(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210333213.0 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 地址 100176 北京市大兴区经济技 术开发 区文昌大道8号 (72)发明人 李圆晨　王广永　王昭　廖伟　 (74)专利代理 机构 北京国昊天诚知识产权代理 有限公司 1 1315 专利代理师 施敬勃 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 清洗装置 (57)摘要 本发明公开了一种清洗装置， 用于清洗晶圆 传输设备， 晶圆传输设备包括晶圆支撑臂， 清洗 装置包括第一清洗块和第二清洗块； 其中： 第一 清洗块和第二清洗块中的至少一者开设有介质 入口， 第一清洗块和第二清洗块均设有多个介质 出口； 第一清洗块和第二清洗块可相对运动以对 接形成清洗空间， 清洗空间用于容纳晶圆支撑 臂， 且第一清洗块和第二清洗块形成的结构用于 环绕晶圆支撑臂， 多个介质出口沿清洗空间的内 壁设置， 以用于环绕晶圆支撑臂。 上述方案可 以 解决清洗装置只能从一侧对晶圆支撑臂进行清 洗， 而存在对晶圆支撑臂 清洗不完全的问题。 权利要求书2页 说明书9页 附图7页 CN 114643223 A 2022.06.21 CN 114643223 A 1.一种清洗装置， 用于清洗晶圆传输设备(100)， 所述晶圆传输设备(100)包括晶圆支 撑臂(110)， 其特 征在于， 所述清洗装置包括第一清洗块(20 0)和第二清洗块(3 00)； 其中： 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)中的至少一者开设有介质入口， 所述第 一清洗块(20 0)和所述第二清洗块(3 00)均设有 多个介质出口(410)； 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)可相对运动以对接形成清洗空间 (500)， 所述清洗空间(500)用于容纳所述晶圆支撑臂(110)， 且所述第一清洗块(200)和所 述第二清洗块(300)形成 的结构用于环绕所述晶圆支撑臂(110)， 所述多个介质出口(410) 沿所述清洗空间(5 00)的内壁设置， 以用于环绕所述晶圆支撑臂(1 10)。 2.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述清洗装置还包括第一驱动机构 (600)， 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)均与所述第一驱动机构(600)连接， 所述第一驱动机构(600)用于驱动 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)运动， 以 使所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)在第一配合状态和第二配合状态之间切 换； 在所述第一配合状态下， 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)通过相对运动 对接形成所述清洗空间(5 00)； 在所述第二配合状态下， 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)分离， 所述第 一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)之间形成用于供所述晶圆支撑臂(110)通过的进出 口。 3.根据权利要求2所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第一清洗块(200)和所述第二清 洗块(300)均为多个， 且一一对应， 多个所述第一清洗块(200)和多个所述第二清洗块(300) 均沿第一方向排列， 多个所述第一清洗块(200)和多个所述第二清洗块(300)形成多个所述 清洗空间(500)， 多个所述清洗空间(500)沿与所述清洗空间(500)的贯通方向相垂直的方 向间隔分布。 4.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第一驱动机构(600)包括第一驱 动件(610)、 第二驱动件(620)、 第一连接杆(6 30)和第二连接杆(640)， 其中： 所述第一驱动件(610)通过所述第一连接杆(630)与多个所述第一清洗块(200)连接， 以用于驱动多个所述第一清洗块(20 0)移动； 所述第二驱动件(620)通过所述第二连接杆(640)与多个所述第二清洗块(300)连接， 以用于驱动多个所述第二清洗块(3 00)移动； 所述第一驱动件(610)用于驱动多个所述第一清洗块(200)沿第一方向和第二方向中 的一者移动， 以及所述第二 驱动件(620)用于驱动多个所述第二清洗块(300)沿所述第一方 向和所述第二方向中的另一者移动， 以使所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)处 于所述第一配合状态或所述第二配合状态， 所述第一方向与所述第二方向互为反向， 且均 与所述贯通方向相垂直。 5.根据权利要求4所述的清洗装置， 其特征在于， 所述清洗装置还包括导向连接件 (700)， 所述导向连接件(700)包括支撑底板(710)和多个导向块(720)， 所述多个导向块 (720)均连接于所述支撑底板(710)， 且间隔分布， 相邻的两个所述导向块(720)形成导向间 隙(730)， 所述导向间隙(73 0)的延伸方向与所述第一方向或所述第二方向平行； 所述第一驱动件(610)和所述第二驱动件(620)均安装于所述支撑底板(710)上， 所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114643223 A 2第一连接杆(630)、 所述第二连接杆(640)、 所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300) 均可移动地设于所述支撑底板(710)， 且所述第一连接杆(630)的部分和所述第二连接杆 (640)的部分设在相对应的所述导向间隙(730)内， 且与相对应的所述导向间隙(730)导向 配合。 6.根据权利要求5所述的清洗装置， 其特征在于， 所述导向连接件(700)还包括固定螺 栓(740)和轴套(750)， 所述固定螺栓(740)贯穿所述多个导向块(72 0)， 所述轴套(750)套设 在所述固定螺栓(740)的位于所述导向间隙(730)中的部位上， 所述第一连接杆(630)和所 述第二连接杆(640)均开设有条形孔(650)， 所述条形孔(650)的延伸方 向与所述导向间隙 (730)的延伸方向一致， 所述第一连接杆(630)和所述第二连接杆(640)分别通过各 自的所 述条形孔(650)套设于相应的所述轴套(75 0)。 7.根据权利要求5或6所述的清洗装置， 其特征在于， 所述清洗装置还包括第二驱动机 构(800)， 所述第二驱动机构(800)与所述支撑底板(710)相连， 在所述第一清洗块(200)和 所述第二清洗块(300)对接形成所述清洗空间(500)的情况下， 所述第二驱动机构(800)用 于通过驱动所述支撑底板(710)， 来驱动所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)沿 所述清洗空间(5 00)的贯通方向移动。 8.根据权利要求7所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第二驱动机构(800)包括底座 (810)、 滑轨(82 0)、 滑块(830)和第三驱动件(840)， 所述第三驱动件(840)和所述滑轨(82 0) 均设于所述底 座(810)上， 所述滑 块(830)与所述滑轨(820)在所述贯通方向滑动配合， 所述 支撑底板(710)与所述滑块(830)相连， 所述第三驱动件(840)用于通过驱动所述滑块 (830)， 来驱动所述 导向连接件(70 0)移动。 9.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第一清洗块(200)和所述第二清 洗块(300)均设有多个隔离凸起(430)， 在所述第一清洗块(200)和所述第二清洗块(300)对 接形成所述清洗空间(500)的情况下， 多个所述隔离凸起(430)将所述清洗空间(500)分隔 成多个间隔的子清洗空间(510)， 多个所述子清洗空间(510)用于一一对应地容纳所述晶圆 支撑臂(110)的支撑子臂(111)， 每个所述子清洗空间(510)的内壁均开设有多个所述介质 出口(410)， 每个所述子清洗空间(510)的内壁上的多个所述介质出口(410)用于环绕所述 支撑子臂(111)， 每个所述子清洗空间(510)的贯通方向与所述清洗空间(500)的贯通方 向 一致。 10.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述第 一清洗块(200)和所述第二清 洗块(300)的内部开设有介质通道(420)， 所述介质入口通过所述介质通道(420)与所述多 个介质出口(410)连通。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114643223 A 3