(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221571386.8 (22)申请日 2022.06.22 (73)专利权人 四川见微知著科技有限公司 地址 610097 四川省成 都市高新区新 航路4 号307室 (72)发明人 胡旻　唐福　 (74)专利代理 机构 成都云纵知识产权代理事务 所(普通合伙) 51316 专利代理师 刘沙粒　伍星 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/3581(2014.01) G02B 21/00(2006.01) G02B 21/24(2006.01) G02B 21/04(2006.01)G02B 17/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种太赫兹近场光学显微镜光路指引装置 (57)摘要 一种太赫兹近场光学显微镜光路指引装置， 包括用于发射太赫兹波的太赫兹发射天线， 太赫 兹波经第一开孔抛物镜准直、 聚焦抛物镜聚焦后 聚焦于所述探针上， 太赫兹波经所述探针反射、 聚焦抛物镜反射、 第二开孔抛物镜聚焦后由太赫 兹接收天线接收； 第一开孔抛物镜、 第二开孔抛 物镜上设置有透光孔， 可见光发射源发射的指引 可见光穿过所述透光孔后， 指引可见光的光轴与 所述太赫兹波的光轴同轴。 本实用新型利用的开 孔离轴抛物 面镜能够有效地提高聚焦效果、 聚焦 强度， 且相较于传统的太赫兹透镜， 在反射太赫 兹波过程中不会造成太赫兹信号的衰减， 进而有 效地提升近场散射信号的信噪比。 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 CN 217466650 U 2022.09.20 CN 217466650 U 1.一种太赫兹近场光学显微镜光路指引装置， 包括太赫兹发射天线(11)、 太赫兹接收 天线(21)、 聚焦抛物镜(30)、 探针(40)和可见光发射源， 其特征在于， 还包括第一开孔抛物 镜(14)、 第二开孔抛物镜(24)， 其中， 所述太赫兹发射天线(11)用于发射太赫兹波(50)， 所 述太赫兹波(50)经所述第一开孔抛物镜(14)准直、 聚焦抛物镜(30)聚焦后聚焦于所述探针 (40)上， 所述太赫兹波(50)经所述探针(40)反射、 聚焦抛物镜(30)反射、 第二开孔抛物镜 (24)聚焦后由所述太赫兹接收天线(21)接收； 所述第一开孔抛物镜(14)、 第二开孔抛物镜(24)上设置有透光孔(141)， 所述可见光发 射源发射的指引可见光(60)穿过所述透光孔(141)后， 所述指引可见光(60)的光轴与所述 太赫兹波(5 0)的光轴同轴。 2.根据权利要求1所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 所述 透光孔(141)的直径为所述指引可 见光(60)的直径的1～1.2倍。 3.根据权利要求1所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 还包 括第一搭载件(10)和第二搭载件(20)， 所述第一搭载件(10)上安装有 所述太赫兹发射 天线 (11)、 第一开孔抛物镜(14)， 所述第二搭载件(20)上安装有所述太赫兹接收天线(21)、 第二 开孔抛物镜(24)， 所述第一搭 载件(10)和/或第二搭 载件(20)上安装有所述可 见光发射源。 4.根据权利要求3所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 所述 可见光发射源包括安装于所述第一搭载件(10)上的第一可见光 发射源(12)， 以及安装于所 述第二搭 载件(20)上的第二可 见光发射源(2 2)。 5.根据权利要求4所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 所述 第一可见光 发射源(12)和第一开孔抛物镜(14)之间设置有第一反射镜(13)， 所述第一可见 光发射源(12)发射的指引可见光经所述第一反射镜(13)反射后穿过所述第一开孔抛物镜 (14)的透光孔； 所述第二可见光 发射源(22)和第二开孔抛物镜(24)之间设置有第二反射镜 (23)， 所述第二可见光 发射源(22)发射的指引可见光经所述第二反射镜(23)反射后穿过所 述第二开孔抛物镜(24)的透光 孔。 6.根据权利要求5所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 所述 第一可见光 发射源(12)和所述第一反射镜(13)之间设置有第一光阑(16)， 所述第二可见光 发射源(2 2)和所述第二反射镜(23)之间设置有第二 光阑(26)。 7.根据权利要求3～6中任一项所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特 征在于， 还包括底 座， 所述底 座的上表 面与所述第一搭载件(10)、 第二搭载件(20)的下表 面 磁吸连接 。 8.根据权利要求7所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 所述 第一搭载件(10)上设置有至少一个第三反射镜(15)， 所述至少一个第三反射镜(15)位于所 述第一开孔抛物镜(14)和所述聚焦抛物镜(30)之间； 所述第二搭载件(20)上设置有至少一 个第四反射镜(25)， 所述至少一个第四反射镜(25)位于所述第二开孔抛物镜(2 4)和所述聚 焦抛物镜(3 0)之间。 9.根据权利要求8所述的一种太赫兹近场 光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 第 一 开孔抛物镜(14)和所述聚焦抛物镜(30)之间设置有一个第三反射镜(15)， 所述第二开孔抛 物镜(24)和所述聚焦抛物镜(3 0)之间设置有一个第四反射镜(25)。 10.根据权利要求7所述的一种太赫兹近场光学显微镜光路指引装置， 其特征在于， 所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217466650 U 2述聚焦抛物镜(30)包括聚焦镜面(33)， 以及位于所述聚焦镜面(33)两侧的第一校准镜面 (31)和第二校准镜面(32)， 所述第一校准镜面(31)和第二校准镜面(32)垂直于所述指引可 见光(60)的光轴。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217466650 U 3