(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222024873.9 (22)申请日 2022.08.01 (73)专利权人 系科仪器 （上海） 有限公司 地址 201612 上海市松江区莘砖公路258号 32幢802室-2 (72)发明人 田晶晶　姚凌飞　刘蕾　何丽　 (74)专利代理 机构 合肥东邦滋原 专利代理事务 所(普通合伙) 3415 5 专利代理师 王天马 (51)Int.Cl. G01N 21/21(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种新型的激光椭偏仪结构 (57)摘要 本实用新型提供一种新型的激光椭偏 仪， 包 括底座及安装在底座上用于放置测试片的载物 台、 及用于对测试片进行光学测量的入射臂和接 收臂， 所述入射臂和接收臂内部分别安装有光学 组件及运动器件， 所述底座的下端设有与入射臂 和接收臂电性连接的控制箱， 底 座位于载物台的 一侧竖向安装有支撑板， 支 撑板的中部设有旋转 轴， 所述入射臂和接收臂分别通过连接件转动安 装在旋转轴上， 并通过连接件与支撑板卡接。 该 装置通过模块化的设计， 实现了设备整体结构的 简便、 合理、 易维护性。 同时， 优化了外观设计， 使 设备既美观， 又耐用， 具有极高的可靠性。 各分立 模块可单独设计、 单独升级优化， 提高了设备的 可扩展性及后续 提升空间。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 218003243 U 2022.12.09 CN 218003243 U 1.一种新型的激光椭偏仪， 包括底座及安装在底座上用于放置测试片的载物台、 及用 于对测试片进行光学测量的入射臂和接 收臂， 其特征在于： 所述入射臂和接 收臂内部分别 安装有光学组件及运动器件， 所述底座的下端设有与入射臂和接 收臂电性连接的控制箱， 底座位于载物台的一侧竖向安装有支撑板， 支撑板的中部设有旋转轴， 所述入射臂和接 收 臂分别通过连接件转动安装在旋转轴 上， 并通过连接件与支撑板卡接， 以固定住入射臂和 接收臂的角度。 2.根据权利要求1所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述连接件包括转动安 装在旋转轴 上的转动块、 设置在转动块外端的连接块和固定拉锁， 固定拉锁用于将连接件 锁紧于支撑 板上。 3.根据权利要求2所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述入射臂包括入射外 罩及设置在入射外罩一侧的入射板， 入射外罩朝向载物台的一侧设有发射光源的镜头， 所 述入射板 外端与连接块固定连接， 以对 入射臂进行调节定位。 4.根据权利要求2所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述接收臂包括接收外 罩及设置在接 收外罩一侧的接 收板， 所述接 收板与连接块固定连接， 以对接 收臂进行调节 定位。 5.根据权利要求1所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述载物台为斜台面结 构， 载物台包括可拆卸安装在底板上 的斜台座及用于放置测试片的斜台面板， 所述斜台座 通过螺栓固定安装在底板上， 斜台座上端固定安装有斜台面支撑块， 并通过斜台面支撑块 固定住斜台面板， 斜台面板倾 斜设置。 6.根据权利要求1所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述载物台为平台面结 构， 载物台包括可拆卸安装在底板上 的平台座及用于放置测试片的平台面板， 所述平台座 通过螺栓固定安装在底板上， 平台座上端固定安装有平台面支撑块， 并通过平台面支撑块 固定住平台面板， 平台面板水平设置 。 7.根据权利要求1所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述载物台上分散设有 定位槽， 定位槽内安装有对测试片进行定位的挡块。 8.根据权利要求1所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述底座包括底板及分 散设置在底板四周的底脚， 所述控制箱固定安装在底板的下端， 底板的上端对应支撑板设 有卡槽。 9.根据权利要求8所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述支撑板的下端嵌入 卡槽内卡接， 并通过加强筋将支撑板与底板垂直固定连接， 所述加强筋分别 设置在支撑板 的同侧两端， 加强筋通过螺栓分别与支撑板和底板固定连接， 支撑板的上端外侧 为弧形结 构， 并标注有刻度角。 10.根据权利要求8所述的一种新型的激光椭偏仪， 其特征在于： 所述控制箱包括箱体， 箱体底部 设有安装器件的安装板， 箱体四周分布设有 连接柱， 连接柱与 底板通过螺栓连接， 箱体的一侧分布有接口和开关， 实现对外的信号交 互及供电需求。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218003243 U 2一种新型的激光椭偏仪结构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及椭偏仪技 术领域， 具体为 一种新型的激光椭偏仪 。 背景技术 [0002]激光型椭偏仪基于椭圆偏振测试技术， 通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态 振幅和相位的改变， 建立样品相应光学模型， 计算出薄膜的厚度、 折射率和消 光系数。 主要 应用于测试 具有绒面结构的 晶体硅减反射膜的厚度和光学 特性。 [0003]现有的激光椭偏仪较为复杂， 使用不便； 结构不稳固， 导致光学系统位置变化， 影 响测量精度； 非模块 化设计， 维护复杂且成本高昂。 实用新型内容 [0004]本实用新型所解决的技术问题在于提供一种使用便捷、 结构牢固、 模块化设计的 激光椭偏仪， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现： 一种新型的激光椭偏 仪， 包括底座及安装在底座上用于放置测试片的载物台、 及用于对测试片进行光学测量的 入射臂和接 收臂， 所述入射臂和接 收臂内部分别安装有光学组件及运动器件， 所述底座的 下端设有与入射臂和接收臂电性连接的控制箱， 底座位于载物台的一侧竖向安装有支撑 板， 支撑板的中部设有旋转轴， 所述入射臂和接收臂分别通过连接件转动安装在旋转轴上， 并通过连接件与支撑 板卡接， 以固定住入射臂和接收臂的角度。 [0006]作为本实用新型进一步方案： 所述连接件包括转动安装在旋转轴上的转动块、 设 置在转动块外端的连接块和固定拉锁， 固定拉锁用于将连接件锁紧于支撑 板上。 [0007]作为本实用新型进一步方案： 所述入射臂包括入射外罩及设置在入射外罩一侧的 入射板， 入射外罩朝向载物台的一侧设有发射光源的镜头， 所述入射板外端与连接块固定 连接， 以对 入射臂进行调节定位。 [0008]作为本实用新型进一步方案： 所述接收臂包括接收外罩及设置在接收外罩一侧的 接收板， 所述接收板与连接块固定连接， 以对接收臂进行调节定位。 [0009]作为本实用新型进一步方案： 所述载物台为斜台面结构， 载物台包括可拆卸安装 在底板上的斜台座及用于放置测试片的斜台面板， 所述斜台座通过螺栓固定安装在底板 上， 斜台座上端固定安装有斜台面支撑块， 并通过斜台面支撑块固定住斜台面板， 斜台面板 倾斜设置。 [0010]作为本实用新型进一步方案： 所述载物台为平台面结构， 载物台包括可拆卸安装 在底板上的平台座及用于放置测试片的平台面板， 所述平台座通过螺栓固定安装在底板 上， 平台座上端固定安装有平台面支撑块， 并通过平台面支撑块固定住 平台面板， 平台面板 水平设置 。 [0011]作为本实用新型进一步方案： 所述载物台上分散设有定位槽， 定位槽内安装有对 测试片进行定位的挡块。说　明　书 1/4 页 3 CN 218003243 U 3