(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221876601.5 (22)申请日 2022.07.20 (73)专利权人 北京昂坤半导体设备有限公司 地址 102200 北京市昌平区沙河镇昌平路 97号7幢5 04 （昌平示范园） (72)发明人 佟杰　郭青杨　李瑞青　周尧　 马铁中　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 一种检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种检测装置， 包括支撑组 件， 第一驱动滑台， 设置在支撑组件上， 滑动组 件， 设置在第一驱动滑台上， 第一驱动滑台用于 驱动滑动组件进行移动， 载物台， 设置在滑动组 件上， 承载组件， 设置在载物台上， 纵向驱动组 件， 设置在支撑组件上方， 若干组上检测探头和 若干组下检测探头， 均用于对晶圆进行检测， 上 检测探头设置在纵向驱动组件上， 纵向驱动组件 用于驱动上检测探头纵向移动， 下检测探头设置 在载物台内。 本实用新型中的检测装置能够解决 现有技术中检测装置采用单探头检测不仅效率 低下， 而且在检测时容 易产生检测死角的问题。 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 CN 217654995 U 2022.10.25 CN 217654995 U 1.一种检测装置， 用于晶圆检测， 其特 征在于， 包括： 支撑组件； 第一驱动滑台， 设置在所述支撑组件上； 滑动组件， 设置在所述第一驱动滑台上， 所述第一驱动滑台用于驱动所述滑动组件进 行移动； 载物台， 设置在所述滑动组件上； 承载组件， 设置在所述载物台上； 纵向驱动组件， 设置在所述支撑组件上 方； 所述纵向驱动组件上设有若干组上检测探头， 所述载物台内设有若干组下检测探头， 所述上检测探头和所述下检测探头均用于对所述晶圆进行检测， 所述纵向驱动组件用于驱 动所述上检测探 头纵向移动。 2.根据权利要求1所述的检测装置， 其特征在于， 所述支撑组件包括平台和设置在所述 平台底部的多个支腿， 多个所述支腿之间通过加强筋相互连接 。 3.根据权利要求2所述的检测装置， 其特征在于， 所述加强筋设置在所述支腿的顶部和 底部。 4.根据权利要求2所述的检测装置， 其特征在于， 所述支腿与 所述平台的连接处设置有 减震垫。 5.根据权利要求2所述的检测装置， 其特征在于， 所述支腿底部连接有万向轮和防滑 垫， 所述防滑垫设置在所述 万向轮的一侧。 6.根据权利要求1所述的检测装置， 其特征在于， 所述滑动组件包括第 一滑台与第 二滑 台， 所述第一滑台滑动设置在所述第一驱动滑台上， 所述第二滑台滑动设置在所述第一滑 台上， 所述第一驱动滑台用于驱动所述第一滑台和所述第二滑台进行滑动， 所述第一滑台 与所述第二滑台的滑动方向相互垂直。 7.根据权利要求1所述的检测装置， 其特征在于， 所述承载组件包括设置在所述载物台 上的承载板， 所述承载板上设有通孔， 所述通孔的内壁等距设置有多组支撑件， 所述支撑件 用于支撑所述晶圆的边 缘。 8.根据权利要求1所述的检测装置， 其特征在于， 所述纵向驱动组件包括横梁和设置在 所述横梁上 的第二驱动滑台， 所述横梁搭接在所述支撑组件的上方， 所述第二驱动滑台设 置在所述横梁上， 所述第二驱动滑台用于驱动所述上检测探 头进行纵向滑动。 9.根据权利要求1所述的检测装置， 其特征在于， 所述载物台底部连接有支柱， 所述载 物台通过 所述支柱连接在所述滑动组件上。 10.根据权利要求1所述的检测装置， 其特征在于， 所述滑动组件内设有安装部， 所述安 装部安装在所述承载组件下 方， 并用于安装所述下检测探 头。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217654995 U 2一种检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆检测设备技 术领域， 特别涉及一种检测装置 。 背景技术 [0002]随着电子产品的飞速发展， 由于电子产品的生产和制造离不开半导体行业， 该行 业利用半导体设备对晶圆进行复杂的工艺处理， 处理完成之后的晶圆需要对其进行检测， 晶圆面形测量与分选系统是自动光学检测技术的重要应用， 除检测能力外， 产能是评估设 备的关键性指标。 [0003]现有技术当中， 检测装置， 均为单探头对晶圆表面进行逐行扫描检测， 不仅检测效 率较低， 而且容 易在对晶圆进行检测时产生检测死角。 实用新型内容 [0004]基于此， 本实用新型的目的是提供一种检测装置， 其目的在于解决现有技术中， 检 测装置采用单探 头检测不仅效率低下， 而且在检测时容 易产生检测死角。 [0005]本实用新型提供以下技 术方案， 一种检测装置， 包括； [0006]支撑组件； [0007]第一驱动滑台， 设置在所述支撑组件上； [0008]滑动组件， 设置在所述第一驱动滑台上， 所述第一驱动滑台用于驱动所述滑动组 件进行移动； [0009]载物台， 设置在所述滑动组件上； [0010]承载组件， 设置在所述载物台上； [0011]纵向驱动组件， 设置在所述支撑组件上 方； [0012]所述纵向驱动组件上设有若干组上检测探头， 所述载物台内设有若干 组下检测探 头， 所述上检测探头和所述下检测探头均用于对所述晶圆进行检测， 所述纵向驱动组件用 于驱动所述上检测探 头纵向移动。 [0013]与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 通过设置若干组上检测探头和下检 测探头， 使 得该检测装置的检测范围比单探头的检测范围更广， 有效提升检测效率， 通过第 一驱动滑台驱动滑动组件， 滑动组件带动承载有晶圆的载物台进行滑动， 从而能够调整上 检测探头与下检测探 头的检测范围， 避免产生检测死角。 [0014]进一步的， 所述支撑组件包括平台和 设置在所述平台底部 的多个支腿， 多个所述 支腿之间通过加强筋相互连接 。 [0015]进一步的， 所述加强筋设置在所述支腿的顶部和底部 。 [0016]进一步的， 所述支腿与所述平台的连接处设置有减震垫 。 [0017]进一步的， 所述支腿底部连接有万向轮和防滑垫， 所述 防滑垫设置在所述万向轮 的一侧。 [0018]进一步的， 所述滑动组件包括第一滑台与第二滑台， 所述第一滑台滑动设置在所说　明　书 1/5 页 3 CN 217654995 U 3