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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221954024.7 (22)申请日 2022.07.27 (73)专利权人 湖北众韦光电科技有限公司 地址 430074 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区关东园路2-2号光谷国际商会大 厦1栋A座7层6号 (自贸区武汉片区) (72)发明人 韩世玉 戴宏伟 李森 韩洪良  (74)专利代理 机构 湖北创融蓝图知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 42276 专利代理师 羊淑梅 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种多功能微区光学测量装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种多功能微区光学测量 装置, 包括底板、 支撑外壳、 照明及出射/入射模 块、 特殊光学测量功能模块和电路控制模块; 所 述底板上固定有支撑外壳, 所述支撑外壳的顶部 装配有照明及出射/入射模块, 所述照明及出射/ 入射模块的顶部放置有特殊光学测量功能模块, 所述底板的顶部左侧还固定有电路控制模块。 该 多功能微区光学测量装置, 照明及出射/入射模 块上方可以依次放置一个或多个特殊光学功能 模块, 每个模块可分别具有反射光谱、 透射光谱、 光致发光谱、 荧光寿命光谱、 角分辨光谱、 瞬态发 光谱、 瞬态吸收、 拉曼光谱、 二次谐波、 光克尔效 应、 磁光克尔效应、 光电导等测量功能中的一种 多种, 不同特殊 光学功能模块的位置可以互换。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217878870 U 2022.11.22 CN 217878870 U 1.一种多功能微区光学测量装置, 包括底板(1)、 支撑外壳(2)、 照 明及出射/入射模块 (4)、 特殊 光学测量功能模块(5)和电路控制模块(9), 其特 征在于: 所述底板(1)上固定有支撑外壳(2), 所述支撑外壳(2)的顶部装配有照明及出射/入射 模块(4), 所述照明及出射/入射模块(4)的顶部放置有特殊光学测量功能模块(5), 所述底 板(1)的顶部左侧还固定有电路控制模块(9); 所述底板(1)上安装有样品台底座(6), 所述样品台底座(6)上安装有样品台(7), 所述 样品台(7)上方可装配样品腔体(8), 所述照明及出射/入射模块(4)上留有通光孔(10), 所 述照明及出射/入射模块(4)的底部固定有物镜及物镜转盘(3)。 2.根据权利要求1所述的一种多功能微区光学测量装置, 其特征在于: 所述照明及出 射/入射模块(4)包括照明光源耦合模块(11)、 第一反射镜(12)、 第一分束镜(13)、 成像相机 (14)、 第二反射镜(15)、 偏振元件(16)、 第二分束镜(17)、 功率调节元件(18)、 激发光源 (19)、 第三反射镜(20)和收集 光耦合模块(21)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217878870 U 2一种多功能微区光学测量装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及微区光学测量 技术领域, 具体为 一种多功能微区光学测量装置 。 背景技术 [0002]微区光学测量装置是一类用来观测横向尺寸在几百纳米到几百微米范围内的光 学测量系统。 它通常由光学显微成像功 能单元和特殊光学测量功 能单元等部分组成。 光学 显微成像功能单元主要用来 实时显示被测物体的光学形貌, 可以通过肉眼直接观测或者通 过电荷耦合器件(CCD)在计算机上显示。 特殊光学测量功能单元包括双光子荧光测量单元, 拉曼光谱测量、 光电导、 非线性光学、 超快光学测量功能单元等。 目前用于光学成像的设备 主要包括各类光学显微镜, 其中奥林巴斯和 蔡司生产的光学显微镜已成功应用于各个行 业。 特殊光学测量功 能单元一般由设备生产厂商根据用户需求定制, 或者用户在商用显微 镜框架上进行自主搭建。 市场上应用最多的带有 特殊光学测量功能单元主要有双光子荧光 光谱仪和拉曼光谱仪, 他们都是根据各自测量测量和光学显微成像功能单元进行了紧密集 成设计, 彼此不具有兼容 性。 [0003]近年来, 二维材料及其异质结器件的发展对微区光学测量装置的功能及性能提出 了更高的要求。 在测量功能方面, 除了要求微区光学测量系统 能够观测微米尺度大小、 纳米 厚度材料和器件外, 同时还需具备反射光谱、 透射光谱、 光致 发光谱、 荧光寿命光谱、 角分辨 光谱、 瞬态发光谱、 瞬态吸收、 拉曼光谱、 二次谐波、 光克尔效应、 磁光克尔效应、 光电导等测 量功能中的一种多种。 目前如果市场产品的解决方案是为每一种(或几种)测量功能单元配 备独立的显微镜及相关配套测量设备。 实用新型内容 [0004](一)解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足, 本实用新型提供了一种多功能微区光学测量装置, 具备测 量功能范围大、 通用性好和方便加装低温测试设备的优点, 解决了测量功能范围小, 且无法 更换, 通用性较差; 不具有散热功能的问题。 [0006](二)技术方案 [0007]为实现上述目的, 本 实用新型提供如下技术方案: 一种多功能微区光学测量装置, 包括底板、 支撑 外壳、 照明及出射/入射模块、 特殊 光学测量功能模块和电路控制模块; [0008]所述底板上固定有支撑外壳, 所述支撑外壳的顶部装配有照明及出射/入射模块, 所述照明及出射/入射模块的顶部放置有特殊光学测 量功能模块, 所述底板的顶部左侧还 固定有电路控制模块; [0009]所述底板上安装有样品台底座, 所述样品台底座上安装有样品台, 所述样品台上 方可装配样品腔体, 所述照明及出射/入射模块上留有通光孔, 所述照明及出射/入射模块 的底部固定有物镜及物镜转盘。 [0010]进一步, 所述照明及出射/入射模块包括照明光源耦合模块、 第一反射镜、 第一分说 明 书 1/4 页 3 CN 217878870 U 3

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