(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212320 3335.8 (22)申请日 2021.12.20 (73)专利权人 派尼尔科技 （天津） 有限公司 地址 300000 天津市滨 海新区经济技 术开 发区黄海路276号泰达中小企业园2号 楼602 (72)发明人 袁宁　张双双　华平壤　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/02(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 29/58(2006.01) (54)实用新型名称 一种砷化 镓晶片表面清洗 工装 (57)摘要 本申请提供了一种砷化镓晶片表面清洗工 装， 属于砷化镓清洗技术领域。 该砷化镓晶片表 面清洗工装包括转动组件和清洗组件， 所述转动 组件包括清洗池、 电机、 固定框、 弧形板、 螺纹杆、 固定板、 弹性件和夹板， 所述清洗组件包括水管、 喷头和排液管， 所述水管设置于所述清洗池内， 所述喷头连通设置于所述水管一侧， 所述排液管 连通设置于所述清洗池底部， 通过设置清洗池、 电机、 固定框、 弧形板、 螺纹杆、 固定板、 弹性件和 夹板， 能够对砷化镓晶片夹紧固定， 同时带动其 在清洗池内转动， 能够调节对砷化镓晶片夹紧程 度， 提高实用性， 通过设置括水管、 喷头和排液 管， 能够对清洗池内转动的砷化镓晶片进行全 方 面的冲刷。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216460459 U 2022.05.10 CN 216460459 U 1.一种砷化 镓晶片表面清洗 工装， 其特 征在于， 包括 转动组件(100)， 所述转动组件(100)包括清洗池(110)、 电机(120)、 固定框(130)、 弧形 板(140)、 螺纹杆(150)、 固定板(160)、 弹性件(170)和夹板(180)， 所述电机(120)安装于所 述清洗池(110)底部且输出轴延伸进所述清洗池(110)内， 所述固定框(130)固定连接于所 述电机(120)输出轴， 所述弧形板(140)设置于所述固定框(130)内， 所述螺纹杆(150)螺纹 贯穿所述固定框(130)， 所述固定板(160)活动连接于所述螺纹杆(150)端部， 所述弹性件 (170)设置 于所述固定 板(160)和所述夹 板(180)之间； 清洗组件(200)， 所述清洗组件(200)包括水管(210)、 喷头(220)和 排液管(230)， 所述 水管(210)设置于所述清洗池(110)内， 所述喷头(220)连通设置于所述水管(210)一侧， 所 述排液管(230)连通设置 于所述清洗池(1 10)底部。 2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述弹性件 (170)包括固定管(171)、 滑杆(172)和弹簧(173)， 所述固定管(171)固定连接于 所述固定板 (160)一侧， 所述滑杆(172)一端滑动设置于所述固定管(171)内， 所述滑杆(172)另一端固 定连接于所述夹 板(180)， 所述弹簧(173)套设于所述固定管(171)和所述滑杆(172)外侧。 3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述固定板 (160)一侧设置有导向杆(161)， 所述 导向杆(161)滑动贯 穿所述固定 框(130)。 4.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述夹板(180) 开设有弧形槽(181)， 所述夹 板(180)上开设有与所述弧形槽(181)相连通的限位槽(182)。 5.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述螺纹杆 (150)远离所述固定 板(160)一端固定连接有手 轮(151)。 6.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述电机(120) 外侧设置有加强筋(121)， 所述加强筋(121)固定连接 于所述清洗池(1 10)。 7.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述清洗池 (110)内设置有导液板(190)， 所述 导液板(190)倾 斜朝向所述 排液管(230)。 