(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221871289.0 (22)申请日 2022.07.13 (73)专利权人 湖北众韦光电科技有限公司 地址 430074 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区关东园路2-2号光谷国际商会大 厦1栋A座7层6号 （自贸区武汉片区） (72)发明人 韩世玉　戴宏伟　李森　韩洪良　 (74)专利代理 机构 湖北创融蓝图知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 42276 专利代理师 羊淑梅 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种微区光克尔测量装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种微区光克尔测量装置， 包括脉冲激光光源、 同步脉冲激光光源、 光学探 测器一、 光学探测器二、 光学成像模块和照明光 源； 所述脉冲激光光源的右侧配置有功率调节模 块一、 光路调制一、 偏置控制模块一和反射镜一； 所述同步脉冲激光光源的右侧配置有光学延迟 光路、 功率调节模块二、 光路调制模块二、 偏置控 制模块二和光路合束模块； 所述光学探测器一的 右侧配置有检偏器一、 选通滤光片一、 样品、 物 镜、 分光镜、 分束镜一和反射镜二。 该微区光克尔 测量装置， 分别采用具有不同波长的脉冲激光光 源作为泵浦光和探测光， 采用具有波长选通功能 的选通滤光片屏蔽探测光并提取出探测 信号， 进 而实现高灵敏度光克尔信号测量。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217878868 U 2022.11.22 CN 217878868 U 1.一种微区光克尔测量装置， 包括脉冲激光光源(1)、 同步脉冲激光光源(2)、 光学探测 器一(12)、 光学探测器二(2 2)、 光学成像模块(23)和照明光源(26)， 其特 征在于： 所述脉冲激光光源(1)的右侧配置有功率调 节模块一(3)、 光路调制一(4)、 偏置控制模 块一(5)和反射镜一(6)； 所述同步脉冲激光光源(2)的右侧配置有光学延迟光路(7)、 功率调节模块二(8)、 光路 调制模块 二(9)、 偏置控制模块 二(10)和光路合束模块(1 1)； 所述光学探测器一(12)的右侧配置有检偏器一(13)、 选通滤光片一(14)、 样品(15)、 物 镜(16)、 分光镜(17)、 分束镜一(18)和反射镜二(19)； 所述光学探测器二(2 2)的右侧配置有检偏器二(21)和选通滤光片二(20)； 所述光学成像模块(23)的右侧配置有分束镜二(24)； 所述照明光源(26)的右侧配置有反射镜三(25)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217878868 U 2一种微区光克尔测量装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光克尔测量 技术领域， 具体为 一种微区光克尔测量装置 。 背景技术 [0002]光克尔测量装置是用来研究材料三阶非线性折射率及克尔响应时间的光学测量 系统。 它通常由脉冲激发光源、 分束/合束光学元件、 光学延迟光路， 光学斩波器， 探测器， 控 制器， 计算机等几部分组成。 脉冲激发光源经过分束后分成两路具有相同频率和脉冲宽度 的脉冲激光支路(支路1和支路2)； 其中一路(支路1)经过光学斩波器调制后变成周期性调 制的光脉冲序列， 另一路(支路2)经过不同频率的光学斩波器调制后， 再利用光学延迟光路 进行脉冲相位控制； 进一步地将两路脉冲光合束后照射到被测样品上， 以完成光克尔测量 的光路配置。 上述两路光脉冲和样品相互作用后， 透射或者反射出来， 将其中激光功率较强 的一路光(如支路2)遮挡住， 将另一路光(如支路2)引入探测器进行光功率测量。 测量过程 中， 利用控制器控制电控平移台连续改变经过光学延迟光路(如支路2)的光脉冲相位， 同时 通过计算机采集并记录经 过样品后的探测器上的光功率随电控平 移台位置的变化关系。 [0003]传统光克尔测量装置使用具有相同波长和频率的单色激光源进行分光， 分别作为 泵浦光(如光学支路1)和探测光(如光学支路2)； 通过采用对泵浦 光进行斩波来消除环 境光 干扰， 对探测 光进行不同频率光学调制和区分信号光和探测光， 进而通过采集泵浦光和探 测光的差频输出信号来实现弱信号提取与放大。 该测量装置对液体样品和块体样品测量具 有很好的测量效果。 [0004]近年来， 二维材料及其异质结器件的出现， 要求光克尔测量装置能够具备微区测 量能力。 尽管通过给传统光克尔测量装置增加微区成像功能和三 维位移台可以系统对微小 样品进行定位， 受显微物镜工作距离的 限制， 泵浦 光和探测光难以在空间上分开。 如果采用 同轴光路入射方式进行测量， 经过样品散射回来的泵浦光会削弱探测灵敏度； 如果采用泵 浦光斜入射方式， 泵浦光光斑大小不容易控制。 因此， 需要构建新的微区光克尔测量装置， 以满足小尺寸样品对光克尔效应的测量需求。 实用新型内容 [0005](一)解决的技 术问题 [0006]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种微区光克尔测量装置， 具备使用方 便的优点， 解决了采用同轴光路入射方式进行测量， 经过样品散射回来的泵浦光会削弱探 测灵敏度； 如果采用泵浦光 斜入射方式， 泵浦光 光斑大小不 容易控制的问题。 [0007](二)技术方案 [0008]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种微区光克尔测量装置， 包括 脉冲激光光源、 同步脉冲激光光源、 光学探测器一、 光学探测器二、 光学成像模块和照明光 源； [0009]所述脉冲激光光源的右侧配置有功率调节模块一、 光路调制一、 偏置控制模块一说　明　书 1/3 页 3 CN 217878868 U 3