(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122934685.5 (22)申请日 2021.11.26 (73)专利权人 江苏晶品新能源科技有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮市送桥 镇 天山工业 集中区 (72)发明人 陈春成　戚建静　徐芳　 (74)专利代理 机构 北京科家知识产权代理事务 所(普通合伙) 11427 专利代理师 周瑜 (51)Int.Cl. B28D 5/04(2006.01) B28D 7/02(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 29/58(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片 机 (57)摘要 本实用新型公开了硅片加工技术领域的一 种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 包括 两组平行设置的转棍， 且转棍上饶有金刚线， 所 述金刚线上设有硅柱， 所述金刚线的下方设有接 水框， 所述接水框的外侧壁设有安装板， 且安装 板上安装有竖板， 所述竖板呈竖直方向设置， 且 竖板的内侧面设有若干组喷头， 所述接水框的一 侧设有回流组件， 本实用新型实现了对切割硅片 的冷却散热， 延长了切片机的使用寿命， 且可 以 将接水框内的冷却液送到水箱内进行存储， 可以 回流并二次利用冷却液， 降低了硅片加工的成 本， 实用性 好。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217648717 U 2022.10.25 CN 217648717 U 1.一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 包括两组平行设置的转棍(1)， 且转棍 (1)上饶有金刚线(2)， 其特征在于： 所述金刚线(2)上设有硅柱(4)， 所述金刚线(2)的下方 设有接水框(3)， 所述接水框(3)的外侧壁设有安装板(8)， 且安装板(8)上安装有竖板(5)， 所述竖板(5)呈竖直方向设置， 且竖板(5)的内侧面设有若干组喷头(6)， 所述接水框(3)的 一侧设有回流组件。 2.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 其特征在于： 所 述安装板(8)的外侧设有水箱(7)， 所述水箱(7)的上表 面设有水泵(10)， 且 水泵(10)通过进 水管(11)连通水箱(7)， 所述水泵(10)的出 水口通过 出水管(12)连通喷头(6)。 3.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 其特征在于： 所 述回流组件包括泵体(13)， 所述泵体(13)位于水箱(7)的后侧， 且泵体(13)通过回流管(14) 与水箱(7)连通， 所述泵体(13)通过 水管(15)与接水框(3)连通。 4.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 其特征在于： 所 述接水框(3)呈U字型， 且开口端正对金刚线(2)的下 方。 5.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 其特征在于： 所 述接水框(3)内由上到下依次安装有第二过 滤网(18)、 第一过 滤网(17)。 6.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 其特征在于： 所 述接水框(3)的两侧内壁安装有U型安装座(16)， 相邻所述U型安装座(16)之间依次安装有 第一过滤网(17)、 第二过 滤网(18)。 7.根据权利要求6所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 其特征在于： 所 述U型安装座(16)的内壁嵌入式设有交错分布的纹路。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217648717 U 2一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机 技术领域 [0001]本实用新型涉及硅片加工技术领域， 具体为一种基于金刚线快速切割的单晶硅片 切片机。 背景技术 [0002]金钢线切片机采用金 刚石线单向循环或往复循环运动的方式， 使金刚石线与被切 割物件间形成相对的磨削运动， 从而实现切割的目的， 金钢线切片机广泛用于单 晶硅片的 切割。 由于金钢线的高速运动， 其在切割时会产生大量的热， 因此在切割时需要使用冷却液 对金钢线进 行冷却， 但是现有的切片 机在切割时， 没有对冷却液进 行回收， 进而浪费了冷却 液， 增加了硅片切割的成本， 实用性差， 为此， 我们提出一种基于金刚线快速切割的单 晶硅 片切片机 。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 以解决 上述背景技 术中提出的无法回收冷却液的问题。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0005]一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机， 包括两组平行设置的转棍， 且转棍 上饶有金刚线， 所述金刚线 上设有硅柱， 所述金刚线的下方设有接水框， 所述接水框的外侧 壁设有安装板， 且安装板上安装有 竖板， 所述竖板呈竖直方向设置， 且竖板的内侧面设有若 干组喷头， 所述接水框的一侧设有回流组件。 [0006]进一步的： 所述安装板的外侧设有水箱， 所述水箱的上表面设有水泵， 且水泵通过 进水管连通水箱， 所述水泵的出 水口通过 出水管连通喷头 。 [0007]进一步的： 所述回流组件包括泵体， 所述泵体位于水箱的后侧， 且泵体通过回流管 与水箱连通， 所述泵体通过 水管与接水框连通。 [0008]进一步的： 所述接水框呈U字型， 且开口端正对金刚线的下 方。 [0009]进一步的： 所述接水框内由上到下依次安装有第二过 滤网、 第一过 滤网。 [0010]进一步的： 所述接水框 的两侧内壁安装有U型安装座， 相邻所述U型安装座之间依 次安装有第一过 滤网、 第二过 滤网。 [0011]进一步的： 所述U型安装座的内壁嵌入式设有交错分布的纹路。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0013]1、 本实用新型通过水泵将水箱内的冷却液送到喷头内， 实现对切割硅片的冷却散 热， 延长了切片 机的使用寿命， 且通过泵体可以将接水框内的冷却液送到水箱内进 行存储， 可以回流并二次利用冷却液， 降低了 硅片加工的成本， 实用性 好。 [0014]2、 位于接水框内的第一过滤网和第二过滤 网可以过滤回流的冷却液中的杂质， 避 免回流液中的杂质二次使用时出现堵塞的情况， 且第一过滤网和第二过滤网通过U型安装 座安装的， 方便第一过 滤网和第二过 滤网的拆装更 换， 使用效果 好。说　明　书 1/3 页 3 CN 217648717 U 3