(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告 号
(45)授权公告日
(21)申请 号 202221495423.1
(22)申请日 2022.06.13
(73)专利权人 合肥图迅电子科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市高新区望江西
路800号创新产业园一期C4栋 5层
(72)发明人 许进 张祥明 刘圣祥 鲁华武
(74)专利代理 机构 安徽知问律师事务所 34134
专利代理师 王亚军
(51)Int.Cl.
G01N 21/01(2006.01)
G01N 21/95(2006.01)
(54)实用新型名称
一种塑封胶体表面 缺陷检测装置
(57)摘要
本实用新型涉及一种塑封胶体表面缺陷检
测装置, 属于表面缺陷检测领域, 包括用于产生
成像检测的同轴光线的同轴光源组件; 用于将所
述同轴光源组件产生的同轴光线至少部分发射
至待检测物体的周侧面, 并接受周侧面发射回的
同轴光线, 进行再反射的侧面光反射组件; 用于
将待检测物体下表面发射的同轴光线, 以及侧面
光反射组件再反射的待检测物体侧面发射光线
反射至成像组件的分光组件; 用于接收来自所述
分光组件的反射光线, 并进行成像的成像组件。
本实用新型通过同轴光源组件直接照亮检测待
检测物体的下表面, 同时通过侧面光反射组件的
设置照亮待检测物体的周侧面, 同时对待检测物
体的下表 面和周侧面进行成像检测, 大大提升了
检测效率。
权利要求书1页 说明书4页 附图4页
CN 217688518 U
2022.10.28
CN 217688518 U
1.一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 用于对待检测物体(2)的下表面(201)和周侧面
(202)进行成像 检测; 其特 征在于, 包括:
同轴光源组件(1), 用于产生成像 检测的同轴光线;
侧面光反射组件(3), 用于将所述同轴光源组件(1)产生的同轴光线至少部分发射至待
检测物体(2)的周侧面(202), 并接受周侧面(202)发射回的同轴光线, 进行 再反射;
分光组件(4), 用于将待检测物体(2)下表面发射的同轴光线, 以及侧面光反射组件(3)
再反射的待检测物体(2)侧面发射 光线反射至成像组件(5);
成像组件(5), 用于接收来自所述分光组件(4)的反射光线, 并进行成像, 形成待检测物
体(2)的下表面(201)和周侧面(202)的平面成像。
2.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述同轴光源
组件(1)包括 LED光源(101), 以及设置在LED光源(101)的光线路径上的偏光膜(102)。
3.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述同轴光源
组件(1)包括LED光源(101), 设置在LED光源(101)的光线反射路径上的散光板(103), 以及
设置在散光板(10 3)上面的偏光膜(102)。
4.根据权利要求2或3所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述侧面
光反射组件(3)包括套设在所述待检测物体(2)置物 位置处的镜座(301), 镜座(301)中部具
有光线通道(302), 光线通道(302)的断截面和所述待检测物体(2)的下表面(201)的形状相
匹配; 所述镜座(301)朝向同轴光源组件(1)一侧设置有和待检测物体(2)的周侧面(202)相
对应的倾 斜面, 倾斜面上设置有反射镜(3 03)。
5.根据权利要求4所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述反射镜
(303)的镜面上镀有保护层。
6.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述分光组件
(4)输送的反射 光线的方向垂直于所述同轴光源组件(1)输出光线的方向。
7.根据权利要求6所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述成像组件
(5)包括用于接收来自所述分光组件(4)的反射光线的相机(501), 相机(501)之前设置有和
相机(501)搭配采集图像的远心镜 头(502)。
8.根据权利要求7所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述相机
(501)侧面设置有DB头固定 板(6)。
9.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述待检测物
体(2)周侧设置有四面 光源, 用于照亮待检测物体(2)的周侧。
10.根据权利要求1所述的一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 其特征在于: 所述待检测
物体(2)背离同轴光源组件(1)的一侧设置有 背光源(7)。权 利 要 求 书 1/1 页
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2一种塑封胶体表面缺陷检测装 置
技术领域
[0001]本实用新型涉及表面缺陷检测领域, 具体地说, 涉及一种 塑封胶体表面缺陷检测
装置。
背景技术
[0002]伴随着科学技术的快速发展, 在工业生产 中对加工产品的要求越来越高, 企业和
用户对产品表面质量的要求也越来越严格。 因此在实际的工业生产中, 在加工完成产品之
后, 还会对产品的表面质量缺陷进 行检测, 其主要 是通过先进的机器视觉检测技术, 对工件
产品表面的斑点、 凹坑、 划痕、 色差、 缺损等 缺陷进行检测。
[0003]在现有的检测设备中, 通常一次检测过程只能对产品的一个表面进行照亮成像,
如需检测产品的多个面, 则需要多次调整产品的位置, 不利于检测效率的提高和检测精准
度的控制。
实用新型内容
[0004]1、 要解决的问题
[0005]针对现有技术中针对半导体芯片塑封胶体表面检测其完整性时, 检测设备一次只
能检测产品一个面, 检测效率较低的问题, 本实用新型提供一种塑封胶体表面缺陷检测装
置, 能够同时对产品的多个面进行检测, 提高了检测效率和精准度。
[0006]2、 技术方案
[0007]为解决上述问题, 本实用新型采用如下的技 术方案。
[0008]一种塑封胶体表面缺陷检测装置, 用于对待检测物体的下表面和周侧面进行成像
检测; 包括:
[0009]同轴光源组件, 用于产生成像 检测的同轴光线;
[0010]侧面光反射组件, 用于将所述同轴光源组件产生的同轴光线至少部分发射至待检
测物体的周侧面, 并接受周侧面发射回的同轴光线, 进行 再反射;
[0011]分光组件, 用于将待检测物体下表面发射的同轴光线, 以及侧面光反射组件再反
射的待检测物体侧面发射 光线反射至成像组件;
[0012]成像组件, 用于接收来自所述分光组件的反射光线, 并进行成像, 形成待检测物体
的下表面和周侧面的平面成像。
[0013]优选地, 所述同轴光源组件包括LED光源, 以及设置在LED光源的光线路径上的偏
光膜。
[0014]优选地, 所述同轴光源组件包括LED光源, 设置在LED光源的光线反射路径上的散
光板, 以及设置在散光板上面的偏光膜。
[0015]优选地, 所述侧面光反射组件包括套设在所述待检测物体置物位置处的镜座, 镜
座中部具有光线通道, 光线通道的断截面和所述待检测物体的下表面的形状相匹配; 所述
镜座朝向 同轴光源组件一侧设置有和待检测物体的周侧面相对应的倾斜面, 倾斜面上设置说 明 书 1/4 页
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专利 一种塑封胶体表面缺陷检测装置
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