文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
国家标准目录
国际ISO标准目录
行业标准目录
地方标准目录
文件分类
联系我们
国家标准目录
国际ISO标准目录
行业标准目录
地方标准目录
批量下载
ICS 31.200 L 55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32815—2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 Silicon-based MEMS fabrication technology- Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process 2016-08-29发布 2017-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 32815—2016 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 2 3 术语和定义 工艺流程 4 4.1 概述 4.2 硅片选择 4.3 硅片压阻区制备 4.4 硅片隔离区制备 4.5 硅片背腔腐蚀 4.6 硅片引线制备(G) 10 4.7 玻璃片金属电极制备 12 4.8 硅-玻璃键合 4.9 键合片硅面刻蚀… 15 工艺保障条件要求 5 17 5.1 人员要求 17 5.2 环境要求 17 5.3 设备要求… 17 原材料要求· 6 18 7 安全操作要求· 19 7.1 用电安全· 19 7.2化学试剂 19 7.3排放… 19 8检验 19 8.1 总则 8.2 检验方法和要求 19 GB/T 32815—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准主要起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微 系统科技有限公司。 本标准主要起草人:张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷 姜博岩, GB/T32815—2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 1范围 本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求 质量检验。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T19022测量管理体系测量过程和测量设备的要求 GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 GB50073洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T26111界定的术语和定义适用于本文件。 4工艺流程 4.1概述 体硅压阻工艺流程包括硅片压阻区制备、硅片隔离区制备、硅片背腔腐蚀、硅片引线制备、玻璃片电 极制备、硅-玻璃键合以及键合片硅面刻蚀等部分,其中的关键工艺用(G)表示, 4.2石 硅片选择 为22cm等。 4.2.2硅片晶面的选择应以后续的工艺选择为依据。当后续工艺步骤中使用了氢氧化钾(KOH)或四 甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀硅片背腔时,应使用(100)晶面的硅片。 4.3硅片压阻区制备 硅片压阻区制备如图1所示,包括清洗、光刻、离子注人、杂质原子扩散、杂质原子推进等工序,具体 包括以下步骤: a) 硅片准备,并做必要清洗; b)硅片表面热氧化方式制备二氧化硅; c) 硅片光刻,形成淡硼注人区图形; 1
GB-T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
文档预览
中文文档
24 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共24页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由
思安
于
2023-01-21 17:31:06
上传分享
举报
下载
原文档
(3.6 MB)
分享
给文档打分
您好可以输入
255
个字符
网站域名是多少( 答案:
github5.com
)
评论列表
暂时还没有评论,期待您的金玉良言
热门文档
GB-T 35284-2017 信息安全技术 网站身份和系统安全要求与评估方法.pdf
GB-T 12763.8-2007 海洋调查规范 第8部分 海洋地质地球物理调查.pdf
GB-T 42005.2-2022 轨道交通 储能式电车 第2部分:地面充电系统.pdf
GB-T 18386.1-2021 电动汽车能量消耗量和续驶里程试验方法 第1部分:轻型汽车.pdf
软件开发管理制度.pdf
中国电信 数字道路白皮书 2022.pdf
DB52-T 1539.3-2021 政务云 第3部分:云计算平台运维管理规范 贵州省.pdf
T-CSAE 252—2022 智能网联汽车车载端信息安全测试规程.pdf
GB-T 37550-2019 电子商务数据资产评价指标体系.pdf
GB-T 31191-2014 常温锰系脱氧剂脱氧性能试验方法.pdf
T-CIECCPA 030—2023 零碳工厂创建与评价通则.pdf
GB-T 30132-2013 胶印书刊纸.pdf
GB-T 15748-2013 船用金属材料电偶腐蚀试验方法.pdf
MZ-T 158-2020 固定在座便器上的助力扶手.pdf
专利 一种变压器散热器集流管的焊接装置.PDF
DB23-T 3337—2022 黑龙江省超低能耗居住建筑节能设计标准 黑龙江省.pdf
专利 冷藏车用温控装置.PDF
CNCERT 2020年上半年我国互联网网络安全监测数据分析报告.pdf
GB-T 43697-2024 数据安全技术 数据分类分级规则.pdf
GB 12319-2022 中国海图图式.pdf
1
/
3
24
评价文档
赞助2元 点击下载(3.6 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
点击进入官方售后微信群
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
×
分享,让知识传承更久远
×
文档举报
举报原因:
×
优惠下载该文档
免费下载 微信群 欢迎您
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。