(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123049354.X (22)申请日 2021.12.0 6 (73)专利权人 无锡恒大电子科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市 建筑西路59 9-1 （1号楼） 十九楼1918室 (72)发明人 唐蓉　吴汉涛　薛映栋　 (74)专利代理 机构 无锡风创知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32461 专利代理师 邱国栋 (51)Int.Cl. F16K 15/03(2006.01) F16L 55/00(2006.01) B01D 35/02(2006.01) B01D 29/03(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输 送装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种基于微电子半导体 酸洗用有害液体输送装置， 包括回水箱本体、 进 水管、 出水管、 滤板、 盖板、 密封垫一、 L形杆、 阻回 板， 所述回水箱本体内壁的左侧连通有进水管， 所述进水管的左侧贯穿至回水箱本体的左侧， 所 述回水箱本体内壁的右侧连通有出水管， 所述出 水管的右侧贯穿至回水箱本体的右侧。 通过设置 回水箱本体、 进水管、 出水管、 滤板、 盖板、 密封垫 一、 L形杆、 阻回板、 搭钩、 搭扣、 握把、 防滑纹和密 封垫二， 解决了现有的管道不具备防回流的功 能， 在输送有害液体的时候， 由于处理装置的水 平面高度高于酸洗池的水平面高度， 从而导致有 害液体会回流入酸洗池内， 导致有害液体对酸洗 池进行二次污染的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216951824 U 2022.07.12 CN 216951824 U 1.一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输送装置， 其特征在于： 包括回水箱本体 (1)、 进水 管(2)、 出 水管(3)、 滤板(4)、 盖 板(5)、 密封 垫一(6)、 L形 杆(7)、 阻回板(8)； 所述回水箱本体(1)内壁的左侧连通有进水管(2)， 所述进水管(2)的左侧贯穿至回水 箱本体(1)的左侧， 所述回水箱本体(1)内壁的右侧连通有出水管(3)， 所述出水管(3)的右 侧贯穿至回水箱本体(1)的右侧， 所述出 水管(3)的内壁设置有滤板(4)； 所述回水箱本体(1)的顶部设置有盖板(5)， 所述盖板(5)的底部设置有与回水箱本体 (1)配合使用的密封垫一(6)， 所述盖板(5)的底部通过销轴活动连接有L形杆(7)， 所述L形 杆(7)的左侧且位于进水 管(2)的右侧固定连接有阻回板(8)。 2.根据权利要求1所述的一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输送装置， 其特征在 于： 所述盖板(5)的前侧、 后侧、 左侧和右侧均 设置有搭钩(9)， 所述回水箱本体(1)的前侧、 后侧、 左侧 和右侧均设置有与搭钩(9)配合使用的搭扣(10)。 3.根据权利要求1所述的一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输送装置， 其特征在 于： 所述盖 板(5)的顶部固定连接有握把(1 1)， 所述握把(1 1)的形状为U形。 4.根据权利要求3所述的一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输送装置， 其特征在 于： 所述握把(1 1)的表面设置有防滑纹(12)， 所述握把(1 1)的材质为塑料。 5.根据权利要求1所述的一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输送装置， 其特征在 于： 所述阻回板(8)的左侧设置有密封 垫二(13)， 所述阻回板(8)的材质为 抗强酸材 料。 6.根据权利要求1所述的一种基于微电子半导体酸洗用有害液体输送装置， 其特征在 于： 所述滤板(4)的材质为 抗腐蚀金属， 所述滤板(4)的表面设置有防腐涂层。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216951824 U 2一种基于微电子半导体酸洗用有害液体 输送装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及微电子半导体酸洗技术领域， 具体为一种基于微电子半导体酸洗 用有害液体输送装置 。 背景技术 [0002]利用酸溶液去除钢铁表面上的氧化皮和锈蚀物的方法称为酸洗， 是清洁金属表面 的一种方法， 在电子 半导体生产的过程中， 需要进 行酸洗， 酸洗完成后需要用到输送装置将 有害液体输送至处理装置内， 但是现有的管道不具备防回流的功 能， 在输送有害液体的时 候， 由于处理装置的水平面高度高于酸洗池的水平面高度， 从而导致有害液体会回流入酸 洗池内， 导 致有害液体对酸洗池进行二次污染。 实用新型内容 [0003]为解决上述背景技术中提出的问题， 本实用新型的目的在于提供一种基于微电子 半导体酸洗用有害液体输送装置， 具备具有防回流功能的优点， 解决了现有的管道不具备 防回流的功能， 在输送有害液体的时候， 由于处理装置的水平面高度高于酸洗池的水平面 高度， 从而导 致有害液体会回流入酸洗池内， 导 致有害液体对酸洗池进行二次污染的问题。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种基于微电子半导体酸洗用 有害液体输送装置， 包括回水箱本体、 进水管、 出水管、 滤板、 盖板、 密封垫一、 L形杆、 阻回 板； [0005]所述回水箱本体内壁的左侧连通有进水管， 所述进水管的左侧贯穿至回水箱本体 的左侧， 所述回水箱本体内壁的右侧连通有出水管， 所述出水管 的右侧贯穿至回水箱本体 的右侧， 所述出 水管的内壁设置有滤板； [0006]所述回水箱本体的顶部设置有盖板， 所述盖板的底部设置有与回水箱本体配合使 用的密封垫一， 所述盖板的底部通过销轴活动连接有L形杆， 所述L形杆的左侧且位于进水 管的右侧固定连接有阻回板 。 [0007]作为本实用新型优选的， 所述盖板的前侧、 后侧、 左侧和右侧均设置有搭钩， 所述 回水箱本体的前侧、 后侧、 左侧 和右侧均设置有与搭钩配合使用的搭扣。 [0008]作为本实用新型优选的， 所述盖板的顶部固定连接有握把， 所述握把的形状为U 形。 [0009]作为本实用新型优选的， 所述握把的表面设置有防滑纹， 所述握把的材质为塑料。 [0010]作为本实用新型优选 的， 所述阻回板 的左侧设置有密封垫二， 所述阻回板 的材质 为抗强酸材 料。 [0011]作为本实用新型优选 的， 所述滤板 的材质为抗腐蚀金属， 所述滤板 的表面设置有 防腐涂层。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果如下： [0013]1、 本实用新型通过有害液体通过出水管回流入回水箱本体内， 利用回流时产生的说　明　书 1/3 页 3 CN 216951824 U 3