(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221470594.9 (22)申请日 2022.06.13 (73)专利权人 苏州瑞周电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区经济开 发区南湖路18号3幢 (72)发明人 张成君　 (74)专利代理 机构 苏州博格华瑞知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32558 专利代理师 匡立岭 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/84(2006.01) (54)实用新型名称 一种探针台 (57)摘要 本实用新型公开了一种探针台， 包括基座， 设置在基座上的探针调节组件、 镜头调节组件和 载台； 探针调节组件包括： 与基座连接的移载滑 轨， 与移载滑轨连接的若干龙门架， 以及驱动探 针座在龙门架上Y轴移动的驱动件； 龙门架对称 设置， 且位于载台的两侧； 镜头调节组件包括： 镜 架， 设置在镜架上的X轴驱动单元， 设置在X轴驱 动单元上的Y轴驱动单元， 以及与Y轴驱动单元连 接的镜头； X轴驱动单元带动Y轴驱动单元和镜头 沿X轴移动， Y轴驱动单元带动镜头沿Y轴移动； 镜 头位于载台的上方。 该探针台将镜头设计为X轴 方向和Y轴方向移动， 且探针座Y轴可移动， 提高 了测试的精准度。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217981214 U 2022.12.06 CN 217981214 U 1.一种探针台， 包括： 基座， 设置在所述基座上的探针调节组件、 镜头调节 组件和载台， 其特征在于， 所述探针调节组件包括： 与所述基座连接的移载滑轨， 与所述移载滑轨连接的若干龙 门架， 以及驱动探针座在所述龙门架上Y轴移动的驱动件； 所述龙门架对称设置， 且位于所 述载台的两侧； 所述镜头调 节组件包括： 镜架， 设置在所述镜架上的X轴驱动单元， 设置在所述X轴驱动 单元上的Y轴驱动单 元， 以及与所述Y轴驱动单 元连接的镜 头； 所述X轴驱动单元带动所述Y轴驱动单元和所述镜头沿X轴移动， 所述Y轴驱动单元带动 所述镜头沿Y轴移动； 所述镜 头位于所述载台的上 方。 2.根据权利要求1所述的一种探针台， 其特征在于： 所述驱动件包括： 导轨， 设置在所述 导轨上的导块， 与所述导块底部连接的抵接块， 以及与所述抵接块螺纹连接的螺栓； 所述导 块与所述探针座固定连接， 所述抵 接块通过所述螺栓与所述龙门架的侧向抵 接。 3.根据权利要求1所述的一种探针台， 其特征在于： 所述X轴驱动单元包括： 第一滑轨， 设置在所述第一滑轨中的第一螺杆， 与所述第一螺杆连接的第一连接块， 以及与所述第一 连接块连接的第一滑块； 所述第一滑块沿所述第一滑轨的长度方向移动， 所述第一螺杆设 置在第一螺杆座上， 且所述第一螺杆的一端连接有第一旋钮， 所述第一滑块的表面设置有 所述Y轴驱动单 元。 4.根据权利要求3所述的一种探针台， 其特征在于： 所述Y轴驱动单元包括： 第二滑轨， 设置在所述第二滑轨中的第二螺杆， 与所述第二螺杆连接的第二连接块， 以及与所述第二 连接块连接的第二滑块； 所述第二螺杆设置在第二螺杆座上， 且所述第二螺杆的一端连接 有第二旋钮， 所述第二滑块沿所述第二滑轨的长度方向移动， 所述第二滑块连接有镜 头座。 5.根据权利要求4所述的一种探针台， 其特征在于： 所述第 一滑轨和所述第 二滑轨的长 度方向相垂直， 所述第二滑轨和所述移载滑轨的长度方向平行。 6.