)摘要 本实用新型属于罐装平台技术领域， 尤其是 一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 针对目前 市面上没有合适的罐装辅助设备， 采用人工拿着 管道罐装， 效率低的问题， 现提出如下方案， 其包 括罐浆平台， 所述罐浆平台上设有滤网， 罐浆平 台的底部固定连通有废料池， 罐浆平台上设有进 料管， 进料管上连接有计量泵和出料阀， 且进料 管的一端设有出料口， 出料口位于滤网的上方， 废料池的底部设有排污机构。 本实用新型提高了 罐装效率， 降低了工人的劳动强度， 提高了安全 系数， 降低了被伤害和污染环境的风险， 移动方 便。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 216509258 U 2022.05.13 CN 216509258 U 1.一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 包括罐浆平台(5)， 其特征在于， 所述罐浆平 台(5)上设有滤网(6)， 罐浆平台(5)的底部固定连通有废料池(4)， 罐浆平台(5)上设有进料 管(2)， 进料管(2)上连接有计量泵(3)和出料阀(7)， 且进料管(2)的一端设有出料口(8)， 出 料口(8)位于滤网(6)的上 方， 废料池(4)的底部设有排污 机构。 2.根据权利要求1所述的一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 其特征在于， 所述罐浆 平台(5)的底部固定安装有 多个支撑腿， 多个支撑腿的底部均安装有万向轮(1)。 3.根据权利要求1所述的一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 其特征在于， 所述排污 机构包括与废料池(4)底部固定连通的排污管， 排污管 上设有排污阀(9)。 4.根据权利要求1所述的一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 其特征在于， 所述罐浆 平台(5)的顶部固定安装有支 架， 进料管(2)的外侧与支 架固定连接 。 5.根据权利要求4所述的一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 其特征在于， 所述支架 上固定安装有 套管， 进料 管(2)的外侧与套管的内壁接触。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216509258 U 2一种半导体用湿电子 化学品罐装平台 技术领域 [0001]本实用新型涉及罐装平台技术领域， 尤其涉及一种半导体用湿电子化学品罐装平 台。 背景技术 [0002]半导体的湿电子化学 品的生产 采用的是小批量多批次， 罐装规格从500ml到20L都 有。 [0003]目前市面上没有合适的罐装辅助设备， 采用人工拿着管道罐装， 效率低， 因此我们 提出了一种半导体用湿电子化学品罐装平台， 用来 解决上述问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决目前市面上没有合适的罐装辅助设备， 采用人工拿 着管道罐装， 效率低的缺 点， 而提出的一种半导体用湿电子化学品罐装平台。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种半导体用湿电子化学 品罐装平台， 包括罐浆平台， 所述罐浆平台上设有滤网， 罐浆平台的底部固定连通有废料池， 罐浆平台上设有进料管， 进料管上连接有计量泵和出 料阀， 且进料 管的一端设有出 料口， 出料口位于滤网的上 方， 废料池的底部设有排污 机构。 [0007]优选的， 所述罐浆平台的底部固定安装有多个支撑腿， 多个支撑腿的底部均安装 有万向轮。 [0008]优选的， 所述排污机构包括与废料池底部固定连通的排污管， 排污管上设有排污 阀。 [0009]优选的， 所述罐浆平台的顶部固定安装有支 架， 进料管的外侧与支 架固定连接 。 [0010]优选的， 所述支 架上固定安装有 套管， 进料 管的外侧与套管的内壁接触。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的优点在于： [0012]采用计量泵控制重量， 重量到 了会自动停止， 罐装效率 提高了； [0013]平台配置有出 料口夹持的装置， 不需要人工拿住管道， 降低了 工人的劳动强度； [0014]湿电子化学品均有一定的腐蚀性， 设计了废料池， 防止液体洒到外面， 无论对罐装 工人或是环境， 提高了安全系数， 降低了被伤害和污染环境的风险； [0015]底部配置有万向轮， 移动方便， 可以根据需要移至不同的罐装区间使用； [0016]本实用新型提高了罐装效率， 降低了工人的劳动强度， 提高了安全系数， 降低了被 伤害和污染环境的风险， 移动方便 。 附图说明 [0017]图1为本实用新型提出的一种半导体用湿电子化学品罐装平台的结构示 意图。 [0018]图中： 1、 万向轮； 2、 进料管； 3、 计量泵； 4、 废料池； 5、 罐浆平台； 6、 滤网； 7、 出料阀； 8、 出料口； 9、 排污阀。说　明　书 1/2 页 3 CN 216509258 U 3