(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221374018.4 (22)申请日 2022.06.02 (73)专利权人 博众精工科技股份有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江经济技 术 开发区湖心西路6 66号 (72)发明人 刘中海　周麟坤　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 陈宏 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆检测治具 (57)摘要 本实用新型属于晶圆检测技术领域， 公开了 一种晶圆检测治具， 包括吸盘， 所述吸盘为透明 吸盘； 真空流道， 所述真空流道设置于所述吸盘 表面， 所述真空流道连接有负压装置， 所述负压 装置为所述 真空流道提供负压气体， 以将晶圆吸 附于所述吸盘上， 所述真空流道包括直线型的第 一流道， 所述第一流道沿所述吸盘的径向设置； 载环， 所述吸盘固定于所述载环上， 所述载环上 设置有观 察通孔， 所述观察通孔用于从所述吸盘 未设置所述 真空流道的一侧检测所述晶圆。 该晶 圆检测治具能够对晶圆进行双面检测， 对晶圆整 体吸附， 减少晶圆翘曲现象的产生， 保证多次检 测结果的一 致性。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 217561342 U 2022.10.11 CN 217561342 U 1.一种晶圆检测治具， 其特 征在于， 包括： 吸盘(1)， 所述吸盘(1)为透明吸盘(1)； 真空流道(2)， 所述真空流道(2)设置于所述吸盘(1)表面， 所述真空流道(2)连接有负 压装置(11)， 所述负 压装置(11)为所述真空流道(2)提供负 压气体， 以将晶圆吸附于所述吸 盘(1)上， 所述真空流道(2)包括直线型的第一流道(21)， 所述第一流道(21)沿所述吸盘(1) 的径向设置； 载环(3)， 所述吸盘(1)固定于所述载环(3)上， 所述载环(3)上设置有观察通孔(31)， 所 述观察通孔(31)用于从所述吸盘(1)未设置所述真空流道(2)的一侧检测所述晶圆。 2.根据权利要求1所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述第一流道(21)设置有多个， 多个所述第一流道(21)在所述吸盘(1)上呈放射状设置， 相邻的所述第一流道(21)之间的 夹角相等。 3.根据权利要求1或2任一项所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述真空流道(2)还包 括环形的第二 流道(22)， 所述第二 流道(22)的轴线与所述吸盘(1)的轴线重合。 4.根据权利要求1所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述吸盘(1)可拆卸的设置有多 个挡块(4)， 所述挡块(4)外壁设置有限位面(41)， 多个所述挡块(4)的多个所述限位面(41) 用于限制所述晶圆的安装范围。 5.根据权利要求4所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述挡块(4)为圆柱形， 所述挡块 (4)的轴线与所述吸盘(1)的轴线平行， 所述限位 面(41)为向所述吸盘(1)中心凸起的弧面。 6.根据权利要求4或5任一项所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述挡块(4)采用非金 属材料制成。 7.根据权利要求1所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述吸盘(1)可拆卸的设置有仿 形定位块(5)， 所述仿形定位块(5)设置有仿形定位面(51)， 所述仿形定位面(51)用于与所 述晶圆的弧状外壁贴合。 8.根据权利要求7所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述仿形定位面(51)设置定位凸 起(52)， 所述定位凸起(52)用于对所述晶圆的切片或缺口进行角向定位。 9.根据权利要求1所述的晶圆检测治具， 其特征在于， 所述载环(3)边缘设置有手持块 (32)， 所述手持块(32)设置有圆孔(3 3)。 10.根据权利要求1所述的 晶圆检测治具， 其特 征在于， 所述吸盘(1)为玻璃吸盘(1)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217561342 U 2一种晶圆检测治 具 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆检测技 术领域， 尤其涉及一种晶圆检测治具。 背景技术 [0002]在晶圆的制作工艺完成后， 需要对晶圆进行检测以确认该产品是否合格， 通常的 做法是将晶圆放置在平检测平台上， 视觉识别设备对晶圆进行拍照检测， 通过对拍照得到 的图像进行分析对比， 以实现对晶圆进行检测。 [0003]然而， 对晶圆进行双面检测一直是较困难的， 目前多是通过吸附晶圆边缘的无效 边来实现， 但此种 方法导致晶圆中部完全悬空， 导致晶圆在检测过程中， 存在翘曲现象， 以 至于多次检测结果的一 致性很差， 现在8寸， 12寸 等大尺寸晶圆检测中尤其 严重。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测治具， 能够对晶圆进行双面检测， 对晶 圆整体吸附， 减少晶圆翘曲现象的产生， 保证多次检测结果的一 致性。 [0005]为达此目的， 本实用新型采用以下技 术方案： [0006]一种晶圆检测治具， 包括 一种晶圆检测治具， 其特 征在于， 包括： [0007]吸盘， 所述吸盘为透明吸盘； [0008]真空流道， 所述真空流道设置于所述吸盘表面， 所述真空流道连接有负压装置， 所 述负压装置为所述真空流道提供负压气体， 以将晶圆吸 附于所述吸盘上， 所述真空流道包 括直线型的第一 流道， 所述第一 流道沿所述吸盘的径向设置； [0009]载环， 所述吸盘固定于所述载环上， 所述载环上设置有观察通孔， 所述观察通孔用 于从所述吸盘未设置所述真空流道的一侧检测所述晶圆。 [0010]作为优选， 所述第一流道设置有多个， 多个所述第一流道在所述吸盘上呈放射状 设置， 相邻的所述第一 流道之间的夹角相等。 [0011]作为优选， 所述真空流道还包括环形的第二流道， 所述第二流道的轴线与所述吸 盘的轴线重合。 [0012]作为优选， 所述吸盘可拆卸的设置有多个挡块， 所述挡块外壁设置有限位面， 多个 所述挡块的多个所述限位 面用于限制所述晶圆的安装范围。 [0013]作为优选， 所述挡块为圆柱形， 所述挡块的轴线与所述吸盘的轴线平行， 所述限位 面为向所述吸盘中心凸起的弧面。 [0014]作为优选， 所述挡块采用非金属材 料制成。 [0015]作为优选， 所述吸盘可拆卸的设置有仿形定位块， 所述仿形定位块设置有仿形定 位面， 所述仿形定位 面用于与所述晶圆的弧状外壁贴合。 [0016]作为优选， 所述仿形定位面设置定位凸起， 所述定位凸起用于对所述晶圆的切片 或缺口进行角向定位。 [0017]作为优选， 所述载环边 缘设置有手持块， 所述手持块设置有圆孔。说　明　书 1/5 页 3 CN 217561342 U 3