(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221374976.1 (22)申请日 2022.06.02 (73)专利权人 博众精工科技股份有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江经济技 术 开发区湖心西路6 66号 (72)发明人 刘中海　周麟坤　林苗　马学超　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 陈宏 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) B01L 9/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆检测装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆检测装置， 属于 晶圆检测技术领域。 晶圆检测装置包括操作台、 X 移动机构、 Y移动机构、 移动平台、 检测治具、 下检 测机构和上检测机构。 X移动机构设置于操作台， Y移动机构设置于X移动机构。 移动平台设置于Y 移动机构， 移动平台上开设有安装孔， 检测治具 包括透明吸盘和载环， 载环设置在安装孔内， 透 明吸盘固定于载环的通孔内， 透明吸盘的顶面设 置有真空流道， 真空流道连接有负压装置， 真空 流道包括直线型的第一流道， 第一流道沿透明吸 盘的径向设置。 下检测机构用于获取透明吸盘上 的晶圆下表 面的图像信息。 上检测机构用于获取 透明吸盘上的晶圆上表面的图像信息。 本实用新 型能够对晶圆进行双面检测， 减少晶圆翘曲。 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 CN 217505681 U 2022.09.27 CN 217505681 U 1.一种晶圆检测装置， 其特 征在于， 包括： 操作台(1)； X移动机构(2)和Y移动机构(3)， 所述X移动机构(2)设置于所述操作台(1)， 所述Y移动 机构(3)设置 于所述X移动机构(2)的输出端； 移动平台(4)和检测治具(5)， 所述移动平台(4)设置于所述Y移动机构(3)的输出端， 所 述移动平台(4)上开设有安装孔， 所述检测治具(5)包括透明吸盘(51)和载环(53)， 所述载 环(53)设置在所述安装孔内， 所述透明吸盘(51)固定于所述载环(53)的通孔(531)内， 所述 透明吸盘(51)的顶 面设置有真空流道(52)， 所述真空流道(52)连接有负压装置(511)， 所述 真空流道(52)包括直线型的第一流道(521)， 所述第一流道(521)沿所述透明吸盘(51)的径 向设置； 下检测机构(6)， 设置于所述操作台(1)， 用于获取所述透明吸盘(51)上的晶圆下表面 的图像信息； 及 上检测机构(7)， 设置于所述操作台(1)且位于所述透明吸盘(51)的上方， 用于获取所 述透明吸盘(51)上的所述晶圆上表面的图像信息 。 2.根据权利 要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述第一流道(521)设置有多个， 多个所述第一流道(521)在所述透明吸盘(51)上呈放射状 设置， 相邻的所述第一流道(521) 之间的夹角相等。 3.根据权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述真空流道(52)还包括环形的 第二流道(522)， 所述第二 流道(522)的轴线与所述透明吸盘(51)的轴线重合。 4.根据权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述透明吸盘(51)可拆卸的设置 有多个挡块(54)， 所述挡块(54)外壁设置有限位面(541)， 多个所述挡块(54)的多个所述限 位面(541)用于限制所述晶圆的安装范围。 5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述挡块(54)为圆柱形， 所述挡 块(54)的轴线与所述透明吸盘(51)的轴线平行， 所述限位面(541)为向所述透明吸盘(51) 中心凸起的弧面。 6.根据权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述透明吸盘(51)可拆卸的设置 有仿形定位块(55)， 所述仿形定位块(55)设置有仿形定位面(551)， 所述仿形定位面(551) 用于与所述晶圆的弧状外壁贴合。 7.根据权利要求6所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述仿形定位面(551)设置定位 凸起(552)， 所述定位凸起(5 52)用于对所述晶圆的切片或缺口进行角向定位。 8.根据权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述载环(53)边缘设置有手持块 (532)， 所述手持块(5 32)设置有圆孔(5 33)。 9.根据权利 要求1‑8中任一项所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述X移动 机构(2)包 括支撑座(23)和设置于所述操作台(1)的第一直线驱动件(21)、 第一导向组件(22)， 所述支 撑座(23)分别连接于所述第一导向组件(22)和所述第一直线驱动件(21)的执行端， 所述第 一直线驱动件(21)能够驱动所述支撑座(23)沿X方向滑动， 所述第一导向组件(22)能够导 向所述支撑座(23)； 和/或， 所述Y移动机构(3)包括设置于所述支撑座(23)的第二直线驱动件(31)、 第二导 向组件(32)， 所述移动平台(4)分别 连接于所述第二导 向组件(32)和所述第二直线驱动件权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217505681 U 2(31)的执行端， 所述第二直线驱动件(31)能够驱动所述移动平 台(4)沿Y方向滑动， 所述第 二导向组件(32)能够导向所述移动平台(4)。 10.根据权利要求1 ‑8中任一项所述的晶圆检测装置， 其特征在于， 所述下检测机构(6) 包括第一移动组件(61)和第一相机组件(62)， 所述第一移动组件(61)设置于所述操作台 (1)， 所述第一相机组件(62)设置于所述第一移动组件(61)的输出端， 所述第一移动组件 (61)能够驱动所述第一相机组件(62)移动， 所述第一相机组件(62)用于获取所述透明吸盘 (51)上的所述晶圆下表面的图像信息； 和/或 所述上检测机构(7)包括第二移动组件(71)和第二相机组件(72)， 所述第二移动组件 (71)设置于所述操作台(1)， 所述第二相机组件(72)设置于所述第二移动组件(71)的输出 端， 所述第二移动组件(71)能够驱动所述第二相机组件(72)移动， 所述第一相机组件(62) 用于获取 所述透明吸盘(51)上的所述晶圆下表面的图像信息 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217505681 U 3