8.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述清洗组件 (200)还包括储水箱(240)、 过滤网组(250)和液泵(260)， 所述清洗池(110)底部设置有支撑 腿(111)， 所述支撑腿(111)一侧设置有承载板(112)， 所述储水箱(240)安装于所述承载板 (112)顶部， 所述排液管(230)连通所述储水箱(240)， 所述过滤网组(250)设置于所述储水 箱(240)内， 所述液泵(260)安装于所述承载板(112)顶部， 所述液泵(260)进液端连通所述 储水箱(240)， 所述液泵(26 0)出液端连通所述水 管(210)。 9.根据权利要求8所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述过滤网组 (250)包括粗过滤网(251)和细过滤网(252)， 所述粗过滤网(251)设置于所述储水箱(240) 内， 所述细过 滤网(252)设置 于所述储水箱(240)内且位于所述 粗过滤网(251)下 方。 10.根据权利要求9所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装， 其特征在于， 所述储水箱 (240)顶部连通设置有加液 管(241)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216460459 U 2一种砷化镓 晶片表面清洗工装 技术领域 [0001]本申请涉及 砷化镓清洗领域， 具体而言， 涉及一种砷化 镓晶片表面清洗 工装。 背景技术 [0002]砷化镓是一种重要的半导体材料， 砷化镓可以制成电阻率比硅和锗高3个数量级 以上的半绝缘高阻材料， 用来制作集成电路衬底和红外探测器等， 砷化镓在微波器件、 高速 数字电路、 移动电话、 卫星通讯、 微波点对点连线和雷达系统等领域得到重要应用， 由于砷 化镓具有较高的表面活性， 导致在砷化镓晶片切割过程中产生的颗粒极易附着在砷化镓晶 片表面， 制作过程中 需要对砷化 镓表面进行清洗 。 [0003]目前市场上现有的砷化镓晶片清洗工装在进行清洗时， 只能单侧进行清洗， 清洗 的不够全面， 清洗效果差影响产品质量， 不方便使用者的使用。 实用新型内容 [0004]为了弥补以上不足， 本申请提供了一种砷化镓晶片表面清洗工装， 旨在改善上述 背景技术中提到问题。 [0005]本申请实施例提供了一种砷化 镓晶片表面清洗 工装包括转动组件和清洗组件。 [0006]所述转动组件包括清洗池、 电机、 固定框、 弧形板、 螺纹杆、 固定板、 弹性件和夹板， 所述电机安装于所述清洗池底部且输出轴延伸进 所述清洗池内， 所述固定框固定连接于所 述电机输出轴， 所述弧形板 设置于所述固定框内， 所述螺纹杆螺纹贯穿所述固定框， 所述固 定板活动连接 于所述螺纹杆端部， 所述弹性件设置 于所述固定 板和所述夹 板之间。 [0007]所述清洗组件包括水管、 喷头和排液管， 所述水管设置于所述清洗池内， 所述喷头 连通设置 于所述水 管一侧， 所述 排液管连通设置 于所述清洗池底部 。 [0008]在上述实现过程中， 通过设置清洗池、 电机、 固定框、 弧形板、 螺纹杆、 固定板、 弹性 件和夹板， 能够 对砷化镓晶片 夹紧固定， 同时带动其在清洗池内转动， 能够调节对砷化镓晶 片夹紧程度， 提高实用性， 通过设置括水管、 喷头和排液管， 能够对清洗池内转动的砷化镓 晶片进行全方面的冲刷。 [0009]在一种具体的实施方案中， 所述弹性件包括固定管、 滑杆和弹簧， 所述固定管固定 连接于所述固定板一侧， 所述滑杆一端滑动设置于所述固定管内， 所述滑杆另一端固定连 接于所述夹 板， 所述弹簧套设于所述固定管和所述滑杆外侧。 [0010]在上述实现过程中， 通过设置固定管、 滑杆和弹簧， 能够对夹板产生弹性作用夹紧 砷化镓晶片。 [0011]在一种具体的实施方案中， 所述固定板一侧 设置有导向杆， 所述导向杆滑动贯穿 所述固定 框。 [0012]在上述实现过程中， 通过设置导向杆， 用于限制固定板转动， 避免其随着螺纹杆转 动而转动。 [0013]在一种具体的实施方案中， 所述夹板开设有弧形槽， 所述夹板上开设有与所述弧说　明　书 1/4 页 3 CN 216460459 U 3