(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111519775.6 (22)申请日 2021.12.14 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 曹锋　钱春霞　徐秋晨　周菁　 郑小平　刘帆　 (74)专利代理 机构 上海浦一知识产权代理有限 公司 3121 1 代理人 王关根 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) G06F 30/20(2020.01) G06F 111/04(2020.01) G06F 111/08(2020.01) (54)发明名称 一种晶圆投片方法、 存储介质、 仿真模组和 光刻排产设备 (57)摘要 本发明属于微电子技术领域， 尤其涉及一种 晶圆投片方法、 存储介质、 仿真模组和光刻排产 设备； 本发明实施例通过信息采集步骤 （20） 、 模 型构造步骤 （30） 、 随机模拟步骤 （40） 和筛选优 化 步骤 （50） 实现了过平台排片的优化； 通过随机模 拟过程的过滤， 将相对 稳定或局部最优的排片方 案筛选了出来。 权利要求书4页 说明书7页 附图4页 CN 114300383 A 2022.04.08 CN 114300383 A 1.一种晶圆投片方法， 其特 征在于， 包括： 信息采集 步骤 （20） 、 模型构造步骤 （3 0） 、 随机模拟步骤 （40） 、 筛 选优化步骤 （50） ； 所述信息采集步骤 （20） 获取生产平台的状态信息PS， 所述状态信息PS包括生产平台的 技术节点信息TL、 可用平台的数量PN、 可用机时TT、 等待 时间的极值、 各技术节点平 台的产 能信息； 所述等待 时间的极值包括最大等待 时间TMAX和最小等待 时间TMIN， 所述等待 时间 的极值用于约束等待作业区； 所述模型构造步骤 （30） 获取平台排片约束条件， 所述平台排片约束条件包括第一约束 条件、 第二约束条件直至第N约束条件， 其中， N 为大于或等于 3的自然数； 所述随机模拟步骤 （40） 构造一伪随机数集合或读取一随机数集合中的所有元素到指 定的存储空间， 所述伪随机数集合与集合K对应， 所述集合K由自然 数1、 2、 直至P构成， P为自 然数； 所述随机模拟步骤 （40） 再以所述伪随机数或所述随机数集合中的元素为驱动， 求解目 标函数的解； 其中， 所述目标函数由所述生产平台的状态信息构造； 所述目标函数包括第一 目标函数、 第二目标函数、 直至第N目标函数； 若所述伪随机数或所述随机数集合中的元素满足所述第 一约束条件、 所述第 二约束条 件直至所述第N约束条件， 则保留所述伪随机数或所述 随机数集合中的元素为所述 目标函 数的一个解， 并依所述伪随机数或所述随机数集合中的元素获得满足所述约束条件的若干 个解； 所述筛选优化步骤 （50） 构造决策向量或决策集合， 所述决策向量或所述决策集合由所 述目标函数 的解或满足所述各约束条件的数组构成； 其中， 所述决策向量或所述决策集合 中重复出现或符合约束条件的元 素的个数为第一决策 频率； 以所述决策向量或所述决策集合中所述第一决策频率最高的一组模拟量或符合所述 各约束条件的一组模拟输出作为投片预测的输出量， 填充所述生产平台的投片矩阵； 所述 投片矩阵每一列 （302） 代表 不同的生产平台， 所述投片矩阵每一行 （303） 代表所述投片周期 内， 不同工作日/运 转日内投片的数量 （3 33） 。 2.如权利要求1所述的方法， 还 包括： 获取伪随机数种子的步骤 （301） ； 其中， 所述伪随机数的种子根据所述可用平台的数量 或历史数据的预设统计量 求取或选取。 3.如权利要求2所述的方法， 其中： 所述伪随机数的种子由当前时钟距离1970年1月1日零 点的秒数 给出。 4.如权利要求2所述的方法， 其中： 所述伪随机数的种子为 一自然数M， 且M大于或等于预设的整数值SE ED。 5.如权利要求1 ‑4所述的任一方法， 还 包括： 排片矩阵构造步骤； 其中， 所述排片矩阵的列数代表本次加工周期/过程的总天数； 所 述加工周期/过程内， 以天为单位进行投片， 并以订单或计划数值 排满所述加工周期/过程。 6.如权利要求5所述的方法， 其中： 所述加工周期/过程的总天数为28、 29、 30、 31、 120、 365或任一指定的自然数中的任一 数值； 其中， 所述总天数28与非闰年的2月对应， 29与闰年的2月对应， 30、 31分别与小月和大 月对应， 120与一个季度的天数对应， 3 65与一年对应；权　利　要　求　书 1/4 页 2 CN 114300383 A 2所述可用平台的数量PN 为2到R的任一自然数， 其中， R为大于或等于2的自然数。 7.如权利要求6所述的方法， 还 包括： 获取初始投片量的步骤； 其中， 所述初始投片量的默认初始值 为0。 8.如权利要求7 所述的方法， 还 包括： 随机模拟投产参数步骤： 所述随机模拟投产参数步骤获取各在产平台的最大投片数量； 其中， 所述在产平台包 括第一平台、 第二平台直至第S平台， S为大于等于3的自然数； 所述第一平台的最大投片数 为第一限值， 所述第二平台的最大投片数为第二限值， 直至所述第S平台的最大投片数为第 S限值； 以所述伪随机数为驱动量/输入量， 在0和所述最大投片量之间获得对应平台的模拟投 片数； 其中， 所述模拟投片数包括第一模拟值、 第二模拟值直至第S模拟值， S为大于等于3的 自然数。 9.如权利要求8所述的方法， 还 包括： 目标值处 理步骤； 所述目标值处理步骤根据所述平台排片约束条件计算所述模拟投片数对应的目标校 验值； 所述目标校验值包括第一校验值Z1、 第二校验值Z2直至第N校验值ZN； 其中， N为大于 或等于3的自然数。 10.如权利要求9所述的方法， 还 包括： 筛选优化步骤 （50） ； 所述筛选优化步骤 （50） 根据 所述平台排片约束条件选取最优或局部最优的排片方案； 所述排片方案包括每天的入选平台和所述入选平台对应的投片量。 11.如权利要求10所述的方法， 其中： 所述约束条件 包括第一约束条件、 第二约束条件和第三约束条件； 所述第一约束条件获取时钟信 息后求取目标时段的天数信 息； 以月为单位出具排片计 划； 所述第一约束 条件选取所述第一模拟值、 所述第二模拟值直至所述第S模拟值中波动最 小的模拟值作为局部备选值； 获取所述伪随机数或所述随机数集合驱动下的所有局部备选值， 选取所述局部备选值 中波动最小的模拟值 为最终选定值； 其中， 所述波动最小由一目标函数来定量， 所述目标函数为所述模拟值的一个预设的 统计量； 所述统计量在所述伪随机数或所述随机数集合驱动下产生备选量的集合构成优化 量的样本空间。 12.如权利要求1 1所述的方法， 还 包括： 统计量 ； 还包括 还包括 权　利　要　求　书 2/4 页 3 CN 114300383 A 3