(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123404982.5 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 江苏达诺尔科技股份有限公司 地址 215500 江苏省常州市 常熟经济开发 区氟化学工业园 (72)发明人 徐驰　 (74)专利代理 机构 北京同辉知识产权代理事务 所(普通合伙) 11357 专利代理师 魏忠晖 (51)Int.Cl. B01D 29/03(2006.01) B01D 36/00(2006.01) B01D 29/96(2006.01) (54)实用新型名称 一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体 化装置 (57)摘要 本实用新型涉及半导体加工领域， 公开了一 种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 包括储罐， 所述连接法兰顶端左侧设置有进料 口， 所述储罐内壁的左侧固定连接有隔板， 所述 安装框内壁 设置有滤网， 所述储 罐左端底部设置 有安装口， 所述储罐底端左侧设置有排放口， 所 述滤芯卡口内径设置有滤芯本体。 本实用新型 中， 通过在隔板左侧装满树脂， 超纯异丙醇料与 树脂进行离子交换， 然后再经过滤网进入滤芯进 行过滤， 获得目标产物超纯异丙醇进行包装， 可 以有效防止异丙醇在灌装前受到的颗粒离子第 二次污染， 此装置专用面积小、 操作方便、 成本低 廉， 而且在任何环境要求高的情况下都能安装， 并且生产的产品纯度高， 质量稳定 。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217367327 U 2022.09.06 CN 217367327 U 1.一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 包括储罐(1)， 其特征在于： 所述 储罐(1)顶端固定连接有连接法兰(3)， 所述连接法兰(3)顶端均设置有多个安装孔(4)， 所 述连接法兰(3)顶端左侧设置有进料口(6)， 所述储 罐(1)内壁的左侧固定连接有隔板(20)， 所述隔板(20)底部设置有通孔(12)， 所述通孔(12)内壁的右侧固定连接有固定板(19)， 所 述固定板(19)左端通过螺栓(9)连接有安装框(11)， 所述安装框(11)内壁设置有滤网(21)， 所述储罐(1)左端底部设置有安装口(2)， 所述储罐(1)底端左侧设置有排放口(8)， 所述储 罐(1)底端内壁的右侧固定连接有滤芯卡口(14)， 所述滤芯卡口(14)内径设置有滤芯本体 (13)， 所述储罐(1)底端在滤芯卡口(14)处设置有出 料口(18)。 2.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述储罐(1)底端四角均固定连接有支撑柱(7)。 3.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述连接法兰(3)底端靠 近储罐(1)固定连接有 多个第二加强筋(2 2)。 4.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述滤芯卡口(14)外径固定连接有 多个第一加强筋(15)。 5.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述安装框(1 1)与固定 板(19)之间设置有密封 垫(10)。 6.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述滤芯本体(13)外径 底部和滤芯卡口(14)内径中部之间设置有密封圈(17)。 7.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述储罐(1)底端靠 近出料口(18)右侧设置有排污口(16)。 8.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置， 其特征在 于： 所述连接法兰(3)外侧设置有凹槽(5)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217367327 U 2一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体 化装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体加工领域， 尤其涉及一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的 一体化装置 。 背景技术 [0002]随着半导体行业的飞速发展， 对超净高纯异丙醇的品质要求不断提高， 在集成电 路的生产过程中， 异丙醇可以清洗和刻蚀芯片和硅圆片的表 面。 并且挥发后不会残留金属， 水， 有机和机械杂质， 超纯异丙醇已广泛应用到半导体材料， 集成电路的生产工艺中， 对半 导体材料 的电性能， 成品率和可靠性有重大影响， 其技术指标已要求达到 国际半导体设备 和行业制定的SEMI  C12标准， 及水分要求小于50PPm， 阳离子小于100PPT， 0.5颗粒/毫升小 于3.5个。 [0003]由于对超高纯化学品技术门槛要求高， 而超纯异丙醇在百级间灌装前， 容易受到 管道， 阀门， 储罐的第二次污染， 这就需要离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置防止 出现二次污染， 但现有的装置存在问题， 如存在二次污染， 体积过大， 不方便安装， 工作效率 不高， 实用性较差等问题， 因此， 我们对现有的离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置 进行一定的改进。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种离子和颗粒 物控制和跟踪监测的一体化装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技术方案： 一种离子和颗粒物控制和 跟踪监测的一体化装置， 包括储罐， 所述储罐顶端固定连接有连接 法兰， 所述连接法兰顶端 均设置有多个安装孔， 所述连接法兰顶端左侧设置有进料 口， 所述储罐内壁的左侧固定连 接有隔板， 所述隔板底部 设置有通孔， 所述通孔内壁的右侧固定连接有固定板， 所述固定板 左端通过螺栓连接有安装框， 所述安装框内壁设置有滤网， 所述储罐左端底部设置有安装 口， 所述储罐底端左侧设置有排放口， 所述储罐底端内壁的右侧固定连接有滤芯卡口， 所述 滤芯卡口内径设置有滤芯本体， 所述储罐底端在滤芯卡口处设置有出 料口。 [0006]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0007]所述储罐底端四角均固定连接有支撑柱。 [0008]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0009]所述连接法兰底端靠 近储罐固定连接有 多个第二加强筋。 [0010]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0011]所述滤芯卡口外径固定连接有 多个第一加强筋。 [0012]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0013]所述安装框与固定 板之间设置有密封 垫。 [0014]作为上述 技术方案的进一 步描述：说　明　书 1/3 页 3 CN 217367327 U 3