(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221665054.6 (22)申请日 2022.06.29 (73)专利权人 上海晟衡 检测技术有限公司 地址 201210 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区张江路6 65号三层 (72)发明人 龚慧兰　冯建安　秦丹　张金金　 张逸凡　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 许利波 (51)Int.Cl. G01B 11/00(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种检测用光学镜 头更换装置及检测台 (57)摘要 本实用新型涉及光学测量技术领域， 尤其涉 及一种检测用光学镜头更换装置及检测台。 检测 用光学镜头更换装置包括工作台、 镜头架、 镜头 座、 移动单元和连接单元， 其中镜头架设置于工 作台上， 镜头架用以摆放支撑非工作的光学镜 头， 镜头架上并排且间隔设置有多个镜头安置 槽； 镜头座设置有探测器， 镜头座连接有工作的 光学镜头； 移动单元设置于工作台上， 移动单元 与镜头座连接， 镜头架设置于移动单元的下方， 移动单元被配置为能够驱动镜头座移动； 连接单 元设置于镜头座上， 连接单元被配置为能够抓取 或松脱光学镜头。 移动单元和连接单元相互配合 可实现对光学镜头的自动更换， 不会影 响工作光 学镜头检测效率。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 217637199 U 2022.10.21 CN 217637199 U 1.一种检测用光学镜 头更换装置， 其特 征在于， 包括： 工作台(1)； 镜头架(2)， 设置于所述工作台(1)上， 所述镜头架(2)用以摆放支撑非工作的光学镜头 (9)， 所述镜 头架(2)上并排且间隔设置有 多个镜头安置槽(21)； 镜头座(3)， 设置有探测器， 所述镜头座(3)连接有工作的光学镜头(9)， 且工作的所述 光学镜头(9)设置 于所述探测器的正下 方； 移动单元， 设置于所述工作台(1)上， 所述移动单元与所述镜头座(3)连接， 所述镜头架 (2)设置于所述移动单 元的下方， 所述移动单 元被配置为能够驱动所述镜 头座(3)移动； 连接单元(7)， 设置于所述镜头座(3)上， 所述连接单元(7)被配置为能够抓取或松脱所 述光学镜头(9)。 2.根据权利要求1所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 所述镜头安置槽(21) 呈开口设置 。 3.根据权利要求1所述的检测用光学镜 头更换装置， 其特 征在于， 所述移动单 元包括： X轴移动部件(4)， 设置 于所述工作台(1)的顶部； Y轴移动部件(5)， 设置 于所述X轴移动部件(4)上并与所述X轴移动部件(4)连接； Z轴移动部件(6)， 设置 于所述Y轴移动部件(5)上并与所述镜 头座(3)连接 。 4.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 两个所述X轴移动部 件(4)平行且间隔设置于所述工作台(1)的顶部， 所述Y轴移动部件(5)两端分别与位于所述 Y轴移动部件(5)两端的X轴移动部件(4)连接 。 5.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 所述X轴移动部件(4) 包括： X轴驱动件； X轴直线移动组件， 所述X轴直线移动组件分别与所述X轴驱动件的输出端及所述Y轴移 动部件(5)连接， 所述X轴直线移动组件能够沿X轴方向带动所述Y轴移动部件(5)移动。 6.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 所述Y轴移动部件(5) 包括： Y轴驱动件； Y轴直线移动组件， 所述Y轴直线移动组件分别与所述Y轴驱动件的输出端及所述Z轴移 动部件(6)连接， 所述Y轴直线移动组件能够沿Y轴方向带动所述Z轴移动部件(6)移动。 7.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 所述Z轴移动部件(6) 包括： Z轴驱动件(61)； Z轴直线移动组件， 所述Z轴直线移动组件分别与所述Z轴驱动件(61)的输出端及所述 镜头座(3)连接， 所述Z轴直线移动组件能够沿Z轴方向带动所述镜 头座(3)移动。 8.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 所述移动单元还包括 位于所述X轴移动部件(4)底部的支撑架(8)， 所述支撑架(8)设置于所述工作台(1)的顶部， 所述支撑架(8)两端分别与所述X轴移动部件(4)和所述工作台(1)顶部固定连接 。 9.根据权利要求1所述的检测用光学镜头更换装置， 其特征在于， 所述连接单元(7)包 括气动夹爪。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217637199 U 210.一种检测台， 用于检测半导体， 其特征在于， 包括如权利要求1 ‑9任一项所述的检测 用光学镜 头更换装置。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217637199 U 3