根据权利要求1所述的一种探针台， 其特征在于： 所述探针座表面设置有安装槽， 所 述安装槽用于安装探针， 所述 安装槽的中轴线与所述载台平面形成3 0°～60°夹角。 7.根据权利要求1所述的一种探针台， 其特征在于： 所述载台为方形结构， 所述载台与 所述基座螺 栓连接， 且所述载台处于所述基座的正中间位置 。 8.根据权利要求1所述的一种探针台， 其特征在于： 所述镜头为电子显微镜或光学显微 镜。 9.根据权利要求4所述的一种探针台， 其特征在于： 所述第一滑块的X轴方向的移动行 程为0～50mm， 所述第二滑块的Y轴方向的移动行程 为0～160mm。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217981214 U 2一种探针台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及探针台技 术领域， 尤其涉及一种探针台。 背景技术 [0002]在毫米波设备中， 芯片天线或者封装天线成为了未来行业发展的重要方向之一， 而芯片天线的性能进行精准的测试成为 一个需要解决的问题。 [0003]现有技术中对于芯片天线的测量使用标准探针台进行检测， 但是存在以下问题： 1、 无法对镜头进行X轴和 Y轴方向的移动， 导致测量精度不够； 2、 探针座移动距离因为探针 台的设计受限， 导 致探针座移动精度不够； 3、 载台更 换方式困难。 [0004]因此， 有必要对现有技 术中的探针台进行改进， 以解决上述问题。 发明内容 [0005]本实用新型 克服了现有技 术的不足， 提供一种探针台。 [0006]为达到上述目的， 本实用新型采用的技术方案为： 一种探针台， 包括： 基座， 设置在 所述基座上的探针调节组件、 镜 头调节组件和载台， 其特 征在于， [0007]所述探针调节组件包括： 与所述基座连接 的移载滑轨， 与所述移载滑轨连接 的若 干龙门架， 以及驱动探针座在所述龙门架上Y轴移动的驱动件； 所述龙门架对称设置， 且位 于所述载台的两侧； [0008]所述镜头调节组件包括： 镜架， 设置在所述镜架上的X轴驱动单元， 设置在所述X轴 驱动单元上的Y轴驱动单 元， 以及与所述Y轴驱动单 元连接的镜 头； [0009]所述X轴驱动单元带动所述Y轴驱动单元和所述镜头沿X轴移动， 所述Y轴驱动单元 带动所述镜 头沿Y轴移动； 所述镜 头位于所述载台的上 方。 [0010]本实用新型一个较佳实施例中， 所述驱动件包括： 导轨， 设置在所述导轨上的导 块， 与所述导块底部连接的抵接块， 以及与所述抵接块螺纹连接的螺栓； 所述导块与所述探 针座固定连接， 所述抵 接板通过所述螺栓与所述龙门架的侧向抵 接。 [0011]本实用新型一个较佳实施例中， 所述X轴 驱动单元包括： 第一滑轨， 设置在所述第 一滑轨中的第一螺杆， 与所述第一螺杆连接的第一连接块， 以及与所述第一连接块连接的 第一滑块； 所述第一滑块沿所述第一滑轨的长度方向移动， 所述第一螺杆设置在第一螺杆 座上， 且所述第一螺杆的一端 连接有第一旋钮， 所述第一滑 块的表面设置有所述Y轴驱动单 元。 [0012]本实用新型一个较佳实施例中， 所述所述Y轴 驱动单元包括： 第二滑轨， 设置在所 述第二滑轨中的第二螺杆， 与所述第二螺杆连接的第二连接块， 以及与所述第二连接块连 接的第二滑块； 所述第二螺杆设置在第二螺杆座上， 且所述第二螺杆 的一端连接有第二旋 钮， 所述第二滑块沿所述第二滑轨的长度方向移动， 所述第二滑块连接有镜 头座。 [0013]本实用新型一个较佳实施例中， 所述第一滑轨和所述第二滑轨的长度方向相垂 直， 所述第二滑轨和所述移载滑轨的长度方向平行。说　明　书 1/4 页 3 CN 217981214 U 3