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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221495423.1 (22)申请日 2022.06.13 (73)专利权人 合肥图迅电子科技有限公司 地址 230000 安徽省合肥市高新区望江西 路800号创新产业园一期C4栋 5层 (72)发明人 许进 张祥明 刘圣祥 鲁华武  (74)专利代理 机构 安徽知问律师事务所 34134 专利代理师 王亚军 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 一种塑封胶体表面 缺陷检测装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种塑封胶体表面缺陷检 测装置, 属于表面缺陷检测领域, 包括用于产生 成像检测的同轴光线的同轴光源组件; 用于将所 述同轴光源组件产生的同轴光线至少部分发射 至待检测物体的周侧面, 并接受周侧面发射回的 同轴光线, 进行再反射的侧面光反射组件; 用于 将待检测物体下表面发射的同轴光线, 以及侧面 光反射组件再反射的待检测物体侧面发射光线 反射至成像组件的分光组件; 用于接收来自所述 分光组件的反射光线, 并进行成像的成像组件。 本实用新型通过同轴光源组件直接照亮检测待 检测物体的下表面, 同时通过侧面光反射组件的 设置照亮待检测物体的周侧面, 同时对待检测物 体的下表 面和周侧面进行成像检测, 大大提升了 检测效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217688518 U 2022.10.28 CN 217688518 U 1.一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 用于对待检测物体(2)的下表面(201)和周侧面 (202)进行成像 检测; 其特 征在于, 包括: 同轴光源组件(1), 用于产生成像 检测的同轴光线; 侧面光反射组件(3), 用于将所述同轴光源组件(1)产生的同轴光线至少部分发射至待 检测物体(2)的周侧面(202), 并接受周侧面(202)发射回的同轴光线, 进行 再反射; 分光组件(4), 用于将待检测物体(2)下表面发射的同轴光线, 以及侧面光反射组件(3) 再反射的待检测物体(2)侧面发射 光线反射至成像组件(5); 成像组件(5), 用于接收来自所述分光组件(4)的反射光线, 并进行成像, 形成待检测物 体(2)的下表面(201)和周侧面(202)的平面成像。 2.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述同轴光源 组件(1)包括 LED光源(101), 以及设置在LED光源(101)的光线路径上的偏光膜(102)。 3.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述同轴光源 组件(1)包括LED光源(101), 设置在LED光源(101)的光线反射路径上的散光板(103), 以及 设置在散光板(10 3)上面的偏光膜(102)。 4.根据权利要求2或3所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述侧面 光反射组件(3)包括套设在所述待检测物体(2)置物 位置处的镜座(301), 镜座(301)中部具 有光线通道(302), 光线通道(302)的断截面和所述待检测物体(2)的下表面(201)的形状相 匹配; 所述镜座(301)朝向同轴光源组件(1)一侧设置有和待检测物体(2)的周侧面(202)相 对应的倾 斜面, 倾斜面上设置有反射镜(3 03)。 5.根据权利要求4所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述反射镜 (303)的镜面上镀有保护层。 6.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述分光组件 (4)输送的反射 光线的方向垂直于所述同轴光源组件(1)输出光线的方向。 7.根据权利要求6所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述成像组件 (5)包括用于接收来自所述分光组件(4)的反射光线的相机(501), 相机(501)之前设置有和 相机(501)搭配采集图像的远心镜 头(502)。 8.根据权利要求7所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述相机 (501)侧面设置有DB头固定 板(6)。 9.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述待检测物 体(2)周侧设置有四面 光源, 用于照亮待检测物体(2)的周侧。 10.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述待检测 物体(2)背离同轴光源组件(1)的一侧设置有 背光源(7)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217688518 U 2一种塑封胶体表面缺陷检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及表面缺陷检测领域, 具体地说, 涉及一种 塑封胶体表面缺陷检测 装置。 背景技术 [0002]伴随着科学技术的快速发展, 在工业生产 中对加工产品的要求越来越高, 企业和 用户对产品表面质量的要求也越来越严格。 因此在实际的工业生产中, 在加工完成产品之 后, 还会对产品的表面质量缺陷进 行检测, 其主要 是通过先进的机器视觉检测技术, 对工件 产品表面的斑点、 凹坑、 划痕、 色差、 缺损等 缺陷进行检测。 [0003]在现有的检测设备中, 通常一次检测过程只能对产品的一个表面进行照亮成像, 如需检测产品的多个面, 则需要多次调整产品的位置, 不利于检测效率的提高和检测精准 度的控制。 实用新型内容 [0004]1、 要解决的问题 [0005]针对现有技术中针对半导体芯片塑封胶体表面检测其完整性时, 检测设备一次只 能检测产品一个面, 检测效率较低的问题, 本实用新型提供一种塑封胶体表面缺陷检测装 置, 能够同时对产品的多个面进行检测, 提高了检测效率和精准度。 [0006]2、 技术方案 [0007]为解决上述问题, 本实用新型采用如下的技 术方案。 [0008]一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 用于对待检测物体的下表面和周侧面进行成像 检测; 包括: [0009]同轴光源组件, 用于产生成像 检测的同轴光线; [0010]侧面光反射组件, 用于将所述同轴光源组件产生的同轴光线至少部分发射至待检 测物体的周侧面, 并接受周侧面发射回的同轴光线, 进行 再反射; [0011]分光组件, 用于将待检测物体下表面发射的同轴光线, 以及侧面光反射组件再反 射的待检测物体侧面发射 光线反射至成像组件; [0012]成像组件, 用于接收来自所述分光组件的反射光线, 并进行成像, 形成待检测物体 的下表面和周侧面的平面成像。 [0013]优选地, 所述同轴光源组件包括LED光源, 以及设置在LED光源的光线路径上的偏 光膜。 [0014]优选地, 所述同轴光源组件包括LED光源, 设置在LED光源的光线反射路径上的散 光板, 以及设置在散光板上面的偏光膜。 [0015]优选地, 所述侧面光反射组件包括套设在所述待检测物体置物位置处的镜座, 镜 座中部具有光线通道, 光线通道的断截面和所述待检测物体的下表面的形状相匹配; 所述 镜座朝向 同轴光源组件一侧设置有和待检测物体的周侧面相对应的倾斜面, 倾斜面上设置说 明 书 1/4 页 3 CN 217688518 U 3

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