(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210387253.3 (22)申请日 2022.04.14 (71)申请人 乐山高测新能源科技有限公司 地址 614000 四川省乐 山市五通 桥区竹根 镇永祥路10 0号101幢1-2层 (72)发明人 丁海军　邢旭　兰勇刚　 (74)专利代理 机构 北京科慧致远知识产权代理 有限公司 1 1739 专利代理师 宋珊珊　李瑞 (51)Int.Cl. B08B 11/00(2006.01) B08B 11/02(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 脱胶装置 (57)摘要 本申请实施例提供一种脱胶装置， 包括： 硅 片作业线； 所述硅片作业线依次设置有脱胶工位 和擦胶工位； 所述脱胶工位用于对盛装在工装篮 内的硅片和晶托组件进行脱胶， 以使硅片与晶托 组件分离； 所述擦除工位用于进一步擦除硅片上 的残胶； 晶托回收线； 所述晶托回收线旁设有厚 片拆除工位； 所述厚片拆除工位用于将晶托组件 上粘附的厚片进行拆除； 输送机械手机构， 用于 抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动， 及抓取脱胶完成后的粘附有厚片的晶托组件、 驱 动晶托组件移动至厚片拆除工位、 以及在厚片拆 除后将晶托组件放于晶托回收线进行回收。 本申 请实施例提供的脱胶装置能够实现自动脱胶、 擦 胶及拆卸厚片。 权利要求书2页 说明书14页 附图11页 CN 114602917 A 2022.06.10 CN 114602917 A 1.一种脱胶装置， 其特 征在于， 包括： 硅片作业线； 所述硅片作业线依次设置有脱胶工位和擦胶工位； 所述脱胶工位用于对 盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶， 以使硅片与晶托组件分离； 所述擦除工位用 于进一步擦除硅片上的残胶； 晶托回收线； 所述晶托回收线旁设有厚片拆除工位； 所述厚片拆除工位用于将晶托组 件上粘附的厚片进行拆除； 输送机械手机构， 用于抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动， 及抓取脱胶完 成后的粘附有厚片的晶托组件、 驱动晶托组件移动至厚片拆除工位、 以及在厚片拆除后将 晶托组件放于晶托回收线 进行回收。 2.根据权利要求1所述的脱胶装置， 其特 征在于， 还 包括： 工装篮回收线， 与所述硅片作业线和晶托回收线并排设置； 所述输送机械手机构还用 于在硅片完成擦胶并被取 走后将空的工装篮运送至 工装篮回收线 进行回收。 3.根据权利要求2所述的脱胶装置， 其特征在于， 所述脱胶工位设有脱胶槽； 脱胶槽的 上方设有图像采集组件； 所述图像采集组件用于在硅片从脱胶槽升起后采集硅片与晶托组 件之间的图像， 以根据该图像确定脱胶是否 完成。 4.根据权利要求3所述的脱胶装置， 其特征在于， 所述脱胶槽的上方还设有滑轨， 图像 采集组件滑动设置 于所述滑轨上。 5.根据权利要求2所述的脱胶装置， 其特征在于， 所述擦胶工位设置有中转槽； 所述中 转槽的旁侧设置有用于识别硅片残胶的图像采集组件及用于对硅片残胶进行擦除的擦胶 机械手机构。 6.根据权利要求5所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述擦胶机 械手机构包括： 擦胶机械手底座； 擦胶机械臂， 转动设置 于擦胶机 械手底座上； 所述擦胶机 械臂具有至少2个自由度； 擦胶机构， 设置 于所述擦胶机 械臂的工作端。 7.根据权利要求6所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述擦胶机构包括： 滚筒支架， 设置于所述擦胶机 械臂的工作端； 擦胶滚筒， 转动设置 于所述滚筒支 架上。 8.根据权利要求7所述的脱胶装置， 其特征在于， 擦胶工位还设置有光源， 所述光源设 置于所述滚筒支 架上， 所述 光源的光出射方向朝向待 擦胶的硅片； 所述图像采集组件设置 于所述滚筒支 架上。 9.根据权利要求2所述的脱胶装置， 其特征在于， 所述厚片拆除工位设置有用于识别厚 片的图像采集组件及用于 夹持厚片并将厚片与晶托组件分离的除厚片机 械手机构。 10.根据权利要求9所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述除厚片机 械手机构包括： 除厚片机 械手底座； 除厚片机械臂， 转动设置于所述除厚片机械手底座上； 所述除厚片机械臂具有至少2个 自由度； 用于夹持厚片的厚片夹爪组件， 设置 于所述除厚片机 械臂的工作端。 11.根据权利要求10所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述厚片夹爪组件 包括： 夹爪支架， 转动设置于所述除厚片机械臂的工作端； 所述夹爪支架内设置有容纳空腔；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114602917 A 2所述图像采集组件设置 于夹爪支架的外表面； 夹爪， 设置 于所述容纳空腔内； 用于驱动夹爪执 行夹持动作的夹爪驱动器， 设置 于所述夹爪支 架上。 12.根据权利要求11所述的脱胶装置， 其特征在于， 所述夹爪包括： 两个平行且相对设 置的夹板； 所述夹爪驱动器分别与两个夹板相连， 用于驱动两个夹板相互靠近产生夹持动 作。 13.根据权利要求12所述的脱胶装置， 其特 征在于， 还 包括： 光源， 设置 于夹爪支架上； 所述 光源的光出射方向朝向晶托组件。 14.根据权利要求2所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述输送机 械手机构包括： 沿晶托回收线方向延伸的纵向导轨、 垂直于晶托回收线方向的横向导轨、 沿竖向方向 延伸的竖向导轨； 夹爪组件； 用于驱动夹爪组件沿竖向导轨移动的竖向驱动器； 用于驱动夹爪组件沿横向导轨移动的横向驱动器； 用于驱动夹爪组件沿纵向导轨移动的纵向驱动器。 15.根据权利要求14所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述夹爪组件 包括： 工装顶板， 与所述竖向驱动器相连； 工装篮夹爪， 设置于所述工装顶板的底面； 所述工装篮夹爪沿竖向方向延伸， 其底端反 向弯折形成钩状结构。 16.根据权利要求15所述的脱胶装置， 其特 征在于， 所述夹爪组件 还包括： 用于夹持晶托组件的 晶托夹爪， 设置 于所述工装顶板的底面。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114602917 A 3